Ричард С. Мюллер
Ричард С. Мюллер | |
|---|---|
 | |
| Рожденный | Ричард Стивен Мюллер 5 мая 1933 г. |
| Академическое образование | |
| Альма-матер | |
| Академическая работа | |
| Учреждения | Калифорнийский университет в Беркли |
| Известные студенты | Роджер Т. Хау |
Ричард Стивен Мюллер (родился 5 мая 1933 года) — американский профессор кафедры электротехники и информатики Калифорнийского университета в Беркли . [1]
Он внес вклад в создание и развитие области микроэлектромеханических систем (МЭМС). Вместе со студентом Роджером Т. Хоу он внес первоначальный плодотворный вклад в создание жертвенных пучков из поликремния в 1982 году. Это привело к созданию класса микропроизводственных процессов, называемых поверхностной микрообработкой . Эти процессы предшествовали созданию недорогих, серийно выпускаемых коммерческих микроакселерометров, которые используются в автомобильных датчиках столкновений для срабатывания подушек безопасности. Вместе с Ричардом М. Уайтом он создал BSAC (Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли), организацию, которая выпустила многие поколения академических исследователей и интеллектуальной собственности в области МЭМС. MEMS — это деятельность, которая в 2013 году принесла во всем мире многомиллиардный доход. [2]
Мюллер был избран членом Национальной инженерной академии США в 1992 году за вклад в технологию и разработку интегрированных электронных датчиков.
Биография
[ редактировать ]Мюллер получил степень инженера-механика (с высшим отличием) в Технологическом институте Стивенса , Хобокен, Нью-Джерси , 1955; и его степень магистра электротехники и доктора философии. степень бакалавра электротехники и физики в 1957 и 1962 годах соответственно в Калифорнийском технологическом институте , [3] в Пасадене, Калифорния . С 1955 по 1962 год он был членом технического персонала компании Hughes Aircraft Company в Калвер-Сити , Калифорния . В 1962 году он поступил на факультет электротехники Калифорнийского университета в Беркли. С 1995 по 2005 год Мюллер занимал должность попечителя Технологического института Стивенса .
Научная работа
[ редактировать ]Его первоначальные исследования и преподавание физики интегральных схем привели к сотрудничеству с Теодором И. Каминсом из Hewlett-Packard Laboratories в написании книги «Электроника устройств для интегральных схем». [4] впервые опубликовано издательством John Wiley & Sons в 1977 году, второе издание - в 1986 году, а третье издание появилось в 2002 году. В конце 1970-х годов Мюллер сменил фокус своих исследований на общую область, теперь известную как микроэлектромеханические системы (МЭМС), и присоединился к в 1986 году вместе с коллегой Ричардом М. Уайтом основал Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли (BSAC), [5] Совместный исследовательский центр NSF / Промышленность /Университет. В 1990 году он предложил IEEE и ASME создать технический журнал MEMS, который начал публиковаться в 1991 году как «Журнал микроэлектромеханических систем IEEE/ASME» (IEEE/ASME JMEMS). В 1997 году Мюллер был выбран главным редактором JMEMS и проработал на этой должности до 2013 года. Мюллер и его ученик Роджер Т. Хоу создали процесс микрообработки поверхности с использованием поликремния (поли) в качестве конструкционного материала. [6] и оксид кремния в качестве жертвенного слоя. Этот процесс микрообработки поверхности становится основой для изготовления акселерометров с подушками безопасности большого объема. Процесс микрообработки поверхности сегодня является фундаментальным процессом для многих потребительских, промышленных и военных устройств, включая микрофоны, датчики давления, электронные фильтры, спектрометры и электронные книги.
Мюллер получил следующие академические награды и признание: Цитату Калифорнийского университета в Беркли (1994); Премия Возрождения Технологического института Стивенса (1995); Премия за карьерные достижения на конференции по исследованию преобразователей (1997 г.), премия IEEE Кледо Брунетти (совместно с Роджером Т. Хоу, 1998 г.), медаль тысячелетия IEEE (2000 г.), [7] и премия IEEE/RSE Вольфсона Джеймса Клерка Максвелла (2013 г.). [8] Он является членом Национальной инженерной академии , [9] и пожизненный член IEEE.
Лекции
[ редактировать ]- 1992 - Грозные партнеры: микроэлектроника и микромеханика. Лекция, спонсируемая кафедрой электротехники и вычислительной техники Калифорнийского университета, Сан-Диего. Выдающаяся серия лекций по электротехнике и вычислительной технике. Цифровой объект, предоставленный специальными коллекциями и архивами Калифорнийского университета в Сан-Диего.
Ссылки
[ редактировать ]- ^ «Ричард С. Мюллер | EECS в Калифорнийском университете в Беркли» . Ecs.berkeley.edu. 08.06.2013 . Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «STMicro возглавляет рейтинг рынка МЭМС» . ЭЭ Таймс. 19 апреля 2013 г. Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «Калифорнийский технологический институт» . Калифорнийский технологический институт.edu . Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «Электроника устройств для интегральных схем, 3-е издание - Ричард С. Мюллер, Теодор И. Каминс» . Уайли . Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «Центр датчиков и исполнительных механизмов Беркли» . Bsac.eecs.berkeley.edu. 21 июля 2013 г. Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ Р.Т. Хоу и Р.С. Мюллер (1983). «Микромеханические балки из поликристаллического кремния». Журнал Электрохимического общества . 130 (6). Jes.ecsdl.org: 1420–1423. Бибкод : 1983JElS..130.1420H . дои : 10.1149/1.2119965 .
- ^ «Обладатели медали тысячелетия» . ИИЭЭ . 03.01.2013. Архивировано из оригинала 31 октября 2010 года . Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «Обладатели премии IEEE / RSE Вольфсона Джеймса Клерка Максвелла» . IEEE. Архивировано из оригинала 8 апреля 2010 года . Проверено 12 августа 2013 г.
- ^ «Веб-сайт НАЭ — Главная» . Наэ.еду . Проверено 12 августа 2013 г.
Внешние ссылки
[ редактировать ]- Публикации Ричарда С. Мюллера , индексируемые библиографической базой данных Scopus . (требуется подписка)
| Международный | |
|---|---|
| Национальный | |
| академики | |
| Другой | |
