Роджер Т. Хау

Роджер Т. Хау
Роджер Т. Хау
Рожденный	1957 ; Сакраменто, Калифорния , США
Национальность	Американский
Альма-матер	Колледж Харви Мадда ; Калифорнийский университет, Беркли
Известный	МЭМС; наноразмерные устройства; технология изготовления
Награды	Национальной инженерной академии Член
	Научная карьера
Поля	Электротехника
Учреждения	Стэнфордский университет
Диссертация	Интегрированный электромеханический датчик паров, 1984 г.
Докторантура	Ричард С. Мюллер (Калифорнийский университет в Беркли)

Роджер Томас Хоу (родился в 1957 году в Сакраменто, Калифорния ) — профессор электротехники Уильяма Э. Эйера в Стэнфордском университете . Он получил степень бакалавра физики в колледже Харви Мадда ( Клермонт, Калифорния ), а также степень магистра и доктора философии. получил степень в области электротехники Калифорнийского университета в Беркли в 1981 и 1984 годах соответственно. Он был преподавателем в Университете Карнеги-Меллона с 1984 по 1985 год, в Массачусетском технологическом институте с 1985 по 1987 год и в Калифорнийском университете в Беркли с 1987 по 2005 год, где он был заслуженным профессором Роберта С. Пеппера. С 2005 года он является преподавателем Инженерной школы Стэнфорда.

Его научные интересы – проектирование и изготовление микро- и наноэлектромеханических систем (М/НЭМС). Он и его доктор философии. советник Ричард С. Мюллер из Беркли разработал технологию микрообработки поверхности поликремния. ^[1] ^[2] Этот процесс открыл возможности микромеханических элементов, таких как кантилеверы, резонаторы и шестерни. В настоящее время он используется для производства миллиардов инерциальных датчиков. ^[3] ^[4] , ^[5] микрофоны , ^[6] и устройства времени. ^[7] Технология микрообработки поликремния все еще разрабатывается для достижения более эффективных датчиков. . ^[8] Вместе со своим доктором философии. студент Уильям С. Тан , он был соавтором электростатического гребенчатого привода, ^[9]^[10] который является ключевым строительным блоком для микросенсоров и исполнительных механизмов. Совместно со своим бывшим коллегой Цу-Джэ Кинг Лю и их учениками была разработана технология низкотемпературной микрообработки поликристаллического кремния-германия, которую можно было изготавливать на основе стандартной КМОП-электроники. ^[11] С момента поступления в Стэнфорд он внес вклад в разработку термоэлектронных устройств преобразования энергии. ^[12] и электронные биомолекулярные датчики широкого спектра действия. ^[13]

В 1996 году он был избран членом IEEE за «выдающийся вклад в технологии микропроизводства, устройства и микроэлектромеханические системы». Вместе с Ричардом С. Мюллером он был лауреатом премии IEEE Кледо Брунетти 1998 года . В 2005 году он был избран в Национальную инженерную академию США : «за вклад в развитие микроэлектромеханических систем в процессах, устройствах и системах». В 2015 году он и Ю-Чонг Тай стали со-лауреатами премии Роберта Боша в области микро- и нано-электромеханических систем Общества IEEE Electron Devices Award. ^{[ мертвая ссылка ]}. В 2015 году он также был удостоен награды IEEE Electronic Devices Society Education Award «за вклад в наставничество и образование в области микроэлектромеханических систем и нанотехнологий». Он стал соавтором учебника по электронике «Микроэлектроника: интегрированный подход» вместе с Чарльзом Г. Содини из Массачусетского технологического института. ^[14]

С 2011 по 2015 год он был директором Национальной сети нанотехнологической инфраструктуры США (NNIN), а с 2009 по 2017 год — директором факультета Стэнфордского центра нанотехнологий (SNF) . ^[15]

Он стал соучредителем двух компаний на основе исследований своей группы. Компания Silicon Clocks, Inc. была основана в 2004 году и была приобретена компанией Silicon Labs, Inc. в 2010 году. Компания ProbiusDx, Inc. была основана в декабре 2015 года для коммерциализации электронного биомолекулярного сенсора широкого спектра действия. ^[16]

