Молекулярное осаждение из паровой фазы

Молекулярное осаждение из паровой фазы ^{[ 1 ]}^{[ 2 ]} представляет собой газофазную реакцию между поверхностно-реактивными химическими веществами и соответствующей восприимчивой поверхностью. Часто используются бифункциональные силаны , у которых один конец молекулы является реакционноспособным. Например, функциональный хлорсилан (R-Si-Cl ₃ ) может реагировать с поверхностными гидроксильными группами (-OH), что приводит к осаждению радикалов (R) на поверхности. Преимущество газофазной реакции перед сопоставимым жидкофазным процессом заключается в контроле влажности окружающей среды, что часто приводит к перекрестной полимеризации силана, приводящей к образованию частиц на обработанной поверхности. Часто нагретая вакуумная камера при температуре ниже атмосферного. ^{[ 3 ]} используется для обеспечения точного контроля реагентов и содержания воды. Кроме того, газофазный процесс позволяет легко обрабатывать сложные детали, поскольку покрытие реагента обычно ограничено диффузией. Датчики микроэлектромеханических систем ( МЭМС ) часто используют молекулярное осаждение из паровой фазы в качестве метода решения прилипания и других паразитных проблем, связанных с взаимодействием между поверхностью и поверхностью.

Ссылки

^ Джефф Чинн, Борис Кобрин, Виктор Фуэнтес, Шрикант Дасарадхи, Ричард Йи, Ромуальд Новак, Роберт Ашерст, Ройя Мабудиан, Молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD) - новый метод модификации поверхности наноустройств, Hilton Head 2004: A Семинар по твердотельным датчикам, приводам и микросистемам, 6–10 июня 2004 г.
^ Б. Кобрин, В. Р. Ашерст, Р. Мабудиан, В. Фуэнтес, Р. Новак, Р. Йи и Дж. Чинн, Техника модификации поверхности MVD, Ежегодное собрание AICHE 2004 г., 8 ноября, Остин, Техас
^ «Система покрытий РГМ-210» . Архивировано из оригинала 15 ноября 2015 г. Проверено 12 июля 2015 г.

Эта статья, посвященная нанотехнологиям, незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее .

[1] Джефф Чинн, Борис Кобрин, Виктор Фуэнтес, Шрикант Дасарадхи, Ричард Йи, Ромуальд Новак, Роберт Ашерст, Ройя Мабудиан, Молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD) - новый метод модификации поверхности наноустройств, Hilton Head 2004: A Семинар по твердотельным датчикам, приводам и микросистемам, 6–10 июня 2004 г.

[2] Б. Кобрин, В. Р. Ашерст, Р. Мабудиан, В. Фуэнтес, Р. Новак, Р. Йи и Дж. Чинн, Техника модификации поверхности MVD, Ежегодное собрание AICHE 2004 г., 8 ноября, Остин, Техас

[3] «Система покрытий РГМ-210» . Архивировано из оригинала 15 ноября 2015 г. Проверено 12 июля 2015 г.

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]