Поверхностная акустическая волна

Поверхностная акустическая волна ( ПАВ ) — это акустическая волна, распространяющаяся вдоль поверхности материала, проявляющего эластичность , с амплитудой , которая обычно экспоненциально затухает с глубиной материала, так что они ограничиваются глубиной примерно одной длины волны. [2] [3]
Открытие
[ редактировать ]Впервые ПАВ были объяснены в 1885 году лордом Рэлеем , который описал поверхностную акустическую моду распространения и предсказал ее свойства в своей классической статье. [4] названные в честь своего первооткрывателя, Волны Рэлея, имеют продольную и вертикальную сдвиговую составляющую, которая может взаимодействовать с любой средой, например с дополнительными слоями, контактирующими с поверхностью. Эта связь сильно влияет на амплитуду и скорость волны, позволяя датчикам на ПАВ напрямую измерять массу и механические свойства. Термин «волны Рэлея» часто используется как синоним «ПАВ», хотя, строго говоря, существует несколько типов поверхностных акустических волн, таких как волны Лява , которые поляризованы в плоскости поверхности, а не продольно и вертикально.
ПАВ, такие как волны Лява и Рэлея, имеют тенденцию распространяться гораздо дольше, чем объемные волны, поскольку им приходится перемещаться только в двух измерениях, а не в трех. Кроме того, в целом они имеют более низкую скорость, чем их объемные аналоги.
ПАВ-устройства
[ редактировать ]Устройства на поверхностных акустических волнах обеспечивают широкий спектр применений с использованием электронных систем, включая линии задержки , фильтры, корреляторы и преобразователи постоянного тока в постоянный . Возможности этих устройств на ПАВ могут обеспечить потенциальное применение в радиолокационных системах, системах связи.
Применение в электронных компонентах
[ редактировать ]Этот тип волны обычно используется в устройствах, называемых устройствами на ПАВ в электронных схемах . Устройства на ПАВ используются в качестве фильтров , генераторов и преобразователей , устройств, основанных на преобразовании акустических волн. Преобразование электрической энергии в механическую (в виде ПАВ) осуществляется с помощью пьезоэлектрических материалов.

Электронные устройства, использующие ПАВ, обычно используют один или несколько встречно-штыревых преобразователей (IDT) для преобразования акустических волн в электрические сигналы и наоборот, используя пьезоэлектрический эффект определенных материалов , таких как кварц , ниобат лития , танталат лития , силикат лантана-галлия и т. д. [5] Эти устройства изготавливаются путем очистки/обработки подложки, такой как полировка, металлизация, фотолитография и изготовление пассивирующего/защитного (диэлектрического) слоя. Это типичные технологические этапы, используемые при производстве полупроводников, таких как кремниевые интегральные схемы .
Все части устройства (подложка, ее поверхность, тип материала металлизации, толщина металлизации, ее края, образованные фотолитографией, слои - например, пассивационное покрытие металлизации) влияют на работу устройств SAW, поскольку распространение волн Рэлея сильно зависит от на поверхности материала подложки, ее качестве и всех слоях, контактирующих с подложкой. Например, в фильтрах SAW частота дискретизации зависит от ширины пальцев IDT, мощность обработки зависит от толщины и материалов пальцев IDT, а температурная стабильность зависит не только от температурного поведения подложки, но и от температурного поведения подложки. от металлов, выбранных для электродов ВШП, и возможных диэлектрических слоев, покрывающих подложку и электроды.
Фильтры на ПАВ в настоящее время используются в мобильных телефонах и обеспечивают технические преимущества по производительности, стоимости и размеру по сравнению с другими технологиями фильтров, такими как кварцевые кристаллы (на основе объемных волн), LC-фильтры и волноводные фильтры, особенно на частотах ниже 1,5–2,5 ГГц в зависимости от мощность RF, которую необходимо фильтровать. Дополняющая технологию ПАВ для частот выше 1,5–2,5 ГГц базируется на тонкопленочных объемных акустических резонаторах (TFBAR или FBAR).
