Мегазвуковая очистка
 | В этой статье есть несколько проблем. Пожалуйста, помогите улучшить его или обсудите эти проблемы на странице обсуждения . ( Узнайте, как и когда удалять эти шаблонные сообщения )
|
Мегазвуковая очистка — это вид акустической очистки, родственный ультразвуковой очистке . Это механизм очистки, который с меньшей вероятностью приведет к повреждению. [1] Мегазвуковая очистка используется в электронной промышленности для различных изготовления полупроводниковых приборов . процессов [2]
Как и ультразвуковая очистка, мегазвуковая очистка использует преобразователь , который обычно располагается поверх пьезоэлектрической подложки. [3] Преобразователь создает акустическое поле на гораздо более высокой частоте (обычно 0,8–2 МГц ), чем ультразвуковая очистка (20–200 кГц ). В результате возникающая кавитация становится более мягкой и в гораздо меньших масштабах. [4]
Сравнение с ультразвуковой чисткой
[ редактировать ]Мегазвуковая очистка отличается от ультразвуковой очистки частотой, на которой генерируются акустические волны . Ультразвуковая очистка использует более низкие частоты, а ее механизм основан на кавитации . [1] в то время как мегазвуковая очистка использует более высокие частоты и вызывает менее разрушительную кавитацию.
В ультразвуковых устройствах кавитация происходит по всему резервуару и очищаются все стороны погружаемых деталей. В мегазвуковых устройствах акустическая волна обнаруживается только на прямой видимости от поверхности преобразователя. По этой причине мегазвуковые преобразователи обычно строятся с использованием массивов близко расположенных квадратных или прямоугольных пьезоустройств, прикрепленных к подложке. Полупроводниковые пластины обычно очищаются в держателях, удерживающих подложки перпендикулярно преобразователю, что позволяет очищать как переднюю, так и заднюю поверхности. Иногда используются специальные держатели, чтобы уменьшить количество препятствий, которые могут помешать очистке частей поверхности пластины. [2]
Очистители Megasonic выпускаются во многих конфигурациях, таких как системы с одним или двумя соплами или преобразователи с одной пластиной. В устройствах с одной пластиной пластина вращается на вращающемся инструменте, а мегазвуковые волны подаются сверху с помощью сопла (поток жидкости) или фронтального преобразователя (частичная область, возбуждаемая мегазвуком). [5]
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Jump up to: а б Нагараджан, Р.; Авад, С.; Гопи, КР (2011). «Глава 2 – Мегазвуковая очистка» . В Кохли, Раджив; Миттал, КЛ (ред.). Разработки в области загрязнения и очистки поверхностей . Оксфорд: Издательство Уильяма Эндрю. стр. 31–62. ISBN 978-1-4377-7885-4 . Проверено 15 октября 2023 г.
- ^ Jump up to: а б Канегсберг, Барбара; Канегсберг, Эдвард (2011). Справочник по критической уборке (2-е изд.). ЦРК Пресс. стр. 245–247. ISBN 978-1-4398-2828-1 .
- ^ Канегсберг, Барбара; Канегсберг, Эдвард (2001). Справочник по критической уборке (2-е изд.). ЦРК Пресс. п. 497. ИСБН 978-1-4200-3982-5 .
- ^ Буснаина, Ахмед А.; Кашкуш, Исмаил И.; Гейл, Гленн В. (1995). «Экспериментальное исследование мегазвуковой очистки кремниевых пластин» . Журнал Электрохимического общества . 142 (8): 2812–2817. Бибкод : 1995JElS..142.2812B . дои : 10.1149/1.2050096 .
- ^ Холстейнс, Фрэнк; Янссенс, Том; Арнаутс, София; Ван дер Путте, Воутер; Минсье, Винсент; Бруннер, Иоганн; Страка, Иоахим; Мертенс, Пол В. (2007). «Генерация пузырьков ex situ, повышение скорости удаления частиц в процессах мегазвуковой очистки одной пластины». Явления твердого тела . 134 : 201–204. дои : 10.4028/www.scientific.net/SSP.134.201 .