✖


Jump to content

5-нм процесс

(Перенаправлено с 5 нанометров )

Полупроводник
устройство
изготовление
Масштабирование МОП-транзисторов
( узлы процесса )
Будущее

В производстве полупроводников Международная дорожная карта для устройств и систем определяет процесс «5 нм» как MOSFET, технологический узел следующий за узлом «7 нм» . В 2020 году Samsung и TSMC начали серийное производство чипов «5 нм», производимых для таких компаний, как Apple , Marvell , Huawei и Qualcomm . [1] [2]

Термин «5 нм» не имеет точного отношения к каким-либо реальным физическим характеристикам (таким как длина затвора, шаг металла или шаг затвора) транзисторов, составляет пять нанометров размер которых больше . исторически это число использовалось для обозначения длины ворот, но примерно в 2011 году оно начало отклоняться от фактической длины в сторону меньших чисел (по данным разведки). [3] Согласно прогнозам, содержащимся в обновленной версии Международной дорожной карты для устройств и систем на 2021 год , опубликованной Ассоциацией стандартов IEEE Industry Connection, длина затвора 5-нм чипа будет составлять 18 нм. [4] Однако в реальной коммерческой практике «5 нм» используется в первую очередь отдельными производителями микрочипов в качестве маркетингового термина для обозначения нового, улучшенного поколения кремниевых полупроводниковых чипов с точки зрения увеличенной плотности транзисторов (т.е. более высокой степени миниатюризации). увеличена скорость и снижено энергопотребление по сравнению с предыдущим 7-нм техпроцессом . [5] [6]

История

[ редактировать ]

Фон

[ редактировать ]

Эффектами квантового туннелирования через оксидный слой затвора на транзисторах «7 нм» и «5 нм» становилось все труднее управлять с помощью существующих полупроводниковых процессов. [7] Однотранзисторные устройства с техпроцессом менее 7 нм были впервые продемонстрированы исследователями в начале 2000-х годов. В 2002 году исследовательская группа IBM , в которую входили Брюс Дорис, Омер Докумачи, Мейкей Ионг и Анда Мокута, изготовила 6-нанометровый МОП-транзистор кремний-на-изоляторе (SOI). [8] [9]

В 2003 году японская исследовательская группа NEC под руководством Хитоши Вакабаяши и Сигэхару Ямагами изготовила первый 5-нм МОП-транзистор. [10] [11]

В 2015 году IMEC и Cadence изготовили тестовые чипы по техпроцессу 5 нм. Изготовленные тестовые чипы не были полностью функциональными устройствами, а скорее предназначены для оценки структуры слоев межсоединений . [12] [13]

В 2015 году Intel описала концепцию полевого транзистора с боковым нанопроволокой (или с круговым затвором) для узла «5 нм». [14]

В 2017 году IBM сообщила, что создала кремниевые чипы «5 нм». [15] использование кремниевых нанолистов в конфигурации с полным затвором (GAAFET), что является отличием от обычной конструкции FinFET . Используемые транзисторы GAAFET имели 3 нанолиста, сложенных друг на друга и полностью закрытых одним и тем же затвором, точно так же, как FinFET обычно имеют несколько физических ребер, расположенных рядом, которые электрически представляют собой единое целое и полностью закрыты одним и тем же затвором. . Чип IBM имел размер 50 мм. 2 и имел 600 миллионов транзисторов на мм. 2 , что в общей сложности составляет 30 миллиардов транзисторов (1667 нм). 2 на транзистор или фактическое расстояние между транзисторами 41 нм). [16] [17]

Коммерциализация

[ редактировать ]

В апреле 2019 года Samsung Electronics объявила, что с четвертого квартала 2018 года предлагает своим клиентам инструменты «5-нм» процесса (5LPE). [18] В апреле 2019 года TSMC объявила, что их «5-нм» процесс (CLN5FF, N5) начал рискованное производство и что полные спецификации конструкции чипов теперь доступны потенциальным клиентам. Процесс N5 может использовать EUVL на 14 уровнях по сравнению с 5 или 4 уровнями в N6 и N7++. [19] Для ожидаемого минимального шага металла 28 нм SALELE . лучшим методом нанесения рисунка является [20]

В рамках своего процесса «5 нм» компания Samsung начала устранение дефектов путем автоматической проверки и исправления, возникающих из-за возникновения стохастических (случайных) дефектов в металле и переходных слоях. [21]