За последние 20 лет было проведено много исследований в области датчиков поверхностных акустических волн . [6] Приложения датчиков включают все области измерения (например, химические, оптические, термические, давления , ускорения , крутящего момента и биологические). Датчики SAW на сегодняшний день имеют относительно скромный коммерческий успех, но они обычно коммерчески доступны для некоторых приложений, таких как сенсорные дисплеи. Они успешно применяются для измерения крутящего момента в силовых агрегатах автоспорта. [7] и высокопроизводительные аэрокосмические приложения [8] а также измерение температуры в суровых условиях, таких как передача электроэнергии высокого напряжения и комбинированное измерение крутящего момента и температуры на роторе электродвигателей. [9]
Применение устройств SAW на радио и телевидении
[ редактировать ]Резонаторы на ПАВ используются во многих тех же приложениях, что и кристаллы кварца , поскольку они могут работать на более высокой частоте. [10] Их часто используют в радиопередатчиках, где не требуется настраиваемость. Они часто используются в таких приложениях, как пульты дистанционного управления открыванием гаражных ворот , радиочастотные линии ближнего действия для компьютерной периферии и других устройствах, где распределение каналов не требуется . Там, где радиоканал может использовать несколько каналов, кварцевые чаще используются для управления фазовой автоподстройкой частоты генераторы . Поскольку резонансная частота устройства на ПАВ определяется механическими свойствами кристалла, она не дрейфует так сильно, как простой LC-генератор, где такие условия, как производительность конденсатора и напряжение батареи, существенно изменяются в зависимости от температуры и возраста.
Фильтры на ПАВ также часто используются в радиоприемниках, поскольку они могут иметь точно определенную и узкую полосу пропускания. Это полезно в приложениях, где одна антенна должна использоваться совместно передатчиком и приемником, работающими на близко расположенных частотах. Фильтры ПАВ также часто используются в телевизионных приемниках для выделения поднесущих из сигнала; до отключения аналогового сигнала извлечение цифровых аудиоподнесущих из полосы промежуточных частот телевизионного приемника или видеомагнитофона было одним из основных рынков сбыта ПАВ-фильтров.
Первопроходец Джеффри Коллинз включил устройства на поверхностных акустических волнах в приемник Skynet , который он разработал в 1970-х годах. Он синхронизировал сигналы быстрее, чем существующие технологии. [11]
Они также часто используются в цифровых приемниках и хорошо подходят для сверхмощных приложений. Это связано с тем, что сигнал промежуточной частоты всегда имеет фиксированную частоту после того, как гетеродин был микширован с принятым сигналом, и поэтому фильтр с фиксированной частотой и высокой добротностью обеспечивает превосходное удаление нежелательных сигналов или сигналов помех.
В этих приложениях фильтры на ПАВ почти всегда используются с гетеродином, синтезированным с фазовой автоподстройкой частоты , или генератором, управляемым варикапом .
ПАВ в геофизике
[ редактировать ]В сейсмологии поверхностные акустические волны могут стать наиболее разрушительным типом сейсмических волн, создаваемых землетрясениями . [12] которые распространяются в более сложных средах, таких как дно океана, камни и т. д., поэтому люди должны их замечать и контролировать для защиты окружающей среды.
