Микрооптомеханические системы
Микрооптомеханические системы ( МОМС ), также называемые микрооптомеханическими системами , представляют собой особый класс микроэлектромеханических систем (МЭМС), в которых используются оптические и механические, но не электронные компоненты.
См. также
[ редактировать ]