Ссылки

^ RT Howe и RS Muller, «Микромеханические пучки поликристаллического кремния», Весеннее собрание Электрохимического общества, том. 82-1, Монреаль, Квебек, Канада, 9–14 мая 1982 г., стр. 184–185.
^ RT Howe и RS Muller, «Микромеханические пучки поликристаллического кремния», Журнал Электрохимического общества, 130, стр. 1420-1423, (1983).
^ http://www.analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/ADXL335.pdf (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
^ https://www.bosch-mobility-solutions.com/en/products-and-services/industry-elements-and-comComponents/mems-sensors/ (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
^ https://www.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/mems.html (по состоянию на 12 октября 2018 г.)
^ «МЭМС-микрофоны SiSonic™ для поверхностного монтажа» .
^ Дж. Классен и др., «Усовершенствованный процесс поверхностной микрообработки — первый шаг на пути к 3D MEMS», Конференция IEEE MEMS, Лас-Вегас, Невада, США, стр. 314–318, 22–26 января 2017 г.
^ Э. Нг и др., «Долгий путь от MEMS-резонаторов к устройствам синхронизации», Конференция IEEE MEMS, Эшторил, Португалия, стр. 1–2, 18–22 января 2015 г.
^ WC Tang и RT Howe, «Резонансные микроструктуры с латеральным приводом», патент США № 5 025 346, 18 июня 1991 г.
^ WC Tang, T.-CH Nguyen и RT Howe, «Поликремниевые резонансные микроструктуры с латеральным приводом», Sensors and Actuators, 20, стр. 25-32 (1989).
^ А. Е. Франке, Дж. М. Хек, Т. Кинг Лю и Р. Т. Хоу, «Поликристаллические кремний-германиевые пленки для интегрированных микросистем», J. Microelectromechanical Systems, 12, стр. 160-171, (2003).
^ Ж.-Х. Ли и др. «Микрофабрикатный термически изолированный излучатель с низкой работой выхода», J. Microelectromechanical Systems, 23, стр. 1182-1187 (2014).
^ К. Гупта и др., «Квантовые туннельные токи в наноинженерной электрохимической системе», Journal of Physical Chemistry C, 121, стр. 15085–15105 (2017).
^ RT Howe и CG Sodini, Микроэлектроника: интегрированный подход, Prentice Hall, 1997.
^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe ^{[ только URL-адрес PDF ]}
^ https://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe ^{[ только URL-адрес PDF ]}

Внешние ссылки

[1] RT Howe и RS Muller, «Микромеханические пучки поликристаллического кремния», Весеннее собрание Электрохимического общества, том. 82-1, Монреаль, Квебек, Канада, 9–14 мая 1982 г., стр. 184–185.

[2] RT Howe и RS Muller, «Микромеханические пучки поликристаллического кремния», Журнал Электрохимического общества, 130, стр. 1420-1423, (1983).

[3] ttp://www.analog.com/media/en/technical-documentation/data-sheets/ADXL335.pdf (по состоянию на 12 октября 2018 г.)

[4] ttps://www.bosch-mobility-solutions.com/en/products-and-services/industry-elements-and-comComponents/mems-sensors/ (по состоянию на 12 октября 2018 г.)

[5] ttps://www.st.com/content/st_com/en/about/innovation---technology/mems.html (по состоянию на 12 октября 2018 г.)

[6] «МЭМС-микрофоны SiSonic™ для поверхностного монтажа» .

[7] Дж. Классен и др., «Усовершенствованный процесс поверхностной микрообработки — первый шаг на пути к 3D MEMS», Конференция IEEE MEMS, Лас-Вегас, Невада, США, стр. 314–318, 22–26 января 2017 г.

[8] Э. Нг и др., «Долгий путь от MEMS-резонаторов к устройствам синхронизации», Конференция IEEE MEMS, Эшторил, Португалия, стр. 1–2, 18–22 января 2015 г.

[9] WC Tang и RT Howe, «Резонансные микроструктуры с латеральным приводом», патент США № 5 025 346, 18 июня 1991 г.

[10] WC Tang, T.-CH Nguyen и RT Howe, «Поликремниевые резонансные микроструктуры с латеральным приводом», Sensors and Actuators, 20, стр. 25-32 (1989).

[11] А. Е. Франке, Дж. М. Хек, Т. Кинг Лю и Р. Т. Хоу, «Поликристаллические кремний-германиевые пленки для интегрированных микросистем», J. Microelectromechanical Systems, 12, стр. 160-171, (2003).

[12] Ж.-Х. Ли и др. «Микрофабрикатный термически изолированный излучатель с низкой работой выхода», J. Microelectromechanical Systems, 23, стр. 1182-1187 (2014).

[13] К. Гупта и др., «Квантовые туннельные токи в наноинженерной электрохимической системе», Journal of Physical Chemistry C, 121, стр. 15085–15105 (2017).

[14] RT Howe и CG Sodini, Микроэлектроника: интегрированный подход, Prentice Hall, 1997.

[15] ttps://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe ^{[ только URL-адрес PDF ]}

[16] ttps://cap.stanford.edu/profiles/viewCV?facultyId=10500&name=Roger_Howe ^{[ только URL-адрес PDF ]}

[1]

[2]

[3]

[4]

[5]

[6]

[7]

[8]

[9]

[10]

[11]

[12]

[13]

[14]

[15]

[16]

Базы данных авторитетного контроля
Международный	ЯВЛЯЮТСЯ ВИАФ WorldCat
Национальный	Израиль Соединенные Штаты
академики	ДБЛП Google Академика
Другой	ИдРеф