Микрооптоэлектромеханические системы
 | В этой статье есть несколько проблем. Пожалуйста, помогите улучшить его или обсудите эти проблемы на странице обсуждения . ( Узнайте, как и когда удалять эти шаблонные сообщения )
|
Микрооптоэлектромеханические системы ( МОЭМС ), также известные как оптические МЭМС , представляют собой интеграцию механических, оптических и электрических систем, которые включают в себя считывание или манипулирование оптическими сигналами очень малого размера. MOEMS включает в себя широкий спектр устройств, например оптический переключатель , оптический кросс-коммутатор , настраиваемый VCSEL , микроболометры . Эти устройства обычно изготавливаются с использованием микрооптики и стандартных технологий микрообработки с использованием таких материалов, как кремний, диоксид кремния , нитрид кремния и арсенид галлия .
Объединение технологий
[ редактировать ]
MOEMS включает в себя две основные технологии : микроэлектромеханические системы и микрооптику. Обе эти две технологии независимо друг от друга включают пакетную обработку, аналогичную интегральным схемам, и микрообработку, аналогичную изготовлению микросенсоров.
История МОЭМС
[ редактировать ]В 1991-1993 годах доктор М. Эдвард Мотамеди, бывший новатор Rockwell International в области микроэлектромеханических систем и микрооптики , внутри компании использовал аббревиатуру MOEMS для микрооптоэлектромеханических систем. Это было сделано для того, чтобы провести различие между оптическими MEMS и MOEMS, где оптические MEMS могут включать в себя объемную оптику, но MOEMS действительно основана на микротехнологии, где устройства MOEMS обрабатываются в пакетном режиме точно так же, как интегральные схемы, но в большинстве случаев это неверно для оптических MEMS.
В 1993 году доктор Мотамеди впервые официально представил MOEMS как мощное сочетание MEMS и микрооптики в приглашенном докладе на конференции SPIE Critical Reviews of Optical Science and Technology в Сан-Диего. В этом выступлении доктор Мотамеди представил рисунок ниже, чтобы показать, что MOEMS представляет собой взаимодействие трех основных микротехнологий; а именно микрооптика, микромеханика и микроэлектроника. [1]
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Мотамеди, Мэн (28 декабря 1993 г.). «Объединение микрооптики с микромеханикой: микрооптоэлектромеханические (МОЭМ) устройства». Учеб. SPIE 10271, Дифракционная и миниатюрная оптика: критический обзор . Дифракционная и миниатюрная оптика: критический обзор. 10271 : 102710Г. Бибкод : 1993SPIE10271E..0GM . дои : 10.1117/12.170189 . S2CID 116492415 .
Библиография
[ редактировать ]- Рай-Чоудхури, П., изд. (2000). МЭМС и МОЭМС. Технологии и приложения . СПАЙ Пресс. ISBN 978-0-8194-3716-7 .
- Солгаард, О.; Годил, А.А.; Хау, RT; Ли, LP; Питер, Ю.-А.; Заппе, Х. (июнь 2014 г.). «Оптические МЭМС: от микрозеркал к сложным системам». Журнал микроэлектромеханических систем . 23 (3): 517–538. дои : 10.1109/JMEMS.2014.2319266 .