ВРЕД
Эта статья нуждается в дополнительных цитатах для проверки . ( февраль 2024 г. ) |
HARMST это аббревиатура от микроструктурная « высокоспектральная , технология » , — которая описывает технологии изготовления используется для создания с высоким соотношением сторон микроструктур [1] высотой от десятков микрометров до сантиметра и соотношением сторон более 10:1. Примеры включают LIGA процесс изготовления , усовершенствованное травление кремния и глубокое реактивное ионное травление .
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Герлах, Джеральд (2008). Введение в микросистемную технику: пособие для студентов . Интернет-архив. Чичестер, Англия ; Хобокен, Нью-Джерси: J. Wiley & Sons. п. 138. ИСБН 978-0-470-05861-9 .