Создание рисунка путем травления на наноуровне

Рисунок 1 – Пример процедуры с использованием фторида аммония в качестве травителя и полимерных кистей для визуализации

Создание рисунка путем травления на наноуровне ( PEN ) — это метод мягкой литографии , при котором связи в матрице полидиметилсилоксана (ПДМС) разрываются для контролируемого травления ПДМС (т.е. растворения) с медленной скоростью вдоль внешней стороны канала ПДМС, образованного узорчатым рисунком. Штамп ПДМС, нанесенный на поверхность. Канал в штампе может быть расширен от десятков нанометров до нескольких микрометров . Обнажение свежего участка поверхности, с которым можно вступить в реакцию.

Краткое содержание

ПДМС содержит полимерные цепи кремний-кислородных связей, эти связи могут быть разорваны фторидсодержащими соединениями, точно так же, как кремниевые пластины готовятся травлением плавиковой кислотой , фторидом аммония и родственными соединениями. Размещая на поверхности штамп PDMS, содержащий канал, который можно заполнить извне, эту поверхность можно функционализировать в области канала. При прохождении раствора для травления через канал часть PDMS будет удалена. Обнажение свежего участка поверхности. Затем это можно функционализировать с помощью соответствующей химии. Ширина создаваемого элемента контролируется травлением и временем.

Чтобы применить эту технику для создания небольших узорчатых элементов, необходимо, чтобы поверхность можно было пассивировать в области, открытой для канала, с последующим травлением, а затем прореагировать, что произойдет только на вновь открытой области.

Ссылки

Перринг М., Митчелл М., Кенис П.Дж.А., Боуден Н.Б., Chem. Мат 2007 19 (11), 2903