Стандарт обмена открытыми художественными системами

ОАЗИС
Разработано	ПОЛУ
Первоначальный выпуск	сентябрь 2002 г .; ; 21 год назад
Стандарты	СЕМЕНА Р39-0416
Открытый формат ?	Да
Свободный формат ?	Нет
Веб-сайт	SEMI SEMI P39 - Спецификация для OASIS (P39-0416)

Стандарт обмена открытыми художественными работами ( OASIS) ^[3]) — это двоичный формат файла, используемый для спецификации структур данных для производства фотомасок . ^[4] Он используется для представления шаблона, формата обмена и инкапсуляции для информации о компоновке маски иерархической интегральной схемы, созданной во время интегральной схемы , которая в дальнейшем используется для изготовления фотошаблона проектирования . Стандарт разработан SEMI . ^[2]^[1] Язык определяет код, необходимый для геометрических фигур, таких как прямоугольники, трапеции и многоугольники. Он определяет тип свойств, которые может иметь каждая из них, как они могут быть организованы в ячейки, содержащие шаблоны, созданные этими фигурами, и определяет, как каждая из них может быть размещена относительно друг друга. Это похоже на GDSII .

По состоянию на 2023 год стоимость стандарта для членов SEMI была установлена на уровне 252 долларов США, а для нечленов: 335 долларов США. ^[5]

Введение

OASIS является предполагаемым коммерческим преемником языка проектирования и производства электронных схем для проектирования и производства интегральных схем GDSII .

GDSII был создан в 1970-х годах, когда в проектах интегральных схем требовалось управлять несколькими сотнями тысяч геометрических форм, свойств и мест размещения. Сегодня существуют миллиарды форм, свойств и мест размещения, которыми нужно управлять. Файлы формата GDSII часто занимают десятки гигабайт памяти и их сложно хранить и обрабатывать. ^[6] Создатели и пользователи OASIS утверждали, что рост возможностей хранения и обработки данных на рабочих станциях намного опережал рост сложности компоновки интегральных схем. ^[7] Поэтому OASIS пытается решить предполагаемую проблему большого размера файлов GDSII , вводя сложные типы геометрических фигур (всего 25 типов трапеций) для уменьшения размера данных. Кроме того, был реализован числовой формат переменной длины (аналогично кодированию серийной длины ) для координат. Наконец, каждая ячейка файла OASIS может быть независимо сжата с помощью алгоритма, подобного gzip .

Попытки создать формат OASIS начались в июне 2001 года. Выпуск версии 1.0 состоялся в марте 2004 года. Его использование потребовало разработки новых устройств чтения и записи OASIS, которые можно было бы объединить с проектным и производственным оборудованием, уже оснащенным устройствами чтения и записи GDSII. . Его принятие стало результатом совместных усилий разработчиков интегральных схем, оборудования, фотомасок, фабрик, интеллектуальной собственности (IP) третьих сторон и производственных компаний из США, Японии, Тайваня, Кореи и Европы.

Ограниченная версия OASIS, называемая OASIS.MASK , предназначена для удовлетворения уникальных потребностей оборудования для производства полупроводниковых фотошаблонов, такого как генераторы узоров и системы контроля. И OASIS, и OASIS.MASK являются отраслевыми стандартами .

Пример файла данных

Ниже приведено удобочитаемое текстовое представление двоичного файла OASIS, позволяющее реализовать приведенное выше «верхнее» представление ячейки под названием «Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell». Верхняя ячейка определяется стандартной записью PROPERTY уровня файла с именем S_TOP_CELL. Запись PROPERTY, приведенная ниже, ссылается на запись PROPNAME (refNum=0), имеющую строку имени свойства с именем S_TOP_CELL. Верхняя ячейка содержит размещение трех ячеек, называемых «нижними ячейками». Нижние ячейки содержат только геометрические фигуры.

