Изменение фокуса
Изменение фокуса — это метод, используемый для повышения резкости изображений и измерения неровностей поверхности с помощью оптики с ограниченной глубиной резкости . [1]
Алгоритм
[ редактировать ]Алгоритм работает следующим образом:
- Сначала захватываются изображения с разным фокусом. Это делается путем перемещения образца или оптики относительно друг друга.
- Затем для каждой позиции рассчитывается фокус по каждой плоскости.
- Плоскость с лучшим фокусом используется для получения четкого изображения. соответствующая глубина дает глубину в этом положении-
Оптика
[ редактировать ]Для изменения фокуса требуется оптика с очень небольшой глубиной резкости . Это можно реализовать, если микроскоп использовать , подобный оптике и объективу микроскопа. Эти объективы имеют высокую числовую апертуру , что обеспечивает небольшую глубину резкости.
Использование
[ редактировать ]Этот метод применяется для оптической метрологии поверхности и координатно-измерительных машин . Это означает измерение формы, волнистости и шероховатости образцов. [2] Благодаря оптимизированным аппаратным и программным компонентам можно достичь поперечного разрешения 500 нм (ограничение длины волны света) и вертикального разрешения в несколько нм.
Преимущества и недостатки
[ редактировать ]Преимущества:
- Может использоваться на образцах с крутыми склонами. Это связано с тем, что кольцевой светильник можно использовать для расширения апертуры освещения.
- Очень нечувствителен к вибрации
- Может передавать информацию о цвете
- Можно измерять на шероховатых и гладких поверхностях.
Недостатки:
- Нормальное изменение фокуса нельзя использовать, если поверхность образца не придает структуру изображению. Это значит, что его нельзя использовать для вафель и стекла. Изменение фокуса в соответствии со стандартом ISO 25178-606 также позволяет измерять гладкие поверхности.
Стандартизация
[ редактировать ]Комитет ISO работает над новой серией стандартов ISO, получившей название серии ISO 25178 . Документ, состоящий из 6 частей, описывает доступные методы измерения шероховатости . Вариация фокуса – один из описанных методов.
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Аликона. «Вариация фокуса — надежная технология оптической 3D-метрологии поверхности высокого разрешения» (PDF) . Проверено 28 сентября 2017 г.
- ^ Бурмудес, Карлос. «Активное изменение фокуса подсветки» . Проверено 22 октября 2020 г.