ПАВ в квантовой акустике
[ редактировать ]ПАВ играют ключевую роль в области квантовой акустики (QA), где, в отличие от квантовой оптики (QO), изучающей взаимодействие вещества и света, происходит взаимодействие между квантовыми системами ( фононами , (квази)частицами и искусственными кубитами). и акустические волны анализируются. Скорость распространения соответствующих волн QA на пять порядков медленнее, чем QO. В результате QA предлагает другую точку зрения на квантовый режим с точки зрения длин волн, которые QO не охватил. [13] Одним из примеров этих дополнений является квантово-оптическое исследование кубитов и квантовых точек, изготовленных таким образом, чтобы имитировать существенные аспекты природных атомов, например, структуры энергетических уровней и связь с электромагнитным полем . [14] [15] [16] [17] [18] Эти искусственные атомы организованы в цепь, получившую название «гигантские атомы», поскольку ее размер достигает 10 −4 –10 −3 м. [19] В квантово-оптических экспериментах обычно для взаимодействия материи и света использовались микроволновые поля , но из-за разницы в длинах волн между гигантскими атомами и микроволновыми полями, длина волны последнего из которых находится в диапазоне от 10 −2 –10 −1 м, вместо этого использовались ПАВ с их более подходящей длиной волны (10 −6 м). [20]
В областях магноники и спинтроники резонансная связь между спиновыми волнами и поверхностными акустическими волнами с одинаковым волновым вектором и частотой позволяет передавать энергию из одной формы в другую в любом направлении. [13] Это может быть полезно, например, при создании датчиков магнитного поля , чувствительных как к интенсивности, так и к направлению внешних магнитных полей. Эти датчики, построенные с использованием структуры магнитострикционных и пьезоэлектрических слоев, работают без батарей и проводов, а также имеют широкий диапазон рабочих условий, таких как высокие температуры или вращающиеся системы. [21]
Одноэлектронное управление
[ редактировать ]
Даже в самых маленьких масштабах современной полупроводниковой технологии каждая операция выполняется огромными потоками электронов. [22] Уменьшение количества электронов, участвующих в этих процессах, с конечной целью достижения контроля над одним электроном, является серьезной проблемой. Это связано с тем, что электроны сильно взаимодействуют друг с другом и с окружающей средой, что затрудняет отделение только одного от остальных. [23] Использование ПАВ может помочь в достижении этой цели. Когда ПАВ генерируются на пьезоэлектрической поверхности, волна деформации генерирует электромагнитный потенциал. Потенциальные минимумы могут затем захватывать отдельные электроны, позволяя им индивидуально транспортироваться. Хотя этот метод изначально задумывался как способ точно определить стандартную единицу тока, [24] оно оказалось более полезным в области квантовой информации . [25] Обычно кубиты неподвижны, что затрудняет передачу информации между ними. Отдельные электроны, переносимые ПАВ, можно использовать в качестве так называемых летающих кубитов, способных переносить информацию из одного места в другое. Для реализации этого необходим единственный источник электронов, а также приемник, между которым можно транспортировать электрон. Квантовые точки (КТ) обычно используются для такого стационарного удержания электронов. Этот потенциальный минимум иногда называют ПАВ-КТ. Процесс, как показано на GIF-изображении справа, обычно выглядит следующим образом. Первые ПАВ генерируются с помощью встречно-штыревого преобразователя с определенными размерами между электродами для получения подходящих длин волн. [22] Затем из стационарной КТ электрон квантово туннелирует в потенциальный минимум, или ПАВ-КТ. ПАВ передают некоторую кинетическую энергию электрону, толкая его вперед. Затем он переносится через одномерный канал на поверхность пьезоэлектрического полупроводникового материала, такого как GaAs . [23] [24] Наконец, электрон туннелирует из КТ ПАВ в КТ-приемник, после чего перенос завершается. Этот процесс также можно повторить в обоих направлениях. [26]
SAW и 2D материалы
[ редактировать ]Поскольку акустические колебания могут взаимодействовать с движущимися зарядами в пьезоэлектрическом полупроводнике через индуцированное деформацией пьезоэлектрическое поле в объемных материалах, эта акустоэлектрическая (АЭ) связь также важна в двумерных материалах, таких как графен . двумерного электронного газа В этих двумерных материалах энергия запрещенной зоны обычно намного превышает энергию фононов ПАВ, путешествующих через материал. Поэтому фононы ПАВ обычно поглощаются посредством внутризонных электронных переходов . В графене эти переходы являются единственным способом, поскольку линейный закон дисперсии его электронов предотвращает сохранение импульса / энергии , когда он поглощает ПАВ при межзонном переходе. [27]
Часто взаимодействие между движущимися зарядами и ПАВ приводит к уменьшению интенсивности ПАВ при ее движении через двумерный электронный газ, а также к перенормировке скорости ПАВ. Заряды перенимают кинетическую энергию ПАВ и снова теряют эту энергию за счет рассеяния носителей .
