Окно процесса

Окно процесса представляет собой график с набором параметров для конкретного производственного процесса, который дает определенный результат. Обычно на таком графике отображаются несколько параметров: в центральной области процесс ведет себя хорошо, а внешние границы определяют области, в которых процесс становится нестабильным или возвращает неблагоприятный результат. Статистическая оценка производительности процесса дополнительно выполняется путем расчета соответствующего индекса окна процесса . ^{[ нужна ссылка ]}

Приложения

Типичные применения находятся в фотолитографии. ^{[ 1 ]} где реакция фоторезиста на такие параметры, как температура, интенсивность излучения, критический размер и угол боковой стенки структур и т. д., отображается в зависимости от оптического параметра, такого как числовая апертура, для оптимизации конструкции инструмента экспонирования или достижения воспроизводимого результата. и высокая урожайность. ^{[ нужна ссылка ]}

Ссылки

^ Мак, Крис. «Кривые качания и окно процесса» (PDF) . Учебные пособия по фотолитографии . Проверено 1 октября 2013 г.

[1] Мак, Крис. «Кривые качания и окно процесса» (PDF) . Учебные пособия по фотолитографии . Проверено 1 октября 2013 г.

[ 1 ]