Дэвид Эттвуд (физик)
Дэвид Т. Эттвуд | |
|---|---|
| Альма-матер | Нью-Йоркский университет |
| Известный | Рентгеновская оптика EUV-литография |
| Научная карьера | |
| Учреждения | Калифорнийский университет в Беркли Национальная лаборатория Лоуренса Беркли |
Дэвид Эттвуд — американский физик и почетный профессор Калифорнийского университета в Беркли , где он работал в области синхротронного излучения. [ 1 ] и лазеры на свободных электронах , разработка рентгеновской микроскопии [ 2 ] методы для исследований и промышленности ( EUV-литография [ 3 ] ). Он является автором справочника по мягкому рентгеновскому излучению и сильному ультрафиолетовому излучению. [ 4 ]
Образование и карьера
[ редактировать ]Дэвид Эттвуд получил докторскую степень. Степень магистра прикладной физики Нью-Йоркского университета в 1972 году. [ 5 ] После получения докторской степени он присоединился к Ливерморской национальной лаборатории Лоуренса, чтобы работать над лазерным синтезом . [ 6 ] Он был первым научным руководителем компании Advanced Light Source (1985–1988) и директором-основателем Центра рентгеновской оптики Национальной лаборатории Лоуренса Беркли , где он впервые применил EUV-литографию . Он стал соучредителем программы прикладных наук и технологий (AS&T) в инженерном колледже Калифорнийского университета в Беркли и руководил более чем двадцатью аспирантами. [ 7 ] среди которых Регина Суфли и Энн Сакдинават . Он является членом Американского физического общества .
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Эттвуд, Д.; Хальбах, К.; Ким, К.-Дж. (1985). «Перестраиваемое когерентное рентгеновское излучение». Наука . 228 (4705): 1265–1272. дои : 10.1126/science.228.4705.1265 . ПМИД 17799101 . S2CID 27975164 .
- ^ Чао, Вэйлунь; Хартенек, Брюс Д.; Лиддл, Дж. Александр; Андерсон, Эрик Х.; Эттвуд, Дэвид Т. (2005). «Мягкая рентгеновская микроскопия с пространственным разрешением лучше 15 нм». Природа . 435 (7046): 1210–1213. дои : 10.1038/nature03719 . ПМИД 15988520 . S2CID 4314046 .
- ^ Гвин, CW (1998). «Экстремальная ультрафиолетовая литография». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры . 16 (6): 3142. дои : 10.1116/1.590453 .
- ^ Эттвуд, Дэвид (1999). Мягкие рентгеновские лучи и экстремальное ультрафиолетовое излучение . Издательство Кембриджского университета. ISBN 9781139164429 .
- ^ Дэвид Эттвуд - Департамент электротехники и компьютерных наук Калифорнийского университета в Беркли
- ^ Эттвуд, DT (19 мая 1978 г.). «Диагностика для программы лазерного синтеза: физика плазмы в масштабе микронов и пикосекунд» . OSTI 6683562 – через www.osti.gov.
- ^ Дэвид Эттвуд - Калифорнийский университет в Беркли
Внешние ссылки
[ редактировать ]- Публикации Дэвида Эттвуда , индексируемые Google Scholar
| Международный | |
|---|---|
| Национальный | |
| академики | |
| Другой | |