Помимо ослабления интенсивности ПАВ, существуют определенные ситуации, в которых волна также может усиливаться. При приложении напряжения к материалу носители заряда могут получить более высокую скорость дрейфа, чем ПАВ. Затем они передают часть своей кинетической энергии ПАВ, заставляя ее увеличивать свою интенсивность и скорость. Обратное тоже работает. Если ПАВ движется быстрее носителей, она может передать им кинетическую энергию, потеряв тем самым некоторую скорость и интенсивность. [28]
ПАВ в микрофлюидике
[ редактировать ]В последние годы внимание было обращено на использование ПАВ для управления микрофлюидной активацией и множеством других процессов. Благодаря несоответствию скоростей звука в подложке ПАВ и жидкости ПАВ могут эффективно переноситься в жидкость, создавая значительные силы инерции и скорости жидкости. Этот механизм можно использовать для управления такими действиями жидкости, как перекачивание , смешивание и струя . [8] Для управления этими процессами происходит изменение режима волны на границе раздела жидкость-подложка. В подложке волна ПАВ представляет собой поперечную волну , а при входе в каплю волна становится продольной . [9] Именно эта продольная волна создает поток жидкости внутри микрожидкостной капли, обеспечивая смешивание. Этот метод можно использовать как альтернативу микроканалам и микроклапанам для манипуляций с субстратами, обеспечивая открытую систему. [29]
Этот механизм также использовался в капельной микрофлюидике для манипулирования каплями. Примечательно, что при использовании ПАВ в качестве исполнительного механизма капли смещались в сторону двух [30] [31] или больше [32] розетки для сортировки. Кроме того, ПАВ использовались для модуляции размера капель. [33] [34] расщепление, [35] [30] [36] ловушка, [37] пинцет, [38] и нанофлюидное пипетирование. [36] Воздействие капель на плоские и наклонные поверхности управлялось и контролировалось с помощью SAW. [39] [40]
ПДМС ( полидиметилсилоксан ) — материал, который можно использовать для создания микроканалов и микрофлюидных чипов. Он имеет множество применений, в том числе в экспериментах, в которых необходимо тестировать или обрабатывать живые клетки. Если необходимо поддерживать жизнь живых организмов, важно отслеживать и контролировать окружающую их среду, например, уровень тепла и pH; однако, если эти элементы не регулируются, клетки могут погибнуть или это может привести к нежелательным реакциям. [41] Было обнаружено, что ПДМС поглощает акустическую энергию, вызывая быстрый нагрев ПДМС (более 2000 Кельвинов в секунду). [42] Использование SAW в качестве способа нагрева этих устройств PDMS вместе с жидкостями внутри микроканалов теперь является методом, который можно осуществлять контролируемым образом с возможностью манипулирования температурой с точностью до 0,1 °C. [42] [43]
Разработка устройств с гибкими поверхностными акустическими волнами (ПАВ) стала важным фактором развития носимых технологий и микрофлюидных систем. Эти устройства обычно изготавливаются на полимерных подложках, таких как полиэтиленнафталат (ПЭН) и полиимид , и используют напыление таких материалов, как AlN и ZnO . [44] Такое сочетание гибкости и современных материалов расширило потенциал их применения в различных областях.
SAW в измерении расхода
[ редактировать ]Поверхностные акустические волны можно использовать для измерения расхода. ПАВ опирается на распространение волнового фронта, которое похоже на сейсмическую активность. Волны генерируются в центре возбуждения и распространяются по поверхности твердого материала. Электрический импульс заставляет их генерировать ПАВ, которые распространяются подобно волнам землетрясения . Встречно-пальцевый преобразователь действует как отправитель и как получатель . Когда один из них находится в режиме отправителя, два самых удаленных действуют как получатели. ПАВ движутся вдоль поверхности измерительной трубки, но часть их переходит в жидкость. Угол развязки зависит от жидкости и соответственно от скорости распространения волны, специфичной для жидкости. На другой стороне измерительной трубки части волны войдут в трубку и продолжат свой путь вдоль ее поверхности к следующему встречно-штыревому преобразователю. Другая часть снова подсоединяется и возвращается к другой стороне измерительной трубки, где эффект повторяется, и преобразователь на этой стороне обнаруживает волну. Это означает, что возбуждение любого одного преобразователя здесь приведет к последовательности входных сигналов на двух других преобразователях на расстоянии. Два преобразователя посылают сигналы в направлении потока, два — в другом направлении. [45]
См. также
[ редактировать ]- Линейная эластичность
- Любовная волна
- Фонон
- Пикосекундный ультразвук
- Волна Рэлея
- Поверхностный плазмон поляритон
- УЗИ
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Лаборатория прикладной физики твердого тела - Университет Хоккайдо . Кино-ap.eng.hokudai.ac.jp (28 ноября 2013 г.). Проверено 9 декабря 2013 г.
