Безэлектродное возбуждение плазмы

К безэлектродным методам возбуждения плазмы относятся геликонные источники плазмы, индуктивно-связанная плазма и разряды на поверхностных волнах .

Безэлектродные высокочастотные разряды (ВЧ) имеют два важных преимущества перед плазмой с использованием электродов , например, с емкостно-связанной плазмой , которые представляют большой интерес для современных исследований и применений плазмы:

• Во-первых, не происходит распыления электродов. Однако в зависимости от энергии ионов все же может произойти распыление стенок реактора или подложки. В условиях, типичных для целей плазменной модификации, энергия ионов в безэлектродных ВЧ-разрядах примерно на порядок ниже, чем в ВЧ-разрядах. Таким образом, можно уменьшить загрязнение газовой фазы и повреждение поверхности подложки.
• Во-вторых, эффект поверхностных волн позволяет генерировать пространственно протяженную плазму с плотностью электронов, превышающей критическую плотность .