Карл Фрош
Карл Джон [1] Лягушка (6 сентября 1908 г. - 18 мая 1984 г.) [2] был исследователем Bell Labs , который обнаружил, что кремний может быть покрыт защитным слоем диоксида кремния при правильном воздействии кислорода в горячем состоянии. Такое защитное покрытие позволило решить проблему поверхностных состояний , возникающую в активных кремниевых элементах схемы. Открытие также выявило потенциал процесса травления кремния .
Этот процесс открытия был похож на процесс открытия пенициллина в том смысле, что случайное событие привело к открытию решения серьезной проблемы.
Ссылки [ править ]
- Майкл Риордан и Лилиан Ходдесон (1997) Crystal Fire , стр. 222, WW Norton & Company ISBN 0-393-04124-7 .
- Специфический
Внешние ссылки [ править ]
- Кремниевые ожоги Описание открытия с точки зрения коллеги из Bell Labs.