- ^ APITech. «ПАВ Технологии» . info.apitech.com . Проверено 12 мая 2021 г.
- ^ Крук, Алекс (17 октября 2013 г.). «Поверхностные акустические волны (ПАВ)» . www.sp.phy.cam.ac.uk. Проверено 24 января 2022 г.
- ^ Лорд Рэлей (1885 г.). «О волнах, распространяющихся вдоль плоской поверхности упругого твердого тела» . Учеб. Лондонская математика. Соц . с1-17(1):4–11. дои : 10.1112/plms/s1-17.1.4 .
- ^ Вейгель, Р.; Морган, ДП; Оуэнс, Дж. М.; Баллато, А.; Лакин, К.М.; Хашимото, К.; Руппель, CCW (2002). «СВЧ-акустические материалы, устройства и приложения». Транзакции IEEE по теории и технике микроволнового излучения . 50 (3): 738–749. Бибкод : 2002ITMTT..50..738W . дои : 10.1109/22.989958 .
- ^ Бенеш, Э.; Грёшль, М.; Зайферт, Ф. (1997). «Сравнение принципов датчиков BAW и SAW». Материалы Международного симпозиума по управлению частотой . Том. 45. стр. 5–20. дои : 10.1109/FREQ.1997.638514 . ISBN 978-0-7803-3728-2 . S2CID 110101321 .
{{cite book}}
:|journal=
игнорируется ( помогите ) - ^ «Прикладная система измерения крутящего момента Mclaren» .
- ^ «Технология Transense. Улучшенное измерение крутящего момента для вертолетов GE» .
- ^ «Инженерия электромобилей — измерение крутящего момента» . 23 ноября 2022 г.
- ^ Бирюков С.В.; Гуляев Ю.В.; Крылов В.В.; Плесский, вице-президент (1995). Поверхностные акустические волны в неоднородных средах . Спрингер. ISBN 9783540584605 .
- ^ "Газета некролога Джеффри Коллинза" . Октябрь 2015.
- ^ Аки, Кейти; Ричардс, Пол Г. (1980). Количественная сейсмология . Фриман.
- ^ Перейти обратно: а б Пер Дельсинг и др. 2019 Дж. Физ. Д: Прил. Физ. 52 353001
- ^ Хэнсон, Р.; Кувенховен, LP; Петта, младший; Таруча, С.; Вандерсипен, ЛМК (01 октября 2007 г.). «Спины в малоэлектронных квантовых точках» . Обзоры современной физики . 79 (4): 1217–1265. arXiv : cond-mat/0610433 . Бибкод : 2007RvMP...79.1217H . дои : 10.1103/revmodphys.79.1217 . ISSN 0034-6861 . S2CID 9107975 .
- ^ Ты, JQ; Нори, Франко (2011). «Атомная физика и квантовая оптика с использованием сверхпроводящих схем» . Природа . 474 (7353): 589–597. arXiv : 1202.1923 . Бибкод : 2011Natur.474..589Y . дои : 10.1038/nature10122 . ISSN 0028-0836 . ПМИД 21720362 . S2CID 4319078 .
- ^ Сян, Цзэ-Лян; Ашхаб, Сахель; Ты, JQ; Нори, Франко (9 апреля 2013 г.). «Гибридные квантовые схемы: сверхпроводящие схемы, взаимодействующие с другими квантовыми системами» . Обзоры современной физики . 85 (2): 623–653. arXiv : 1204.2137 . Бибкод : 2013RvMP...85..623X . дои : 10.1103/revmodphys.85.623 . ISSN 0034-6861 . S2CID 12868839 .
