Случайные колебания легирующей примеси

Случайные флуктуации легирующей примеси (RDF) — это форма изменения процесса, возникающая в результате изменения концентрации имплантированной примеси. В MOSFET - транзисторах RDF в области канала может изменить свойства транзистора, особенно пороговое напряжение . В новых технологических процессах RDF имеет больший эффект, поскольку общее количество примесей меньше, а добавление или удаление нескольких атомов примеси может значительно изменить свойства транзистора. RDF — это локальная форма изменения процесса, означающая, что два соседних транзистора могут иметь существенно разные концентрации легирующей примеси. ^{[ 1 ]}

Ссылки

^ Асенов, А. Хуанг, Случайное снижение порогового напряжения, вызванное легирующей примесью, и флуктуации в МОП-транзисторах размером менее 0,1 мкм: исследование трехмерного «атомистического» моделирования , Электронные устройства, IEEE Transactions, 45, Выпуск: 12

Эта статья, посвященная электронике, незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее .

[1] Асенов, А. Хуанг, Случайное снижение порогового напряжения, вызванное легирующей примесью, и флуктуации в МОП-транзисторах размером менее 0,1 мкм: исследование трехмерного «атомистического» моделирования , Электронные устройства, IEEE Transactions, 45, Выпуск: 12

[ 1 ]