Ротационный компрессионный насос
 |
Роторный компрессионный насос работает циклично. В ходе каждого цикла в контакте с камерой создается объем, в котором давление должно быть понижено. Путем хаотического движения молекулы из вакуумной камеры переходят в объем, создаваемый насосом . Затем этот объем отсекается от камеры и сжимается при контакте с односторонним клапаном. Если объем достаточно сжат, некоторые молекулы пройдут через клапан.
Производительность
[ редактировать ]Максимальная эффективность ротационного компрессионного насоса представляет собой соотношение между объемом, контактирующим с вакуумом, и наименьшим сжатым объемом, контактирующим с клапаном. Если соотношение составляет 1:1000 и насос создает атмосферное давление, максимально достижимый вакуум составляет 1/1000 атмосферного давления. Это соответствует 0,76 Торр или 101,3 Па . Это ограничение делает очень трудным создание ротационных компрессионных насосов, если необходимо достичь давления ниже примерно 1 Торр. Простота процесса делает ротационный компрессионный насос дешевым, и он широко используется в качестве низковакуумного насоса или форвакуумного насоса для диффузионного или турбомолекулярного насоса .