Центр нано и микроустройств
 | |
| Тип | Исследовательский центр |
|---|---|
| Учредил | 2008 |
| Председатель | Роберт Линдквист |
| Директор | Джон Д. Уильямс |
Академический состав | 10 |
Административный персонал | 6 |
| Аспиранты | 16 |
| Расположение | , 34 ° 43'22 "с.ш. 86 ° 38'19" з.д. / 34,72278 ° с.ш. 86,63861 ° з.д. |
| Кампус | Университет Алабамы в главном кампусе Хантсвилля |
| Веб-сайт | http://nmdc.uah.edu |
Центр нано и микроустройств (NMDC) — исследовательский центр, расположенный в Университете Алабамы в Хантсвилле . Центр составляет основу исследований в области нанотехнологий в университете. Здесь имеется чистая комната 4-го уровня , а также несколько других лабораторных помещений.
Цели
[ редактировать ]Целью центра является эффективная интеграция опыта в области электротехники, химии и материаловедения, биологии, химии и физики для разработки и исследований в области микроэлектромеханических систем (МЭМС) и нанотехнологий. [ 1 ] [ 2 ]
Удобства
[ редактировать ]
В центре имеется чистая комната , оснащенная машинами для микрообработки, которые выполняют осаждение тонких пленок, фотолитографию, сухое и мокрое травление, а также метрологические измерения. Здесь также имеется темная комната для мокрого травления, гальваники и изготовления пористого кремния. Объекты используются организациями, базирующимися в северной Алабаме . Процессы, выполняемые на таком уровне чистого помещения, можно разделить на: [ 3 ]
- Литография : процессы этой категории включают традиционные методы УФ-литографии, электронно-лучевую литографию и проекционную литографию.
- Процессы осаждения материалов : к этой категории относятся процессы распыления, термического осаждения из паровой фазы и гальваники, другие методы осаждения биологических молекул и двухслойных мембран включают метод Ленгмюра-Блоджетт.
- Процессы удаления материала : к ним относятся сухое травление, такое как реактивное ионное травление, или влажное травление, такое как анизотропное травление кремния в ванне с КОН.
- Анализ и характеристика поверхности : такие как атомно-силовая микроскопия, сканирующая электронная микроскопия, конфокальная микроскопия, эллипсометрия, УФ-, ИК- и рамановская спектроскопия, рентгеновская спектроскопия и другие методы.
- Вычисление