Каждая строка представления OASIS ниже содержит (слева) номер записи и тип записи, за которыми следует набор значений, определяющих этот тип записи. Например, первая запись RECTANGLE ниже определяет следующий тип прямоугольника, его размер и абсолютное местоположение:

Слой
Тип данных
Ширина
Высота
Нижняя левая координата X
Нижняя левая координата Y

В этой записи RECTANGLE отсутствует возможность описания местоположений повторяющихся экземпляров прямоугольника. Кроме того, этот тип записи позволяет описывать квадрат, определяя только значение ширины. Чтобы включить эти описания, необходимо установить так называемый битовый шаблон для записи RECTANGLE. Для записи RECTANGLE битовая комбинация (либо 1 (включено), либо 0 (выключено)) следующая:

SWHXYRDL (Square,Width,Height,X-coordinate,Y-coordinate,Repetition,Datatype,Layer-number).

Для этой записи RECTANGLE битовый шаблон установлен на 0WHXY0DL (не квадрат, ширина, высота, координата X, координата Y, не повторяющийся, тип данных, номер слоя). Первая и вторая записи RECTANGLE в ячейке «Cell_Placed_Shapes_2» (CELL refNum=1)» определяют повторяющиеся экземпляры прямоугольника. Первая запись RECTANGLE (SW0XYRDL) использует повторение типа 10 (rep=rep10). Вторая запись RECTANGLE (0WHXYR0L) использует повторение типа 11 (rep=Rep11). Всего существует одиннадцать типов повторения (Rep1-Rep11). Во втором битовом шаблоне записи RECTANGLE тип данных (D) был установлен в «0», поскольку в нем использовался тот же тип данных. первая запись RECTANGLE применяется ко второй записи RECTANGLE. Другие геометрические фигуры, поддерживаемые OASIS, имеющие типы записей POLYGON, TRAPEZOID, CTRAPEZOID, CIRCLE и PATH, определяются различными битовыми шаблонами.

Согласно записям CELLNAME ниже, нижние ячейки имеют следующие строки имен ячеек «Cell_Placed_Shapes_1,... _2 и... _3». Каждый номер слоя , присвоенный геометрической фигуре, связан с записью LAYERNAME, которая определяет интервал слоя и строку имени слоя . В этом представлении строка имени слоя «Layer_Color_Mapping» определяет интервалы слоев, используемые в таблице цветов слоя «layercolormap.data».

Приведенный ниже пример не претендует на исчерпывающее описание языка OASIS. Цель заключалась в том, чтобы дать заинтересованному читателю общее представление о сфере применения языка OASIS и о том, как он применяется к представлению и выражению шаблонов электронной компоновки, которые определяют интегральную схему.

- MAGIC "%SEMI-OASIS\015\012
1 START version="1.0" unit=real0(1000) offsetFlag=0 offsets=[(0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0) (0,0)]
28 PROPERTY 00010CNS refNum=0 count=(1) string12("Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell")
7 PROPNAME name="S_TOP_CELL" refNum=(0)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_1" refNum=(0)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_2" refNum=(1)
3 CELLNAME name="Cell_Placed_Shapes_3" refNum=(2)
3 CELLNAME name="Placed_shapes_and_cells_within_an_IC_cell" refNum=(3)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(25:25) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=4(41:46) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(49:49) datatypes=1(0:0)
11 LAYERNAME name="Layer_Color_Mapping" layers=3(63:63) datatypes=1(0:0)
13 CELL refNum=3
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=0 x=0 y=0
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=1 x=0 y=0
17 PLACEMENT CNXY0000 refNum=2 x=0 y=0
13 CELL refNum=0
20 RECTANGLE 0WHXY0DL layer=41 datatype=1 width=3960 height=1980 x=-440 y=-220
20 RECTANGLE 00H0Y00L layer=42 height=2420 y=1760
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=63 width=3080 height=3960 x=0 y=0
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=43 width=2255 height=55 x=110 y=605
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2860 height=330 y=660
20 RECTANGLE 00H0Y000 height=110 y=2530
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2750 height=220 y=2640
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2255 height=550 y=2860
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=330 height=440 x=2035 y=165
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=935 height=220 y=2310
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=330 height=385 y=3410
20 RECTANGLE S00XY000 x=2585 y=3465
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=44 width=3330 height=1665 x=-125 y=1760
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=2670 height=410 y=3425
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=3330 height=250 y=3835
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=250 height=410 x=2955 y=3425
20 RECTANGLE 0WHXY00L layer=45 width=3330 height=1885 x=-125 y=-125
20 RECTANGLE SW0XY000 width=410 x=2545 y=3425
13 CELL refNum=1
20 RECTANGLE SW0XYRDL layer=25 datatype=0 width=160 x=195 y=690 rep=rep10[dim=15 disp=(g(0,1430) g(0,1045) g(550,-1375) g(220,-550) g(165,-495) g(0,1870) g(165,-495) g(825,-1870) g(0,3300) g(275,-1980) g(165,1540) g(110,440) g(55,-2805) g(0,1650))]
20 RECTANGLE 0WHXYR0L layer=46 width=340 height=220 x=105 y=2030 rep=rep11[dim=3 grid=10 disp=(g(55,-21) g(165,-22))]
20 RECTANGLE 0WH0YR00 width=505 height=120 y=2250 rep=rep10[dim=3 disp=(g(2365,-1100) g(0,880))]
20 RECTANGLE 0W0XY000 width=285 x=325 y=1370
20 RECTANGLE 0WH0Y000 width=120 height=540 y=1490
20 RECTANGLE 00HXY000 height=1045 x=490 y=325
20 RECTANGLE 00H0YR00 height=1320 y=2370 rep=rep2[xdim=2 dx=935]
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=890 height=120 x=655 y=1700
20 RECTANGLE 0WHXY000 width=120 height=825 x=875 y=325
20 RECTANGLE SW00YR00 width=340 y=1150 rep=rep10[dim=3 disp=(g(330,880) g(1265,990))]
2 END

