Датчик сферических поверхностных акустических волн (ПАВ)
![]() | В этой статье есть несколько проблем. Пожалуйста, помогите улучшить его или обсудите эти проблемы на странице обсуждения . ( Узнайте, как и когда удалять эти шаблонные сообщения )
|
Датчики сферических поверхностных акустических волн используют тип поверхностной акустической волны (ПАВ), которая распространяется вдоль поверхности среды, проявляя эластичность с экспоненциально затухающей амплитудой по глубине. Технология MEMS-IDT позволяет использовать волны ПАВ для обнаружения различных газов. чувствительность до 10 ppm водорода . При использовании сферического устройства Ball SAW достигается [1]
Принципы
[ редактировать ]Обычные планарные датчики на ПАВ основаны на том принципе, что такие параметры , как амплитуда, скорость и фаза поверхностной акустической волны, изменяются при адсорбции молекул газа. Ограничением плоских датчиков на основе ПАВ является то, что изменение вышеупомянутых параметров очень мало из-за ограниченного пути, предлагаемого плоскостным датчиком поверхностной акустической волне. В случае сферических датчиков поверхностная акустическая волна совершает несколько обходов вдоль экватора шара, как показано на рис., что обеспечивает более длинные пути для поверхностной акустической волны, следовательно, даже меньшее изменение параметров усиливается при нескольких оборотах, что увеличивает чувствительность датчика. значительно.
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Материалы 20-го Международного конгресса по акустике, ICA 2010, 23–27 августа 2010 г., Сидней, Австралия.