Сообщается, что в октябре 2019 года TSMC начала отбор проб 5-нм процессоров A14 для Apple . [22] На конференции IEEE IEDM 2020 года компания TSMC сообщила, что их 5-нм техпроцесс имеет в 1,84 раза более высокую плотность, чем 7-нм техпроцесс. [23] На выставке IEDM 2019 TSMC представила две версии 5-нм: версию DUV с 5,5-дорожечной ячейкой и (официальную) версию EUV с 6-дорожечной ячейкой. [24] [25]

В декабре 2019 года TSMC объявила о среднем выходе примерно 80% при пиковом выходе на пластину более 90% для своих тестовых чипов «5 нм» с размером кристалла 17,92 мм. 2 . [26] В середине 2020 года TSMC заявила, что ее (N5) «5-нм» процесс предлагает в 1,8 раза большую плотность, чем ее «7-нм» процесс N7, с улучшением скорости на 15% или снижением энергопотребления на 30%; Утверждалось, что улучшенная подверсия (N5P или N4) улучшает N5 с скоростью + 5% или мощностью -10%. [27]

13 октября 2020 года Apple анонсировала новую линейку iPhone 12 с моделью A14 . Вместе с линейкой Huawei Mate 40 , использующей HiSilicon Kirin 9000 , A14 и Kirin 9000 были первыми устройствами, которые были коммерциализированы на узле TSMC «5 нм». Позже, 10 ноября 2020 года, Apple также представила три новые модели Mac, использующие Apple M1 , еще один 5-нм чип. По данным Semianaанализа, процессор A14 имеет плотность транзисторов 134 миллиона транзисторов на мм. 2 . [28]

В октябре 2021 года TSMC представила нового члена своего семейства техпроцессов «5 нм»: N4P. По сравнению с N5, узел продемонстрировал на 11% более высокую производительность (на 6% выше по сравнению с N4), более высокую энергоэффективность на 22%, более высокую плотность транзисторов на 6% и меньшее количество масок. TSMC ожидала, что первые выпуски ленты начнутся во второй половине 2022 года. [29] [30] [ нужно обновить ]

В декабре 2021 года TSMC анонсировала нового члена своего семейства «5-нм» процессов, предназначенного для приложений HPC: N4X. В процессе были оптимизированы конструкция и структура транзисторов, уменьшено сопротивление и емкость целевых металлических слоев и установлены MiM-конденсаторы высокой плотности. В то время ожидалось, что этот процесс [ нужно обновить ] предлагают до 15% более высокую производительность по сравнению с N5 (или до 4% по сравнению с N4P) при 1,2 В и напряжении питания более 1,2 В. В то время TSMC заявила, что ожидает [ нужно обновить ] N4X вступит в рисковое производство к первой половине 2023 года. [31] [32] [33]

В июне 2022 года Intel представила некоторые подробности о процессе Intel 4 (известном как «7 нм» до переименования в 2021 году): первом процессе компании, использующем EUV, плотность транзисторов в 2 раза выше по сравнению с Intel 7 (известным как «10 нм» ESF). (Enhanced Super Fin) до переименования), использование меди с кобальтовым покрытием для пяти тончайших слоев межсоединений, повышение производительности на 21,5 % при изо-мощности или на 40 % снижение энергопотребления при изо-частоте при 0,65 В по сравнению с Intel 7 и т. д. Впервые Intel Продуктом, который должен был быть создан на базе Intel 4, был Meteor Lake, запущенный во втором квартале 2022 года и запланированный к поставке в 2023 году. [34] Intel 4 имеет шаг контактного затвора 50 нм, шаг ребра и минимального металла 30 нм, а высоту библиотеки 240 нм. Емкость металл-изолятор-металл была увеличена до 376 фФ/мкм², примерно в 2 раза по сравнению с Intel 7. [35] Процесс был оптимизирован для приложений HPC и поддерживал напряжение от <0,65 В до >1,3 В. Оценка WikiChip плотности транзисторов для Intel 4 составляла 123,4 млн/мм², что в 2,04 раза выше 60,5 млн/мм² для Intel 7. Однако высокая плотность Ячейка SRAM масштабировалась всего на 0,77x (с 0,0312 до 0,024 мкм²), а высокопроизводительная ячейка — на 0,68x (с 0,0441 до 0,03 мкм²) по сравнению с Intel 7. [36] [ нужно обновить ]

