Умный крой
Smart Cut — это технологический процесс, который позволяет переносить очень тонкие слои кристаллического кремниевого материала на механическую основу. Он был изобретен Мишелем Брюэлем из CEA-Leti и защищен патентом США 5374564. [1] Этот технологический процесс применяется в основном при производстве кремний-на-изоляторе подложек (КНИ).
Роль SOI заключается в электронной изоляции тонкого слоя монокристаллического кремния от остальной части кремниевой пластины ; ультратонкая кремниевая пленка переносится на механическую опору, образуя тем самым промежуточный изолирующий слой. Производители полупроводников могут затем изготавливать интегральные схемы на верхнем слое пластин КНИ, используя те же процессы, которые они используют при изготовлении простых кремниевых пластин.
Последовательность иллюстраций наглядно описывает процесс изготовления пластин КНИ с использованием технологии интеллектуальной резки.
Ссылки
[ редактировать ]- ^ US 5374564 , Брюэль, Мишель, «Способ производства тонких пленок полупроводникового материала», опубликован 20 декабря 1994 г.