СЕКС/ГЕМ

SECS /GEM — это протокол интерфейса полупроводникового оборудования для передачи данных между оборудованием и хостом. В автоматизированном заводе интерфейс может запускать и останавливать обработку оборудования, собирать данные измерений, изменять переменные и выбирать рецептуры продуктов. Стандарты SECS ( Стандарт связи оборудования SEMI )/GEM (Общая модель оборудования) делают все это определенным образом.

Разработано организацией SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International). стандарты определяют общий набор поведения оборудования и возможностей связи.

Стандарт «Общая модель связи и управления производственным оборудованием» (GEM) поддерживается и публикуется некоммерческой организацией Semiconductor Equipment and Materials International ( SEMI ). Вообще говоря, стандарт SECS/GEM определяет сообщения, конечные автоматы и сценарии, позволяющие заводскому программному обеспечению контролировать и контролировать производственное оборудование.

Стандарт GEM формально обозначается как стандарт SEMI E30, но часто его называют просто стандартом GEM или SECS/GEM. GEM намеревается «приносить экономические выгоды как производителям устройств, так и поставщикам оборудования...», определяя «... общий набор поведения оборудования и коммуникационных возможностей, которые обеспечивают функциональность и гибкость для поддержки программ автоматизации производства производителей полупроводниковых устройств». [ПОЛУ E30, 1.3]. GEM — это стандартная реализация стандарта SECS-II , стандарта SEMI E5. Многие устройства в полупроводниковой промышленности (передняя и задняя части), технологиях поверхностного монтажа, сборке электроники, фотоэлектрических устройствах, плоскопанельных дисплеях и других отраслях промышленности по всему миру предоставляют интерфейс SECS/GEM на производственном оборудовании, чтобы заводское программное обеспечение могло взаимодействовать с машиной. в целях мониторинга и/или контроля. Поскольку стандарт GEM был написан с очень небольшим количеством особенностей, специфичных для полупроводников, его можно применять практически к любому автоматизированному производственному оборудованию в любой отрасли.

Все производственное оборудование, совместимое с GEM, имеет единый интерфейс и определенное единообразное поведение. Оборудование GEM может взаимодействовать с хостом, поддерживающим GEM, используя либо TCP/IP (с использованием стандарта HSMS , SEMI E37), либо протокол на основе RS-232 (с использованием стандарта SECS-I, SEMI E4). Часто поддерживаются оба протокола. Каждое оборудование можно контролировать и контролировать с помощью общего набора сообщений SECS-II, указанного GEM.

Существует множество дополнительных стандартов SEMI и заводских спецификаций, которые ссылаются на стандарт GEM и его характеристики. Эти дополнительные стандарты зависят либо от отрасли, либо от типа оборудования. Ниже приведены несколько примеров.

Полупроводниковый интерфейс

В отрасли полупроводниковых интерфейсов определена серия стандартов, известных как стандарты GEM300, которые включают стандарты SEMI E40, E87, E90, E94 и E116 и ссылаются на стандарт E39. Каждый стандарт предоставляет дополнительные функции интерфейса GEM, но в то же время основывается на функциях стандарта GEM E30. Заводы диаметром 300 мм по всему миру используют функции сбора данных базового стандарта GEM для мониторинга конкретной деятельности оборудования, такой как перемещение пластин и выполнение технологических заданий. Стандарт SECS/GEM и дополнительные стандарты GEM300 необходимы практически для каждого инструмента для изготовления пластин диаметром 300 мм для реализации автоматизации производства. Эта отрасль является самым решительным сторонником GEM и связанных с ним стандартов SEMI.

Полупроводниковая серверная часть

Многочисленное оборудование в полупроводниковой промышленности реализует стандарт GEM. Были реализованы дополнительные стандарты, такие как СТАНДАРТ SEMI E122 ДЛЯ СПЕЦИАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ТЕСТЕРА и СТАНДАРТ SEMI E123 ДЛЯ СПЕЦИАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ОБОРУДОВАНИЯ ПОГРУЗЧИКА.

Технология поверхностного монтажа

Многие устройства в отрасли технологий поверхностного монтажа поддерживают стандарт GEM, включая установку чипов, паяльную пасту, печи и контрольное оборудование. Стандарт GEM используется в этом оборудовании более 15 лет, хотя он не получил широкого распространения по сравнению с другими широко используемыми вариантами Индустрии 4.0.

Фотоэлектрический

В 2008 году фотоэлектрическая промышленность официально решила принять стандарт SECS/GEM и представила предложение по новому стандарту SEMI, бюллетень 4557, в качестве нового стандарта фотоэлектрической отрасли. Еще до принятия стандарта GEM несколько поставщиков фотоэлектрического оборудования уже были способны поддерживать стандарт GEM. Новый стандарт называется PV02 «Руководство по интерфейсам связи фотоэлектрического оборудования (PVECI)» и определяет структуру, которая использует SEMI E37 ( HSMS ), SEMI E5 (SECS-II), а также подмножества SEMI E30 (GEM). ), стандарты SEMI E148 ( синхронизация времени на основе NTP ) и SEMI E10 (определение и измерение надежности и доступности оборудования).

Ссылки

• Международные стандарты SEMI

Внешние ссылки

• SEMI - Международное полупроводниковое оборудование и материалы