Подрез (травление)

Подрезы от травления (микрообработки) обычно являются нежелательным побочным эффектом. ^{[ нужна ссылка ]} однако иногда используются как признак, например, в методе Нимейера-Долана . ^[1] Подрезы в результате травления могут возникать по двум распространенным причинам. Во-первых, это чрезмерное травление, что означает, что травитель применялся слишком долго. Второе связано с изотропным травителем, что означает, что травитель одинаково травит во всех направлениях. Чтобы решить эту проблему, анизотропный травитель. используется ^[2]

Ссылки

^ Хеннинг, Торстен (27 января 1999 г.). «Эффекты зарядки в наноструктурах ниобия». стр. 56, 60. arXiv : cond-mat/9901308 .
^ Дегармо, Блэк и Кохсер 2003 , стр. 897.

Библиография

Дегармо, Э. Пол; Блэк, Джей Т.; Кохсер, Рональд А. (2003), Материалы и процессы в производстве (9-е изд.), Wiley, ISBN 0-471-65653-4 .

[1] Хеннинг, Торстен (27 января 1999 г.). «Эффекты зарядки в наноструктурах ниобия». стр. 56, 60. arXiv : cond-mat/9901308 .

[2] Дегармо, Блэк и Кохсер 2003 , стр. 897.

[1]

[2]