Черновой насос
Черновой насос — это любой вакуумный насос (обычно механический), используемый для первоначального вакуумирования вакуумной системы в качестве первого этапа достижения высокого или сверхвысокого вакуума . Термин «грубый насос» происходит от диапазона вакуума, в котором он работает, «грубого вакуума», выше 1x10. −3 торр (0,1 Па ). Насосы, работающие в диапазонах высокого вакуума, обычно не работают или работают неэффективно при атмосферном давлении , тогда как насосы, которые эффективно работают при атмосферном давлении, обычно не могут создавать вакуум ниже примерно 1x10. −3 торр.
Одним из соображений при выборе чернового насоса является то, использует ли насос смазочное масло , подвергающееся воздействию вакуума. Эта проблема «обратного потока углеводородов», когда перекачиваемое масло в виде газа попадает в вакуумную камеру, привела к появлению на рынке безмасляных насосов.
Типы
[ редактировать ]Двумя основными типами грубых насосов являются шероховатые насосы с масляным уплотнением и грубые насосы сухого типа. В эти две категории входят различные типы конструкций, различия между которыми основаны на вопросах технического обслуживания, первоначальных затратах, сроке службы насоса и уровне вакуума. На начальном этапе производства сухие насосы были значительно дороже, чем насосы на масляной основе, однако со временем разрыв в стоимости сократился.
Преимущества и недостатки каждого из них заключаются в следующем:
| Насосы с масляным уплотнением | ||
|---|---|---|
| Тип | Преимущества | Недостатки |
| Роторная лопасть | Низкое предельное давление Бюджетный Длительный срок службы насоса |
Обратный поток нефти Производить опасные отходы |
| Корневая доля | Очень высокая скорость откачки | Частое обслуживание Требуется продувочный газ Требуется форвакуумный насос Должно быть абсолютно горизонтально |
| Роторный поршень | Большой объем Бюджетный |
Шум Вибрация Предохранительный клапан |
| Насосы для сухой черновой обработки | ||
| Прокрутка | Чистый Низкое «сухое» предельное давление Легко обслуживаемый Тихий Создан на основе компрессора кондиционера, поэтому технология хорошо известна. |
Ограниченный срок службы подшипников Ограниченный срок службы прокрутки Проницаемо для небольших газов Не герметично закрыт Только чистые приложения |
| Диафрагма | Бюджетный Тихий Легко обслуживается |
Низкая скорость откачки Высокое предельное давление Требуется частое обслуживание |
| Крюк и коготь | Нет обратного потока Низкое предельное давление |
Дорогой |
| Винтовой ротор | Низкое предельное давление Меньше обслуживания, чем Hook & Claw |
Дорогой |
| Сухой поршень | Низкое предельное давление | Дорогой |
| Сорбция | Чистый Нет движущихся частей |
Требуется жидкий азот Требует регенерации Ограниченная мощность |
Источники
[ редактировать ]- Основы вакуумной системы , Хасина Джамал, Университет Мэриленда.
Ссылки
[ редактировать ]- Сравнение черновых насосов , Рой Шмаус, Университет Альберты. Архивировано из оригинала 27 мая 2006 года.