Туомо Сунтола

Туомо Сунтола
Туомо Сунтола
	Сунтола в 2014 году
Рожденный	1943 (80–81 год) ; Тампере , Финляндия
Национальность	финский
Альма-матер	Хельсинкский технологический университет
Известный	Нанесение атомного слоя
Награды	Орден Финляндского льва - Рыцарь 1-й степени, Европейская премия SEMI в 2004 г., Премия в области технологий тысячелетия 2018 г.
	Научная карьера
Поля	Материаловедение

Туомо Сунтола (род. 1943) — финский физик, изобретатель и технологический лидер. Он наиболее известен своими новаторскими исследованиями в области материаловедения, разработкой метода выращивания тонких пленок, называемого атомно-слоевым осаждением .

Ранний период жизни

Сунтола родился в Тампере , Пирканмаа , в 1943 году, во время Войны-продолжения . Он рано проявил интерес к технологиям, создавая деревянные копии самолетов времен Второй мировой войны. В подростковом возрасте его интересы расширились, и он перешел к радиоприемникам и усилителям. ^{[ 1 ]}

Образование и карьера

В 1971 году Туомо Сунтола получил степень доктора философии по физике полупроводников в Хельсинкском технологическом университете . После получения докторской степени Сунтола сделал свою первую промышленную разработку, работая в Центре технических исследований VTT в Финляндии , — тонкопленочный датчик влажности «Humicap» для Vaisala Oy , финской компании, специализирующейся на метеорологических приборах.

В 1974 году Suntola начала разработку тонкопленочных электролюминесцентных дисплеев в финской компании Instrumentarium Oy. Он представил технологию атомно-слоевой эпитаксии (ALE), ныне известную как атомно-слоевое осаждение (ALD), как решение для производства электролюминесцентных устройств, для которых требовались тонкие пленки с очень высокой диэлектрической прочностью. ^{[ 2 ]} Эта технология была внедрена в промышленное производство электролюминесцентных устройств в середине 1980-х годов корпорацией Lohja в Финляндии. ^{[ 3 ]} Атомное осаждение слоев позже стало одним из ключевых методов производства полупроводниковых приборов .

В 1987 году Suntola основала Microchemistry Ltd как дочернюю компанию национальной нефтяной компании Neste Oy, чтобы применить технологию ALD в новых областях применения, таких как тонкопленочные фотоэлектрические устройства, гетерогенные катализаторы и, что наиболее важно, в полупроводниковых устройствах. В 1998 году компания Microchemistry Ltd. и технология ALD были проданы голландской компании ASM International , крупному поставщику оборудования для производства полупроводников; Microchemistry Ltd. стала ASM Microchemistry Oy как финская дочерняя компания ASM. В 1997 году, до приобретения Microchemistry Ltd, Сантола начал свою карьеру в качестве научного сотрудника в национальной энергетической компании Fortum Corporation, созданной в результате слияния Neste Corporation и национальной электроэнергетической компании. Деятельность Suntola в Fortum была сосредоточена на возобновляемых источниках энергии и передовых энергетических технологиях. Он ушел из Fortum в 2004 году, но продолжает работать членом совета директоров Picosun Oy, финского производителя реакторов ALD. Он имеет важные патенты на технологию ALD и тонкопленочные устройства.

Теория динамической вселенной

С 1990-х годов Сунтола работал над теорией, которая, как он утверждает, является заменой стандартных теорий относительности , квантовой механики и космологии . Теория опубликована в книге «Динамическая Вселенная – На пути к единой картине физической реальности» . ^{[ 4 ]} В родственной книге «Краткая история науки » Сунтола прослеживает развитие научной картины реальности от античности до наших дней, кульминацией которого стала теория динамической Вселенной. ^{[ 5 ]}

Награды

В 2004 году компания Suntola получила европейскую премию SEMI «В честь пионера в методах атомного осаждения слоев … которая проложила путь к разработке наноразмерных полупроводниковых устройств» . ^{[ 3 ]}

В 2018 году Сунтола получил Финскую премию тысячелетия в области технологий за вклад в развитие информационных технологий на том основании, что « Чрезвычайно тонкие изолирующие или проводящие пленки, необходимые в микропроцессорах и устройствах компьютерной памяти, могут быть изготовлены только с использованием технологии ALD, разработанной Туомо Сунтола. . » ^{[ 6 ]} 74-летний мужчина получил миллион евро (1,18 миллиона долларов). Его технология используется для изготовления ультратонких слоев материала для различных устройств, таких как компьютеры, смартфоны , микропроцессоры цифровой и устройства памяти , что обеспечивает высокую производительность при небольших размерах. ^{[ 7 ]}

Известные публикации

Т. Сунтола, «О механизме эффектов переключения в тонких халькогенидных пленках», Твердотельная электроника, 1971, Vol. 14, стр. 933–938.
12.11.1972/21.08.1979, 4 164 868 США Suntola, Емкостный датчик влажности
1974-11-29/1977-11-15, US 4058430 Сантола, Антсон, Способ производства составных тонких пленок.
1979-02-28/1983-11-01, US 4,413,022 Сунтола, Паккала, Линдфорс, Способ выращивания сложных тонких пленок.
1980-08-20/1983-06-14, США 4,388,554 Suntola, Antson, электролюминесцентный компонент дисплея
Т. Сунтола, «Атомно-слоевая эпитаксия», Tech. Дайджест ICVGE-5, Сан-Диего, 1981 г.
Т. Сунтола, Дж. Хиваринен, «Атомно-слоевая эпитаксия», Annu. Преподобный. Матер. наук. 15 (1985) 177
1985-03-05/1990-03-13, US 4907862 Suntola, Способ генерации цветных элементов с электронным управлением и цветного отображения на основе этого метода.
Т. Сунтола, «Атомно-слойная эпитаксия», Отчеты о материаловедении, том 4, номер 7, декабрь 1989 г., 0920-2307/89, Elsevier Science Publishers BV.
16 января 1990 г./18 марта 2003 г., патент США 6534431 Suntola et al., Способ и устройство для приготовления гетерогенных катализаторов.
16 июля 1991/31 декабря 2002, патент США 6500780 Suntola et al., Способ приготовления гетерогенных катализаторов с желаемым содержанием металлов.
Т.Сунтола, «Тонкопленочные солнечные элементы CdTe», Бюллетень MRS, Vol. XVIII, № 10, 1993 г.
Т. Сунтола, «Атомно-слоевая эпитаксия», Справочник по выращиванию кристаллов 3, Тонкие пленки и эпитаксия, Часть B: Механизмы и динамика роста, Глава 14, Elsevier Science Publishers BV, 1994.
С. Хаукка, Э.-Л. Лакомаа, Т. Сунтола, «Приготовление гетерогенных катализаторов, контролируемое адсорбцией», Адсорбция и ее применение в промышленности и защите окружающей среды, А. Дабровски, изд., Elsevier Science Publishers BV, 1998.
Туомо Сунтола, Краткая история науки – или долгий путь к союзу метафизики и эмпиризма , сентябрь 2018 г. ISBN 978-952-68101-0-2
Р. Л. Пуурунен, Х. Каттелус, Т. Сунтола, «Атомно-слоевое осаждение в технологии MEMS», гл. 26 Справочника по кремниевым МЭМС-материалам и технологиям / Под ред. В. Линдроос и др. , стр. 433–446, Elsevier, 2010.
Туомо Сунтола, Динамическая Вселенная – На пути к единой картине физической реальности, Четвертое издание , сентябрь 2018 г., ISBN 978-1461027034 .

