Сброс низкого давления

существуют разряды низкого давления В газоразрядных лампах . Электрические разряды в газах производятся при давлении газа от нескольких миллиторр до чуть меньше атмосферного.

Описание

Чаще всего их используют в промышленности для получения плазмы . Для поддержания разряда при более низких давлениях требуется меньше энергии, поскольку скорость объемной рекомбинации ниже. Также легче добиться равномерных разрядов при низком давлении.

Обычно система откачивается, и в плазменную камеру подаются только необходимые плазменные газы. Аргон является типичным фоновым газом, поскольку он имеет низкий потенциал ионизации и, следовательно, его легче расщепить и поддерживать.

В большинстве разрядов, используемых в полупроводниковой промышленности, используется плазма низкого давления.