ПРОЛИТ

ПРОЛИТ (сокращенно от Positive Resist компьютерный Optical моделирующий , LITHography ) симулятор оптические и — химические аспекты фотолитографии . Крис Мак начал разработку PROLITH после того, как начал работать в области фотолитографии в АНБ в 1983 году.

PROLITH был впервые разработан на IBM PC . Модели, реализованные с помощью программного обеспечения, были основаны на работе, проделанной Риком Диллом из IBM и Энди Нойрейтером из Калифорнийского университета в Беркли , а также на собственных разработках Криса Мака, таких как модель Мака .

Первоначально ПРОЛИТ раздавался бесплатно, а АНБ платило зарплату Крису Маку. ^{[ 1 ]}^{[ 2 ]} В 1990 году он основал FINLE Technologies для коммерциализации PROLITH. Первая коммерческая версия программного обеспечения под названием PROLITH/2 была выпущена в июне того же года. PROLITH стал проще в использовании, и он стал включать в себя гораздо больше аспектов моделирования литографии.

FINLE Technologies была приобретена в феврале 2000 года компанией KLA-Tencor , которая сейчас продает PROLITH.

Ссылки

Внешние ссылки

[1]

[1] «30 лет моделирования литографии - отчет Криса Мака о прогрессе в моделировании литографии и PROLITH» (PDF) .

[2] «Резюме Криса Мака» .

[ 1 ]

[ 2 ]