Электростатическое напыление из паровой фазы

Электростатическое осаждение из паровой фазы ( ESAVD ) — это метод (разработанный компанией IMPT) для нанесения как тонких, так и толстых слоев покрытия на различные подложки . Проще говоря, химические прекурсоры распыляются в электростатическом поле на нагретую подложку, химические вещества подвергаются контролируемой химической реакции и осаждаются на подложку в виде необходимого покрытия. Методы электростатического распыления были разработаны в 1950-х годах для распыления ионизированных частиц на заряженные или нагретые подложки. ^[1]

ESAVD (торговая марка IMPT как Layatec) используется для многих приложений на многих рынках, включая:

Термобарьерные покрытия для турбин реактивных двигателей лопаток
Различные тонкие слои при производстве плоских дисплеев и фотоэлектрических панелей, тонкопленочные солнечные элементы на основе CIGS и CZTS.
Электронные компоненты
Биомедицинские покрытия
Стеклянные покрытия (например, самоочищающиеся)
Антикоррозийные покрытия

Этот процесс имеет преимущества перед другими методами нанесения слоев (плазменным, электронно-лучевым) в том, что он не требует использования вакуума , электронного луча или плазмы, что снижает производственные затраты. Он также использует меньше энергии и сырья, что делает его более экологически чистым. Кроме того, использование электростатического поля означает, что этот процесс позволяет легко покрывать сложные трехмерные детали.

Ссылки

^ Рупп, Джоэл; Гаффи, Эри; Якобсен, Гэри. «Процессы электростатического распыления» . TW Ransburg Electrostatic Systems, Руководство по органической отделке металла, 2012 г. Эльзевир. п. 126-127. 2012 год

Дальнейшее чтение

«Кван-Леонг Чой - Раскладывая все на толстые и тонкие». Мир материалов . Июнь 2003 г. Электростатическое осаждение из паровой фазы (ESAVD), о котором впервые сообщалось в журнале Materials World в марте 1998 г., представляет собой метод изготовления пленок и нанокристаллических порошков. Изобретатель описывает продолжающийся прогресс.
Чой, К.Л., «Принципы процесса и применение новых и экономически эффективных методов на основе ESAVD», в книге «Инновационная обработка пленок и нанокристаллических порошков» , К.Л. Чой. ред. (Всемирное научное издательство). 2002. стр. 15–69. ISBN 1-86094-316-0 .
Чой, К.Л., «Обзор достижений в методах обработки: пленки и нанокристаллические порошки», в книге «Инновационная обработка пленок и нанокристаллических порошков» , под ред. Чой, К.Л. (Imperial College Press), 2002, 1–14. ISBN 1-86094-316-0
Чой, К.Л., Прогресс в науке о материалах , 48, 57 (2003).
Чой, К.Л., «Обработка наноструктурированных материалов паром», в Справочнике по наноструктурным материалам и нанотехнологиям , Налва, изд. HS. (Академическая пресса) 2000, 533. ISBN 0-12-513760-5 . Чой, К.Л., Файст, Дж.П., Хейес, А.Л. и Су, Б., Дж. Матер. Рез. 14 (1999) 3111.
Чой, К.Л., «Инновационное и экономически эффективное нанесение покрытий методом ESAVD», Surface Engineering , 16 (2000) 465.
Р. Чандрасекхар и К.Л. Чой, «Электростатическое распыление оксида олова, легированного фтором, из паровой фазы», Journal of Crystal Growth , 231 (1–2) (2001) 215.

Эта статья о металлообработке незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее .

Эта химических процессах статья о незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее .

[1] Рупп, Джоэл; Гаффи, Эри; Якобсен, Гэри. «Процессы электростатического распыления» . TW Ransburg Electrostatic Systems, Руководство по органической отделке металла, 2012 г. Эльзевир. п. 126-127. 2012 год

[1]