Крис Мак (ученый)
Крис Мак (род. около 1960 г.) — эксперт в области фотолитографии . Он получил несколько степеней бакалавра в Технологическом институте Роуз-Халмана в 1982 году, степень магистра наук в области электротехники в Университете Мэриленда в Колледж-Парке в 1989 году и докторскую степень в области химического машиностроения в Техасском университете в 1998 году.
С литографией познакомился во время работы в Научно-исследовательской лаборатории микроэлектроники АНБ . После назначения в Sematech он оставил работу в АНБ и основал FINLE Technologies (1990) для коммерциализации PROLITH , симулятора, который он разработал для моделирования оптических и химических аспектов фотолитографии. FINLE Technologies была приобретена в феврале 2000 года компанией KLA-Tencor , которая сейчас продает PROLITH.
В 2017 году он стал соучредителем Fractilia, Inc. для разработки MetroLER, программного продукта, моделирующего стохастические эффекты в процессе производства полупроводников. В настоящее время он является техническим директором Fractilia.
В настоящее время он является адъюнкт-преподавателем Техасского университета в Остине . Он ведет ежеквартальную колонку под названием «Эксперт по литографии».
В 2003 году он получил международную премию SEMI в области полупроводникового оборудования и материалов для Северной Америки. В 2005 году он стал героем первого ежегодного доклада Криса Мака Роста на конференции SPIE Microlithography. В 2009 году Мак был награжден премией Фрица Цернике в области микролитографии на симпозиуме SPIE по передовой литографии.
Ссылки
[ редактировать ]- «Крис Мак присоединяется к техническому консультативному совету стартапа DFM» . ЭЭ Таймс . 14 сентября 2005 года . Проверено 25 марта 2011 г.
- «Обладатели премии SPIE Taps '09» . Фотоника.com. 23 апреля 2009 года . Проверено 25 марта 2011 г.
- «SPIE назначает Криса Мака редактором журнала Micro/Nanolithography, MEMS и MOEMS » . ШПИОН . 17 февраля 2011 года . Проверено 25 марта 2011 г.
- Мак, Крис (22 января 2008 г.). Фундаментальные принципы оптической литографии: наука о микрообработке . Западный Суссекс, Англия: John Wiley & Sons . ISBN 978-0-470-72730-0 .
Внешние ссылки
[ редактировать ]- Персональный сайт Криса Мака
- ПРОЛИТ в KLA-Tencor. Архивировано 6 февраля 2010 г. в Wayback Machine.
- Хрупкий