Встроенный массив шариков на уровне пластины

Встроенная шариковая сетка на уровне пластины (eWLB) — это технология упаковки интегральных схем. Межблочные соединения корпуса нанесены на искусственную пластину из кремниевых чипов и литейного компаунда.

Принцип eWLB

eWLB представляет собой дальнейшее развитие классической технологии шариковых решеток на уровне пластины (WLB или WLP: пакет уровня пластины ). Основная движущая сила технологии eWLB заключалась в том, чтобы обеспечить разветвление и больше места для маршрутизации межсоединений.

Все этапы процесса создания пакета выполняются на пластине. Это позволяет, по сравнению с классическими технологиями упаковки (например, решетчатыми шариками ), создавать очень маленькие и плоские упаковки с превосходными электрическими и тепловыми характеристиками при минимальных затратах. Для всех технологий WLB, построенных на кремниевой пластине, характерно то, что межсоединения (обычно шарики припоя ) помещаются на кристалле (так называемая конструкция с вентилятором). Поэтому можно упаковывать только чипы с ограниченным количеством межсоединений.

Поперечное сечение eWLB

Технология eWLB позволяет создавать микросхемы с большим количеством межсоединений. Пакет создается не на кремниевой пластине, как классический пакет уровня пластины, а на искусственной пластине. Поэтому предварительно обработанная пластина нарезается кубиками, а отдельные чипы помещаются на носитель. Расстояние между чипами можно выбирать произвольно, но обычно оно больше, чем на кремниевой пластине. Зазоры и края вокруг чипов теперь заполняются литейным составом для формирования пластины. После отверждения создается искусственная пластина, содержащая каркас формы вокруг штампов для размещения дополнительных соединительных элементов. После сборки искусственной пластины (так называемой реконструкции ) электрические соединения от площадок чипа к межсоединениям выполняются по тонкопленочной технологии, как и в любом другом классическом корпусе уровня пластины.

С помощью этой технологии любое количество дополнительных межсоединений может быть реализовано на корпусе на произвольном расстоянии (разветвленная конструкция). Следовательно, эту технологию упаковки на уровне пластины можно также использовать для приложений, требующих большого пространства, где площади чипа недостаточно для размещения необходимого количества межсоединений на подходящем расстоянии. Технология eWLB была разработана компаниями Infineon , STMicroelectronics и STATS ChipPAC Ltd. Первые компоненты были выведены на рынок в середине 2009 года (мобильные телефоны).

Этапы процесса

1. Ламинирование фольги на основу (инструмент для ламинирования)
2. Размещение чипа на пластине ( инструмент для захвата и размещения )
3. Литье (пресс-форма)
4. Дебондинг носителя (инструмент для дебондинга)
5. Перевернуть реконструированную пластину
6. Оплавление шариков и испытание пластин

Преимущества

• Низкая стоимость (пакет и тест)
• Минимальный размер и высота боковой упаковки
• Отличные электрические и термические свойства
• Количество реализуемых интерконнектов в пакете не ограничено.
• Высокий потенциал интеграции для многоштамповых и штабелированных упаковок
• Предстоящий стандартный пакет

Недостатки

• Осмотр и ремонт затруднены, поскольку визуальный осмотр ограничен.
• Механическое напряжение между корпусом и платой передается сильнее, чем при использовании других технологий упаковки.

См. также

• Чип-масштабируемый пакет
• Массив шариковой сетки

Внешние ссылки

• https://web.archive.org/web/20120305094749/http://www.infineonventures.com/cms/en/corporate/press/news/releases/2007/INFCOM200711-013.html
• http://content.yudu.com/Library/A1mxrk/3DPackagingFebruaryi/resources/4.htm
• https://safe.nrao.edu/wiki/pub/Main/EuropeanMicrowaveWeek08/WFR14-1.pdf
• https://web.archive.org/web/20080517033548/http://www.ciol.com/Semicon/Tech-Watch/News-Reports/Infineon,-ASE-intro-eWLB-package-technology/131107101404/0/
• http://www.statschippac.com/services/packagingservices/waferlevelproducts/~/media/Files/Package%20Datasheets/eWLB.ashx
• http://www.amkor.com/go/packaging/all-packages/cspnl/
• http://www.wsdmag.com/Articles/ArticleID/19576/19576.html
• http://www.semineedle.com/posting/26088?snc=20641&snc=20641
• http://ieeexplore.ieee.org/Xplore/login.jsp?url=http%3A%2F%2Fieeexplore.ieee.org%2Fiel5%2F4147209%2F4141004%2F04147210.pdf%3Farnumber%3D4147210&authDecision=-203
• https://web.archive.org/web/20110703111509/http://141.30.122.65/Keynotes/6-Plieninger-ESTC_Keynote_20060907.pdf
• https://web.archive.org/web/20090728202431/http://annualreport2008.infineon.com/de/template.asp?content=innovationen
• Сын Ук Юн и др. Тепловые и электрические характеристики eWLB (встроенный BGA уровня пластины), Конференция по электронным компонентам и технологиям (ECTC), 2010 г.