Этилендиамин пирокатехол
Этилендиамин-пирокатехин ( EDP ), также известный как этилендиамин-пирокатехин-вода ( EPW ), представляет собой анизотропный раствор для травления кремния . [1] Типичный состав состоит из этилендиамина , пирокатехина , пиразина и воды. Он канцерогенен и очень едкий. [1] Он в основном используется в исследовательских лабораториях и не используется в основных процессах производства полупроводников. [1]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Перейти обратно: а б с Микрообработка: мокрое травление , Вашингтонский университет, Инженерный колледж.