Лазерное химическое осаждение из паровой фазы
Лазерное химическое осаждение из паровой фазы ( LCVD ) — это химический процесс, используемый для производства высокочистых, высокоэффективных пленок, волокон и механического оборудования (MEMS). Это форма химического осаждения из паровой фазы , при которой лазерный луч используется для локального нагрева полупроводниковой подложки , в результате чего химическая реакция осаждения из паровой фазы протекает быстрее в этом месте. [1] Этот процесс используется в полупроводниковой промышленности для точечного нанесения покрытий. [2] индустрия MEMS для 3D-печати аппаратных средств, таких как пружины и нагревательные элементы, 2,6,7,9 и промышленность композитов для бора и керамических волокон. [3] [4] [5] [6] [7] [8] [9] Как и в случае обычного CVD, один или несколько предшественников газовой фазы термически разлагаются, и полученные химические соединения 1) осаждаются на поверхности, или 2) реагируют, образуя желаемое соединение , а затем осаждаются на поверхности, или комбинация (1 ) и (2). [10] [11] [12]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Аллен, SD (1 ноября 1981 г.). «Лазерное химическое осаждение из паровой фазы: метод выборочного осаждения» . Журнал прикладной физики . 52 (11): 6501–6505. дои : 10.1063/1.328600 . ISSN 0021-8979 .
- ^ Способ и устройство для роста трехмерных структур произвольной формы с использованием потоков прекурсоров под давлением и контроля скорости роста (патент США № 5,786,023)
- ^ Рост волокон с помощью лазера (патент США № 5,126,200)
- ^ Т. Валленбергер, Фредерик и К. Нордин, Пол и Боман, Матс. (1994). «Неорганические волокна и микроструктуры непосредственно из паровой фазы». Композиты Наука и Технология, т. 51. С. 193–212.
- ^ Т. Валленбергер, Фредерик и К. Нордин, Пол. (1994). «Волокна аморфного нитрида кремния, выращенные из паровой фазы». Журнал Materials Research, т. 9. С. 527–530.
- ^ Изготовление CVD с помощью лазера и определение характеристик углеродных и вольфрамовых микроспиралей для микродвигателей, Уппсальский университет, 2006, Диссертация, К.Л. Уильямс
- ^ Бьорклунд, К.Л. и Лу, Джун и Хеслер, П. и Боман, Матс. (2002). «Кинетика, термодинамика и микроструктура вольфрамовых стержней, выращенных методом термического лазерного CVD». Тонкие твердые пленки, т. 416. стр. 41–48.
- ^ Боман, Матс и Бауэрле, Дитер. (1995). «Лазерное химическое осаждение бора из паровой фазы». Журнал Китайского химического общества, т. 42.
- ^ С. Харрисон, Дж. Пенья, Дж. Шнайтер, К. Л. Уильямс и Р. Годучинта, (2017) «Ленты из керамического волокна с лазерной печатью: свойства и применение», Труды ICACC 2016 г. / Керамические материалы для энергетики VI, стр. 61 -72
- ^ Максвелл, Джеймс и Чавес, Крейг и В. Спрингер, Роберт и Маскали, Карлин и Гудин, Дэн. (2007). «Получение сверхтвердых волокон BxCy методом гипербарического лазерного химического осаждения из паровой фазы в микровихревом потоке», Diamond and Associates Materials, т. 16. С. 1557-1564.
- ^ Уильямс, К.Л. и Йонссон, К. и Келер, Йохан и Боман, Матс. (2007). «Электротермические характеристики углеродных микрокатушек с вольфрамовым покрытием для микродвигательных систем». Углерод v 45. стр. 484-492.
- ^ Максвелл, Джеймс и Боман, Матс и В. Спрингер, Роберт и Нараян, Джайкумар и Гнанавелу, Сайпрасанна. (2006). «Гипербарическое лазерное химическое осаждение из паровой фазы углеродных волокон из 1-алкенов, 1-алкинов и бензола». Журнал Американского химического общества, т. 128. стр. 4405-4413.
 | Эта отраслевая статья незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |