Джон Орлофф

Джонатан Харрис Орлофф (род. 1942) — американский физик , писатель и профессор. Он родился в Нью-Йорке, старший сын Монфорда Орлова и брат пианистки Кэрол Орлофф и историка Честера Орлоффа . Орлов известен своими основными областями исследований в области оптики заряженных частиц, применения процессов автоэмиссионной эмиссии, источников электронов и ионов высокой яркости, сфокусированных ионных и электронных пучков и их применения для микрообработки, анализа поверхности и микроскопии, а также разработки приборов для производства полупроводниковых приборов. .

Карьера

Орлов получил степень бакалавра физики в Массачусетском технологическом институте в 1964 году и степень доктора философии. Степень бакалавра прикладной физики в Орегонском аспирантском центре в 1977 году.

В период обучения он занимался экспериментальной ядерной физикой в ​​Питтсбургском университете и с 1970 года работал в небольшой компании, которая пыталась вывести на рынок просвечивающий электронный микроскоп с электростатическими линзами.

Предприятие TEM оказалось неудачным и было заброшено в 1973 году. Интерес Орлова к электронной оптике побудил его получить докторскую степень. в OGC в 1974 году под эгидой Линвуда В. Суонсона. С 1978 по 1985 год он был доцентом кафедры прикладной физики в Орегонском центре аспирантуры и консультантом исследовательских лабораторий Хьюза .

С 1984 по 1993 год он был профессором кафедры прикладной физики и электротехники. Летом 1985 года он поехал во Францию ​​в качестве приглашенного ученого по приглашению CNRS Лаборатории микроструктур и микроэлектроники в Банье. Во время работы в OGC он разработал технологию фокусированного ионного луча высокого разрешения (FIB) и занимался проектированием оптики для компании FEI , четвертым партнером которой он был, а также входил в совет директоров.

Его отец Монфорд Орлофф был председателем FEI до выхода на пенсию в 1997 году. Орлов был профессором Университета Мэриленда в Колледж-Парке с 1993 года до выхода на пенсию в 2006 году. факультета электротехники и вычислительной техники Он является автором или соавтором более 80 публикаций, в том числе статьи в журнале Scientific American и книг « Справочник по оптике заряженных частиц» , редактором которых он является, и «Фокусированные ионные пучки высокого разрешения » совместно с Л.В. Свенсоном и М.В. Утлаутом. Он является почетным профессором Мэрилендского университета в Колледж-Парке.

Организационная принадлежность

• Консультативный комитет конференции по электронным, ионно-фотонным пучкам и нанотехнологиям, председателем которой он ранее был.
• Институт инженеров электротехники и электроники
• Американская ассоциация развития науки

Награды

• Президентская премия молодого исследователя Национального научного фонда в области физики (1984).
• Грант корпорации IBM за выдающиеся достижения в области электронной оптики (1983).
• Сотрудник IEEE (2001 г.)
• Сотрудник AAAS (2001 г.)

Библиография основных публикаций

• Орлофф, Джон; Суонсон, LW; Утлаут, М. (1996). «Фундаментальные ограничения разрешения изображений для сфокусированных ионных пучков». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры . 14 (6). Американское вакуумное общество: 3759. Бибкод : 1996JVSTB..14.3759O . дои : 10.1116/1.588663 . ISSN   0734-211X .
• Ван, Ли; Орлофф, Джон; Тан, Тяньтун (1995). «Исследование устройств пространственного заряда для систем с фокусированными ионными пучками». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры . 13 (6). Американское вакуумное общество: 2414. Бибкод : 1995JVSTB..13.2414W . дои : 10.1116/1.588011 . ISSN   0734-211X .
• Орлофф, Джон (1993). «Фокусированные ионные пучки высокого разрешения». Обзор научных инструментов . 64 (5). Издательство АИП: 1105–1130. Бибкод : 1993RScI...64.1105O . дои : 10.1063/1.1144104 . ISSN   0034-6748 .
• Сато, М.; Орлов, Дж. (1992). «Новая концепция теоретического разрешения оптической системы, сравнение с экспериментом и оптимальные условия для точечного источника». Ультрамикроскопия . 41 (1–3). Эльзевир Б.В.: 181–192. дои : 10.1016/0304-3991(92)90107-у . ISSN   0304-3991 .
• Сато, М.; Орлов, Дж. (1991). «Метод расчета плотности тока пучков заряженных частиц и влияния конечного размера источника, сферических и хроматических аберраций на характеристики фокусировки». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры . 9 (5). Американское вакуумное общество: 2602. Бибкод : 1991JVSTB...9.2602S . дои : 10.1116/1.585700 . ISSN   0734-211X .
• Орлов Дж.; Ли, Ж.-З.; Сато, М. (1991). «Экспериментальное исследование размеров зонда сфокусированного ионного пучка и сравнение с теорией». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры . 9 (5). Американское вакуумное общество: 2609. Бибкод : 1991JVSTB...9.2609O . дои : 10.1116/1.585701 . ISSN   0734-211X .
• Дж. Пурец, Р. К. Де Фриз, Р. А. Эллиот, Дж. Орлофф и Т. Л. Паоли, Работа поверхностно-эмиссионной матрицы диодных лазеров с фазовой автоподстройкой мощности мощностью 300 мВт, Electronic Letters, 29 января 1987 г., Vol. 23, № 3, стр. 130–131.
• Судро, П.; Орлов Дж.; Бенассаяг, Г. (1986). «Влияние углеродосодержащих газов и бомбардировки вторичными электронами на источник ионов жидкого металла» . Le Journal de Physique Colloques . 47 (С7). EDP ​​Sciences: 381–387. дои : 10.1051/jphyscol:1986765 . ISSN   0449-1947 . S2CID   97835058 .
• Орлов Дж.; Суонсон, Л.В. (1979). «Асимметричная электростатическая линза для автоэмиссионных микрозондов». Журнал прикладной физики . 50 (4). Издательство AIP: 2494–2501. Бибкод : 1979JAP....50.2494O . дои : 10.1063/1.326260 . ISSN   0021-8979 .
• Орлов Дж.; Суонсон, Л.В. (1978). «Тонкофокусные ионные пучки с полевой ионизацией». Журнал вакуумной науки и технологий . 15 (3). Американское вакуумное общество: 845–848. Бибкод : 1978JVST...15..845O . дои : 10.1116/1.569610 . ISSN   0022-5355 .
• Сфокусированные ионные пучки высокого разрешения: FIB и его применение , совместно с Л. Суонсоном и М. Утлаутом, 2003, Springer Press, Нью-Йорк.
• Справочник по оптике заряженных частиц , CRC Press, Бока-Ратон, 1-е изд. (1997), 2-е изд. (2009), Дж. Орлов, Ред.