Плазменная обработка
 | Эта статья нуждается в дополнительных цитатах для проверки . ( сентябрь 2022 г. ) |
Плазменная обработка — это технология плазменной обработки материалов, целью которой является изменение химических и физических свойств поверхности. [1]
К методам плазменной обработки относятся:
- Плазменная активация
- Плазменное озоление
- Плазменная очистка
- Плазменное электролитическое окисление
- Плазменное травление
- Плазменная функционализация
- Плазменная полимеризация
- Лечение короны
- Плазменная модификация
Сопутствующими темами являются плазмохимия , химическое осаждение из паровой фазы и физического осаждения из паровой фазы процессы , такие как осаждение распылением , плазменное ионное легирование, вакуумное плазменное напыление и реактивное ионное травление .
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Национальный исследовательский совет (1991). Плазменная обработка материалов: научные возможности и технологические проблемы . Вашингтон, округ Колумбия: Издательство национальных академий. дои : 10.17226/1875 . ISBN 978-0-309-04597-1 .