27 сентября 2022 года AMD официально представила Ryzen 7000 серию центральных процессоров , основанных на техпроцессе TSMC N5 и микроархитектуре Zen 4 . [37] Zen 4 ознаменовал первое использование 5-нм техпроцесса для процессоров для настольных ПК на базе x86. В декабре 2022 года AMD также выпустила Radeon RX 7000 серию графических процессоров на базе RDNA 3 , в которых также использовался процесс TSMC N5. [38]

Узлы

[ редактировать ]
5 нм
Дорожная карта IRDS 2017 [39] Samsung [40] [41] [42] [43] [44] ТСМК [40]
Имя процесса 7 нм 5 нм 5ЛПЭ 5ЛПП N5 Н5П 4Н [45]
Плотность транзисторов (МТР/мм 2 ) Un­known Un­known 126.9 [44] Un­known 138.2 [46] [47] Неизвестный
Размер битовой ячейки SRAM (мкм 2 ) 0.027 [48] 0.020 [48] 0.0262 [49] 0.021 [49] Неизвестный
Шаг затвора транзистора (нм) 48 42 57 51 Неизвестный
Шаг межсоединения (нм) 28 24 36 Un­known 28 [50] Неизвестный
Статус выпуска 2019 2021 2018 рисковое производство [18]
производство 2020 года 		производство 2022 г. 2019 рисковое производство [19]
производство 2020 года 		2020 рисковое производство
производство 2021 г. 		производство 2022 г.

Технологические узлы 4 нм

[ редактировать ]
Samsung [40] [42] [43] [44] [51] ТСМК Интел [52] [34]
Имя процесса 4ЛПЭ
SF4E 		4ЛПП
SF4 		4ЛПП+
СФ4П 		4HPC
SF4X 		4ЛПА
SF4U 		N4 Н4П N4X [31] [32] [33] N4C [53] 4 [54] [55]
Плотность транзисторов (МТР/мм 2 ) 137 [44] Un­known Un­known Un­known 143.7 [56] Un­known Un­known 123.4 [36]
Размер битовой ячейки SRAM (мкм 2 ) 0.0262 [49] Un­known Un­known Un­known Un­known Un­known Un­known 0.024 [49]
Шаг затвора транзистора (нм) 57 Un­known Un­known Un­known 51 Un­known Un­known 50
Шаг межсоединения (нм) 32 Un­known Un­known Un­known 28 Un­known Un­known 30
Статус выпуска 2020 рисковое производство
производство 2021 г. 		производство 2022 г. производство 2023 г. производство 2024 г. производство 2025 г. 2021 рисковое производство
производство 2022 г. 		2022 рисковое производство
производство 2022 г. 		Производство риска к 1 полугодию 2023 г.
производство 2024 г. 		производство 2025 г. 2022 рисковое производство [57]
производство 2023 г. [58]

Шаг затвора транзистора также называется CPP (контактный полишаг), а шаг межсоединения также называется MMP (минимальный металлический шаг). [59] [60]

За пределами 4 нм

[ редактировать ]
Основная статья: 3-нм процесс

«3 нм» — это обычный термин для следующего узла после «5 нм». По состоянию на 2023 год TSMC у начала производство чипов для избранных клиентов, а Samsung и Intel есть планы на 2024 год. [52] [61] [62] [63]

«3,5 нм» также было названо первым узлом после «5 нм». [64]

