ФОУП
 | Эта статья нуждается в дополнительных цитатах для проверки . ( март 2016 г. ) |
FOUP (аббревиатура от Front Opening Unified Pod). [1] или с передним открыванием универсальный контейнер [2] ) — это специализированный пластиковый носитель, предназначенный для надежного и безопасного хранения кремниевых пластин в контролируемой среде, а также для перемещения пластин между машинами для обработки или измерения. [3]
FOUP начали появляться вместе с первыми инструментами для обработки 300-миллиметровых пластин в середине 1990-х годов. Размер пластин и их сравнительная недостаточная жесткость означали, что блоки SMIF не были жизнеспособным форм-фактором. Стандарты FOUP были разработаны SEMI и членами SEMI, чтобы гарантировать бесперебойную совместную работу FOUP и всего оборудования, которое взаимодействует с FOUP. При переходе от модуля SMIF к конструкции FOUP съемная кассета, используемая для хранения пластин, была заменена фиксированными колоннами пластин. Дверца была перенесена из нижнего положения в переднее, чтобы автоматическое погрузочно-разгрузочное оборудование могло получить доступ к пластинам. Шаг для ФОУП диаметром 300 мм составляет 10 мм, а для ФОУП с 13 пазами шаг может достигать 20 мм. Вес полностью загруженного FOUP из 25 пластин составляет от 7 до 9 килограммов, что означает, что автоматизированные системы обработки материалов необходимы для всех производственных предприятий, кроме самых маленьких. Для этого каждый FOUP имеет соединительные пластины и интерфейсные отверстия, позволяющие размещать FOUP на загрузочном порту, а также поднимать и перемещать его с помощью AMHS ( Автоматизированная система обработки материалов ) к другим технологическим инструментам или местам хранения, таким как складское или подотчетное хранилище. FOUP могут использовать RF- метки, которые позволяют идентифицировать их RF-считывателями на инструментах или AMHS. ФОУП выпускаются в нескольких цветах, в зависимости от желания заказчика.
FOUP начали иметь возможность подавать продувочный газ с помощью инструментов технологического процесса, измерения и хранения, чтобы увеличить производительность устройства . [4] [5] FOUP можно очищать внутри накопителя FOUP или на оборудовании, имеющем доступ к FOUP. [6]
ФОСБ
[ редактировать ]
FOSB — это аббревиатура от «Front Opening Shipping Box». FOSB используются для транспортировки пластин между производственными предприятиями. [1]
Производители
[ редактировать ]- еПАК
- 3S Корея
- СКплас
- Дайничи Сёдзи
- интегрированный
- Системная технология E-SUN
- Гуденг Прецизион
- Мирайл
- Шин-Эцу Полимер
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Jump up to: а б Ёсио Ниси; Роберт Деринг (9 июля 2007 г.). Справочник по технологии производства полупроводников, второе издание . ЦРК Пресс. стр. 33–. ISBN 978-1-4200-1766-3 .
- ^ Михаил Бакланов; Пол С. Хо; Эренфрид Чех (17 февраля 2012 г.). Усовершенствованные межсоединения для технологии ULSI Джон Уайли и сыновья. стр. 100-1 291–. ISBN 978-1-119-96686-9 .
- ^ Ларс Мёнч; Джон В. Фаулер; Скотт Мейсон (12 сентября 2012 г.). Планирование и управление производством на предприятиях по производству полупроводниковых пластин: моделирование, анализ и системы . Springer Science & Business Media. стр. 144–. ISBN 978-1-4614-4471-8 .
- ^ Лин, Ти; Заргар, Омид Али; Ли, Цзы-Чье; Сабусап, Декстер Линдон; Ли, Цзянь-Цзе; Ху, Ши-Чэн; Ходадади, Джей М.; Джамшидеасли, Дорна; Леггетт, Грэм (01 ноября 2021 г.). «Анализ потока унифицированной капсулы с передним отверстием (FOUP), подверженной воздействию различной зоны покрытия вентиляторного фильтрующего блока (FFU) в мини-среде» . Международный журнал терможидкостей . / j.ijft.2021.100124 дои : 10.1016 . ISSN 2666-2027 .
- ^ Ёсио, Ниши (2017), Справочник по технологии производства полупроводников , CRC Press
- ^ «Система FOUP/LPU 450 мм в передовых процессах производства полупроводников: исследование минимизации содержания кислорода внутри FOUP при открытии двери» . IEEE : 1–4. Сентябрь 2015.
 | Эта отраслевая статья незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |