Ионно-лучевое осаждение

Не путать с осаждением, индуцированным ионным лучом .

Ионно-лучевое осаждение ( IBAD или IAD ) — это метод инженерии материалов , который сочетает в себе ионную имплантацию с одновременным распылением или другим методом физического осаждения из паровой фазы . Помимо обеспечения независимого контроля таких параметров, как энергия ионов, температура и скорость прибытия атомных частиц во время осаждения, этот метод особенно полезен для создания постепенного перехода между материалом подложки и осаждаемой пленкой, а также для осаждения пленок с меньшей встроенной деформацией. чем это возможно с помощью других методов. Эти два свойства могут привести к получению пленок с гораздо более прочной связью с подложкой. Опыт показал, что некоторые метастабильные соединения, такие как кубический нитрид бора (c-BN), могут образовываться в виде тонких пленок только при бомбардировке энергичными ионами в процессе осаждения.

См. также

• Ионно-лучевое осаждение
• Физическое осаждение из паровой фазы
• Ионное покрытие

Ссылки

• Кестер, Дэниел Дж.; Мессье, Рассел (15 июля 1992 г.). «Фазовый контроль тонких пленок кубического нитрида бора». Журнал прикладной физики . 72 (2). Издательство AIP: 504–513. Бибкод : 1992JAP....72..504K . дои : 10.1063/1.351881 . ISSN   0021-8979 .
• компании 4wave Inc. Страница ионно-лучевого осаждения со схемой типичной системы IBD.