- ^ Гу, Сю; Кокум, Антон Фриск; Миранович, Адам; Лю, Юй-си; Нори, Франко (2017). «СВЧ-фотоника со сверхпроводящими квантовыми схемами» . Отчеты по физике . 718–719: 1–102. arXiv : 1707.02046 . Бибкод : 2017ФР...718....1Г . дои : 10.1016/j.physrep.2017.10.002 . ISSN 0370-1573 . S2CID 119396458 .
- ^ Кокум, Антон Фриск; Нори, Франко (2019), «Квантовые биты с джозефсоновскими переходами» , «Основы и границы эффекта Джозефсона» , серия Springer по материаловедению, том. 286, Чам: Springer International Publishing, стр. 703–741, arXiv : 1908.09558 , doi : 10.1007/978-3-030-20726-7_17 , ISBN 978-3-030-20724-3 , S2CID 202152287 , получено 18 января 2022 г.
- ^ Фриск Кокум, Антон; Дельсинг, Пер; Йоханссон, Йоран (30 июля 2014 г.). «Расчет частотно-зависимых скоростей релаксации и лэмбовских сдвигов для гигантского искусственного атома» . Физический обзор А. 90 (1): 013837. arXiv : 1406.0350 . Бибкод : 2014PhRvA..90a3837F . дои : 10.1103/physreva.90.013837 . ISSN 1050-2947 . S2CID 26805221 .
- ^ Густафссон, Мартин В.; Ареф, Томас; Кук, Антон Фриск; Экстрём, Мария К.; Йоханссон, Йоран; Дельсинг, Пер (10 октября 2014 г.). «Распространяющиеся фононы, связанные с искусственным атомом» . Наука . 346 (6206): 207–211. arXiv : 1404.0401 . Бибкод : 2014Sci...346..207G . дои : 10.1126/science.1257219 . ISSN 0036-8075 . ПМИД 25213379 . S2CID 24207629 .
- ^ Элхосни, Мерием; Эльмазрия, Омар; Пети-Ватло, Себастьен; Буво, Лоран; Жгун, Сергей; Талби, Абделькрим; Хен, Мишель; Айсса, Келтума Айт; Хаге-Али, Сами; Лакур, Дэниел; Сарри, Фредерик (апрель 2016 г.). «Датчики магнитного поля на ПАВ на основе магнитострикционно-пьезоэлектрических слоистых структур: МКЭ-моделирование и экспериментальная проверка» . Датчики и исполнительные механизмы A: Физические . 240 : 41–49. дои : 10.1016/j.sna.2015.10.031 . hdl : 20.500.12210/45497 . ISSN 0924-4247 .
- ^ Перейти обратно: а б Бауэрле, К.; Кристиан Глаттли, доктор медицинских наук; Менье, Т.; Портье, Ф.; Рош, П.; Рулло, П.; Такада, С.; Вайнталь, X. (2018). «Когерентный контроль одиночных электронов: обзор текущего прогресса» . Отчеты о прогрессе в физике . 81 (5): 056503. arXiv : 1801.07497 . Бибкод : 2018RPPH...81e6503B . дои : 10.1088/1361-6633/aaa98a . ПМИД 29355831 . S2CID 4634928 .
- ^ Перейти обратно: а б Эрмелин, Сильвен; Такада, Синтаро; Ямамото, Мичихиса; Таруча, Сейго; Вик, Андреас Д.; Саминадаяр, Лоран; Бауэрле, Кристофер; Менье, Тристан (сентябрь 2011 г.). «Электроны, путешествующие по звуковой волне, как платформа для квантовой оптики с летающими электронами» . Природа . 477 (7365): 435–438. arXiv : 1107.4759 . Бибкод : 2011Natur.477..435H . дои : 10.1038/nature10416 . ISSN 0028-0836 . ПМИД 21938064 . S2CID 4431106 .
- ^ Перейти обратно: а б Форд, Кристофер Дж. Б. (2017). «Перенос и манипулирование одиночными электронами в минимумах поверхностной акустической волны» . Физический статус Solidi B. 254 (3): 1600658. arXiv : 1702.06628 . Бибкод : 2017PSSBR.25400658F . дои : 10.1002/pssb.201600658 . ISSN 1521-3951 . S2CID 55779904 .
- ^ Барнс, CHW; Шилтон, Дж. М.; Робинсон, AM (15 сентября 2000 г.). «Квантовые вычисления с использованием электронов, захваченных поверхностными акустическими волнами» . Физический обзор B . 62 (12): 8410–8419. arXiv : cond-mat/0006037 . Бибкод : 2000PhRvB..62.8410B . дои : 10.1103/PhysRevB.62.8410 . S2CID 26938012 .
- ^ Администратор (16 января 2014 г.). «Игра в пинг-понг с одиночными электронами» . www.sp.phy.cam.ac.uk. Проверено 20 января 2022 г.
- ^ Чжан, С.Х.; Сюй, В. (01 июня 2011 г.). «Поглощение поверхностных акустических волн графеном» . Достижения АИП . 1 (2): 022146. Бибкод : 2011AIPA....1b2146Z . дои : 10.1063/1.3608045 .
- ^ Гуляев, Пустовойт (20 июня 1964 г.). «Усиление поверхностных волн в полупроводниках» (PDF) . Советский физический ЖЭТФ . 20 (6): 2.
- ^ Ян, Чун-Гуан; Сюй, Чжан-Жунь; Ван, Цзянь-Хуа (февраль 2010 г.). «Манипулирование каплями в микрофлюидных системах». Тенденции в аналитической химии . 29 (2): 141–157. дои : 10.1016/j.trac.2009.11.002 .
- ^ Перейти обратно: а б Сесен, Мухсинджан; Алан, Тунчай; Нилд, Адриан (2015). «Микрофлюидное управление пробкой с использованием поверхностных акустических волн». Лаборатория на чипе . 15 (14): 3030–3038. дои : 10.1039/c5lc00468c . ISSN 1473-0197 . ПМИД 26079216 .
- ^ Франке, Томас; Абате, Адам Р.; Вайц, Дэвид А.; Уиксфорт, Ахим (2009). «Направленный поток капель поверхностной акустической волной (ПАВ) в микрофлюидике для устройств PDMS» . Лаборатория на чипе . 9 (18): 2625–7. дои : 10.1039/b906819h . ISSN 1473-0197 . ПМИД 19704975 .
- ^ Дин, Сяоюнь; Лин, Сз-Чин Стивен; Лэпсли, Майкл Ян; Ли, Сиксинг; Го, Сян; Чан, Чунг Ю; Чан, И-Као; Ван, Линь; Маккой, Дж. Филип (2012). «Многоканальная сортировка ячеек на основе стоячей поверхностной акустической волны (SSAW)» . Лаборатория на чипе . 12 (21): 4228–31. дои : 10.1039/c2lc40751e . ISSN 1473-0197 . ПМЦ 3956451 . ПМИД 22992833 .
- ^ Шмид, Лотар; Франке, Томас (2013). «Размер капли, контролируемый ПАВ, для фокусировки потока». Лаборатория на чипе . 13 (9): 1691–4. дои : 10.1039/c3lc41233d . ISSN 1473-0197 . ПМИД 23515518 .
- ^ Шмид, Лотар; Франке, Томас (31 марта 2014 г.). «Акустическая модуляция размера капель в Т-образном переходе». Письма по прикладной физике . 104 (13): 133501. Бибкод : 2014АпФЛ.104м3501С . дои : 10.1063/1.4869536 . ISSN 0003-6951 .
- ^ Юнг, Джин Хо; Дестгер, Гулам; Ха, Бёнхан; Пак, Джинсу; Сон, Хён Джин (2016). «Расщепление капель по требованию с использованием поверхностных акустических волн». Лаборатория на чипе . 16 (17): 3235–3243. дои : 10.1039/C6LC00648E . ISSN 1473-0197 . ПМИД 27435869 . S2CID 42168235 .