Отраслевой стандарт

OASIS и OASIS.MASK теперь являются официальными отраслевыми стандартами . Оба принадлежат и поддерживаются организацией по торговле и стандартизации SEMI . SEMI обслуживает отрасли полупроводниковых материалов и оборудования по всему миру.

Платные спецификации для SEMI P39 OASIS и SEMI P44 OASIS.MASK можно загрузить с веб-сайта SEMI.

См. также

OpenAccess

Внешние ссылки

Сноски

^ Jump up to: ^а ^б «О OASIS SEMI P39» . www.yottadatasciences.com . Проверено 26 мая 2022 г.
^ Jump up to: ^а ^б «ОАЗИС» . www.layouteditor.org . Проверено 26 мая 2022 г.
^ Торговое название в США OASIS является зарегистрированным товарным знаком Томаса Дж. Гребински , Аламо, Калифорния, и лицензировано для использования исключительно компанией SEMI .
^ «SEMI P39: 2016 СПЕЦИФИКАЦИЯ ДЛЯ OASIS — ОТКРЫТАЯ СИСТЕМА ARTWORK INT» . infostore.saiglobal.com . Проверено 23 мая 2023 г.
^ «P03800 — SEMI P39 — Спецификация для OASIS® — стандарта обмена открытыми графическими системами» . полу.орг . Проверено 23 мая 2023 г.
^ «Формат ОАЗИС» . www.wrcad.com . Проверено 23 мая 2023 г.
^ «Переход от GDSII к OASIS» . ЭТаймс. 2022-08-30 . Проверено 11 сентября 2022 г.

[:1-1] Jump up to: ^а ^б «О OASIS SEMI P39» . www.yottadatasciences.com . Проверено 26 мая 2022 г.

[:0-2] Jump up to: ^а ^б «ОАЗИС» . www.layouteditor.org . Проверено 26 мая 2022 г.

[3] Торговое название в США OASIS является зарегистрированным товарным знаком Томаса Дж. Гребински , Аламо, Калифорния, и лицензировано для использования исключительно компанией SEMI .

[4] «SEMI P39: 2016 СПЕЦИФИКАЦИЯ ДЛЯ OASIS — ОТКРЫТАЯ СИСТЕМА ARTWORK INT» . infostore.saiglobal.com . Проверено 23 мая 2023 г.

[5] «P03800 — SEMI P39 — Спецификация для OASIS® — стандарта обмена открытыми графическими системами» . полу.орг . Проверено 23 мая 2023 г.

[6] «Формат ОАЗИС» . www.wrcad.com . Проверено 23 мая 2023 г.

[7] «Переход от GDSII к OASIS» . ЭТаймс. 2022-08-30 . Проверено 11 сентября 2022 г.

[1]

[2]

[3]

[4]

[5]

[6]

[7]