Ссылки

^ «Пионер ALD Туомо Сунтола объясняет, как его изобретение поддерживает закон Мура» . 28 марта 2019 г. Проверено 25 мая 2020 г.
^ Ахвенниеми, Эско; Акбашев Андрей Р.; Али, Сайма; Бечелани, Михаил; Бердова, Мария; Бояджиев, Стефан; Кэмерон, Дэвид С.; Чен, Ронг; Чубаров, Михаил (16 декабря 2016 г.). «Обзорная статья: Список рекомендуемых к прочтению ранних публикаций по осаждению атомных слоев — результат «Виртуального проекта по истории ALD» » . Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки . 35 (1): 010801. дои : 10.1116/1.4971389 . ISSN 0734-2101 .
^ Jump up to: ^а ^б Пуурунен, Р.Л. (2014). «Краткая история осаждения атомных слоев: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола» . Химическое осаждение из паровой фазы . 20 (10–11–12): 332–344. дои : 10.1002/cvde.201402012 .
^ Сунтола, Туомо (2018). Динамическая Вселенная - На пути к единой картине физической реальности (4-е изд.). Общество основателей физики и Финское общество натурфилософии. стр. 294–295. ISBN 978-1461027034 .
^ Сунтола, Туомо (2018). Краткая история науки – или долгий путь к союзу метафизики и эмпиризма (PDF) (3-е, дополненное изд.).
^ «Премия тысячелетия в области технологий 2018 года для Туомо Сунтола – инновации финского физика позволяют производить и разрабатывать продукты информационных технологий» (пресс-релиз). Технологическая академия Финляндии. 22 мая 2018 г. Проверено 22 мая 2018 г.
^ «Техническая Нобелевская премия присуждена финскому физику за небольшие интеллектуальные устройства» Phys.org, 22 мая 2018 г.

Дальнейшее чтение

Кристер Экебом (5 июня 1985 г.). «Десять лет исследований принесли инженерную награду» . Форум (на шведском языке). нет. 1985–10. стр. 22-23. ISSN 0533-070X . {{cite news}}: CS1 maint: дата и год ( ссылка )

Внешние ссылки

Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола
Туомо Сунтола » Общество фондов физики

[TechWorld-1] «Пионер ALD Туомо Сунтола объясняет, как его изобретение поддерживает закон Мура» . 28 марта 2019 г. Проверено 25 мая 2020 г.

[2] Ахвенниеми, Эско; Акбашев Андрей Р.; Али, Сайма; Бечелани, Михаил; Бердова, Мария; Бояджиев, Стефан; Кэмерон, Дэвид С.; Чен, Ронг; Чубаров, Михаил (16 декабря 2016 г.). «Обзорная статья: Список рекомендуемых к прочтению ранних публикаций по осаждению атомных слоев — результат «Виртуального проекта по истории ALD» » . Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки . 35 (1): 010801. дои : 10.1116/1.4971389 . ISSN 0734-2101 .

[:0-3] Jump up to: ^а ^б Пуурунен, Р.Л. (2014). «Краткая история осаждения атомных слоев: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола» . Химическое осаждение из паровой фазы . 20 (10–11–12): 332–344. дои : 10.1002/cvde.201402012 .

[4] Сунтола, Туомо (2018). Динамическая Вселенная - На пути к единой картине физической реальности (4-е изд.). Общество основателей физики и Финское общество натурфилософии. стр. 294–295. ISBN 978-1461027034 .

[5] Сунтола, Туомо (2018). Краткая история науки – или долгий путь к союзу метафизики и эмпиризма (PDF) (3-е, дополненное изд.).

[6] «Премия тысячелетия в области технологий 2018 года для Туомо Сунтола – инновации финского физика позволяют производить и разрабатывать продукты информационных технологий» (пресс-релиз). Технологическая академия Финляндии. 22 мая 2018 г. Проверено 22 мая 2018 г.

[7] «Техническая Нобелевская премия присуждена финскому физику за небольшие интеллектуальные устройства» Phys.org, 22 мая 2018 г.

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]

[ 4 ]

[ 5 ]

[ 6 ]

[ 7 ]

Базы данных авторитетного контроля
Международный	ЯВЛЯЮТСЯ ВИАФ WorldCat
Национальный	Израиль Финляндия Соединенные Штаты Нидерланды