Печной отжиг

Внешний образ
Печь отжига , 2018 г.

Отжиг в печи — это процесс, используемый при производстве полупроводниковых устройств , который заключается в нагреве нескольких полупроводниковых пластин с целью воздействия на их электрические свойства. Термические процедуры предназначены для различного воздействия. Пластины можно нагревать для активации легирующих примесей , замены пленки на пленку или границ пленки с подложкой, уплотнения нанесенных пленок, изменения состояния выращенных пленок, устранения повреждений, нанесенных имплантатами , перемещения легирующих добавок или перемещения легирующих примесей из одной пленки в другую или из пленки. в подложку пластины. В процессе ионной имплантации кристаллическая подложка повреждается из-за бомбардировки ионами высокой энергии. Нанесенный ущерб можно устранить, подвергнув кристалл воздействию высокой температуры. Этот процесс называется отжигом. Отжиг в печи может быть интегрирован в другие этапы печной обработки, такие как окисление, или может проводиться отдельно.

Отжиг в печи осуществляется с помощью оборудования, специально предназначенного для нагрева полупроводниковых пластин. Печи способны обрабатывать множество пластин одновременно, но каждый процесс может длиться от нескольких часов до дня. Все чаще печные отжиги вытесняются быстрым термическим отжигом (RTA) или быстрой термической обработкой (RTP). Это связано с относительно длительными термическими циклами печей, из-за которых активируемые примеси, особенно бор, диффундируют дальше, чем предполагалось. RTP или RTA исправляют это за счет термических циклов для каждой пластины, которые для отжига в печи составляют порядка минут, а не часов.

Внешние ссылки

Оборудование

• Consolidated Engineering Company . Архивировано 5 ноября 2013 г. в Wayback Machine. Печи отжига охватывают широкий спектр применений стали и алюминия, включая отпуск, нормализацию и старение, а также аналогичную автоматическую загрузку, разгрузку и естественное или принудительное охлаждение с роликовым подом и наконечником. групповые или пакетные договоренности.
• Печи отжига Koyo Thermo Systems для полупроводников, солнечной энергетики, дисплеев и электроники
• Tokyo Electron Limited TELFORMULA и TELINDY PLUS