Jump to content

Датчик сферических поверхностных акустических волн (ПАВ)

Датчики сферических поверхностных акустических волн используют тип поверхностной акустической волны (ПАВ), которая распространяется вдоль поверхности среды, проявляя эластичность с экспоненциально затухающей амплитудой по глубине. Технология MEMS-IDT позволяет использовать волны ПАВ для обнаружения различных газов. чувствительность до 10 ppm водорода . При использовании сферического устройства Ball SAW достигается [1]

Принципы

[ редактировать ]

Обычные планарные датчики на ПАВ основаны на том принципе, что такие параметры , как амплитуда, скорость и фаза поверхностной акустической волны, изменяются при адсорбции молекул газа. Ограничением плоских датчиков на основе ПАВ является то, что изменение вышеупомянутых параметров очень мало из-за ограниченного пути, предлагаемого плоскостным датчиком поверхностной акустической волне. В случае сферических датчиков поверхностная акустическая волна совершает несколько обходов вдоль экватора шара, как показано на рис., что обеспечивает более длинные пути для поверхностной акустической волны, следовательно, даже меньшее изменение параметров усиливается при нескольких оборотах, что увеличивает чувствительность датчика. значительно.

  1. ^ Материалы 20-го Международного конгресса по акустике, ICA 2010, 23–27 августа 2010 г., Сидней, Австралия.


Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: 13ab2f0755c59777098080485186e88f__1678473600
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/13/8f/13ab2f0755c59777098080485186e88f.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Spherical surface acoustic wave (SAW) sensor - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)