- ^ Перейти обратно: а б Сесен, Мухсинджан; Девендран, Чицабехсан; Маликидес, Шон; Алан, Тунчай; Нилд, Адриан (2017). «Поверхностная акустическая волна позволяет использовать пипетку на чипе». Лаборатория на чипе . 17 (3): 438–447. дои : 10.1039/c6lc01318j . hdl : 10044/1/74636 . ISSN 1473-0197 . ПМИД 27995242 .
- ^ Юнг, Джин Хо; Дестгер, Гулам; Пак, Джинсу; Ахмед, Хусейн; Пак, Квансок; Сон, Хён Джин (21 февраля 2017 г.). «Захват и высвобождение капель по требованию с использованием поверхностных акустических волн с помощью микролунок». Аналитическая химия . 89 (4): 2211–2215. дои : 10.1021/acs.analchem.6b04542 . ISSN 0003-2700 . ПМИД 28192923 .
- ^ Сесен, Мухсинджан; Алан, Тунчай; Нилд, Адриан (2014). «Микрофлюидное слияние капель по требованию с использованием поверхностных акустических волн». Лабораторный чип . 14 (17): 3325–3333. дои : 10.1039/c4lc00456f . ISSN 1473-0197 . ПМИД 24972001 . S2CID 13004633 .
- ^ Х. Бирун, Мехди; Рахмати, Мохаммед; Тао, Ран; Торунь, Хамди; Джанги, Мехди; Фу, Юнцин (07 августа 2020 г.). «Динамическое поведение воздействия капель на наклонные поверхности акустическими волнами» . Ленгмюр . 36 (34): 10175–10186. doi : 10.1021/acs.langmuir.0c01628 . ISSN 0743-7463 . ПМК 8010791 . ПМИД 32787026 .
- ^ Бирун, Мехди Х.; Ли, Цзе; Тао, Ран; Рахмати, Мохаммед; Макхейл, Глен; Донг, Линьси; Джанги, Мехди; Торунь, Хамди; Фу, Юнцин (12 августа 2020 г.). «Акустические волны для активного сокращения времени контакта при ударе капель» . Применена физическая проверка . 14 (2): 024029. Бибкод : 2020PhRvP..14b4029B . doi : 10.1103/PhysRevApplied.14.024029 . S2CID 225429856 .
- ^ Хаген, Стивен Дж; Сон, Минджун (27 января 2017 г.). «Истоки неоднородности компетентности: интерпретация чувствительного к окружающей среде сигнального пути» . Физическая биология . 14 (1): 015001. Бибкод : 2017PhBio..14a5001H . дои : 10.1088/1478-3975/aa546c . ПМК 5336344 . ПМИД 28129205 .
- ^ Перейти обратно: а б Ха, Бён Ханг; Ли, Кан Су; Дестгер, Гулам; Пак, Джинсу; Чунг, Джин Сын; Юнг, Джин Хо; Шин, Дженнифер Хёнджон; Сон, Хён Джин (3 июля 2015 г.). «Акустотермический нагрев полидиметилсилоксановой микрофлюидной системы» . Научные отчеты . 5 (1): 11851. Бибкод : 2015NatSR...511851H . дои : 10.1038/srep11851 . ПМК 4490350 . ПМИД 26138310 .
- ^ Яралиоглу, Гоксен (ноябрь 2011 г.). «Ультразвуковой нагрев и измерение температуры в микрофлюидных каналах». Датчики и исполнительные механизмы A: Физические . 170 (1–2): 1–7. дои : 10.1016/j.sna.2011.05.012 .
- ^ Ламанна, Леонардо (15 августа 2023 г.). «Последние достижения в области полимерных гибких устройств на поверхностных акустических волнах: материалы, обработка и применение» . Передовые технологии материалов . 8 (21). дои : 10.1002/admt.202300362 . ISSN 2365-709X . S2CID 261037910 .
- ^ Продукт от Bürkert Fluid Control Systems http://www.processindustryforum.com/article/patented-flow-meter-saw-technology-accurate-flow-measurement-hygienic-applications