Каскадный дуговой источник плазмы

Каскадный дуговой источник плазмы

представляет Каскадная дуга разряд , стабилизированный стенкой собой термический электрический дуговой высокой плотности и низкой температуры , который производит плазму .

Общий

Каскадный дуговой источник, разработанный в Технологическом университете Эйндховена , показано на рисунке ниже. По сравнению с источниками плазмы в других линейных генераторах плазмы этот источник может производить аргоновую и водородную плазму высокой плотности (соответственно 10 ²¹  – 10 ²⁴ и 10 ¹⁹  – 10 ²² м ⁻³ ) при относительно низкой электронной температуре (~1 эВ). Из-за высокой частоты столкновений частиц в источнике плазма находится в тепловом равновесии и достаточно однородна.

Каскадная дуга состоит из входа газа, трех вольфрамовых катодов, каскадных пластин, сопла и анода. Через газовозаборник рабочий газ – аргон или водород – может поступать в катодную камеру. Обычно источник работает на глубине 0,5–3,0 см ( 2,2 × 10 ²⁰  –  1.3 × 10 ²⁰ частиц в секунду) и разрядный ток 100–300 А. Каскадные пластины между катодом и анодом электрически изолированы друг от друга пластинами из нитрида бора толщиной 1 мм . Напряжение этих пластин представляет собой плавающий потенциал. И сопло, и анод заземлены.

См. также

• источник плазмы
• Плазменное окно

Внешние ссылки

• Блок тлеющего разряда
• ВЫСОКАЯ ЯРКОСТЬ H-ПОВЕРХНОСТНЫЕ ИСТОЧНИКИ ПЛАЗМЫ
• H-производство в разрядах чистого водорода источников поверхностной плазмы.