Ссылки

[ редактировать ]
  1. ^ Катресс, доктор Ян. « «Лучшая производительность на 5-нм техпроцессе, чем на 7-нм»: обновленная информация TSMC о проценте дефектов для N5» . АнандТех . Архивировано из оригинала 30 августа 2020 года . Проверено 28 августа 2020 г.
  2. ^ «Marvell и TSMC сотрудничают для создания портфеля инфраструктуры данных на базе 5-нм технологии» . HPCwire . Архивировано из оригинала 15 сентября 2020 года . Проверено 28 августа 2020 г.
  3. ^ «Больше никаких нанометров» . 23 июля 2020 г.
  4. ^ Международная дорожная карта для устройств и систем: обновление на 2021 год: Подробнее Мур , IEEE, 2021, стр. 7, заархивировано из оригинала 7 августа 2022 года , получено 7 августа 2022 года.
  5. ^ «7-нм, 5-нм и 3-нм техпроцесса TSMC — это просто цифры… неважно, какое это число » . 10 сентября 2019 года. Архивировано из оригинала 17 июня 2020 года . Проверено 20 апреля 2020 г.
  6. ^ Сэмюэл К. Мур (21 июля 2020 г.). «Лучший способ измерения прогресса в области полупроводников: пришло время выбросить старую метрику закона Мура» . IEEE-спектр . IEEE. Архивировано из оригинала 2 декабря 2020 года . Проверено 20 апреля 2021 г.
  7. ^ «Квантовые эффекты на 7/5 нм и выше» . Полупроводниковая техника . Архивировано из оригинала 15 июля 2018 года . Проверено 15 июля 2018 г.
  8. ^ «IBM претендует на самый маленький кремниевый транзистор в мире — TheINQUIRER» . Theinquirer.net . 9 декабря 2002 года. Архивировано из оригинала 31 мая 2011 года . Проверено 7 декабря 2017 г.
  9. ^ Дорис, Брюс Б.; Докумачи, Омер Х.; Ёнг, Мейкей К.; Мокута, Анда; Чжан, Ин; Канарский, Томас С.; Рой, РА (декабрь 2002 г.). Экстремальное масштабирование с помощью ультратонких Si-канальных МОП-транзисторов . Дайджест. Международная встреча по электронным устройствам. стр. 267–270. дои : 10.1109/IEDM.2002.1175829 . ISBN  0-7803-7462-2 . S2CID   10151651 .
  10. ^ «NEC тестирует самый маленький транзистор в мире» . Thefreelibrary.com . Архивировано из оригинала 15 апреля 2017 года . Проверено 7 декабря 2017 г.
  11. ^ , К.; Очиаи, К.; Ямамото, Т.; Вакабаяши, Хитоши; Икезава, Нобуюки; Нарихиро -10-нм планарные объемные КМОП-устройства с управлением боковым переходом . Международная конференция IEEE по электронным устройствам, 2003. стр. 20.7.1–20.7.3. doi : 10.1109/ . IEDM.2003.1269446  0-7803-7872-5 . S2CID   2100267 .
  12. ^ «IMEC и Cadence представили 5-нм тестовый чип» . Семивики.com . 4 июля 2023 г. Проверено 4 июля 2023 г.
  13. ^ «Дорожная карта перехода на 5 нм: необходима конвергенция многих решений» . Полу.орг . Архивировано из оригинала 26 ноября 2015 года . Проверено 25 ноября 2015 г.
  14. ^ Марк ЛаПедус (20 января 2016 г.). «5-нм потрясающие вызовы» . Архивировано из оригинала 27 января 2016 года . Проверено 22 января 2016 г. Intel представила доклад, который вызвал искры и вызвал спекуляции относительно будущего направления передовой индустрии микросхем. Компания описала транзистор следующего поколения, названный нанопроводным полевым транзистором, который представляет собой полевой полевой транзистор, повернутый набок с обернутым вокруг него затвором. Утверждается, что нанопроволочный полевой транзистор Intel, иногда называемый полевым транзистором с полным затвором, соответствует требованиям к устройствам для 5-нм техпроцесса, определенным Международной технологической дорожной картой для полупроводников (ITRS).
  15. ^ Себастьян, Энтони (5 июня 2017 г.). «IBM представляет первый в мире 5-нм чип» . Арс Техника . Архивировано из оригинала 5 июня 2017 года . Проверено 5 июня 2017 г.
  16. ^ Хуэймин, Бу (5 июня 2017 г.). «5-нанометровые транзисторы постепенно внедряются в чипы» . ИБМ . Архивировано из оригинала 9 июня 2021 года . Проверено 9 июня 2021 г.
  17. ^ «IBM придумала, как производить 5-нм чипы» . UK.pcmag.com . 5 июня 2017 года. Архивировано из оригинала 3 декабря 2017 года . Проверено 7 декабря 2017 г.
  18. ^ Jump up to: а б Шилов, Антон. «Samsung завершает разработку 5-нм техпроцесса EUV» . АнандТех . Архивировано из оригинала 20 апреля 2019 года . Проверено 31 мая 2019 г.
  19. ^ Jump up to: а б «Партнеры по экосистеме TSMC и OIP предоставляют первую в отрасли комплексную инфраструктуру проектирования для 5-нм техпроцесса» (пресс-релиз). ТСМК. 3 апреля 2019 г.
  20. ^ «SALELE Double Patterning для узлов 7 и 5 нм» . ЛинкедИн . Архивировано из оригинала 20 сентября 2021 года . Проверено 25 марта 2021 г.
  21. ^ Джэхван Ким; Джин Ким; Бёнчул Шин; Санга Ли; Джэ-Хён Кан; Джун-Вон Чжон; Пиюш Патхак; Жак Конделла; Фрэнк Э. Дженнари; Филипп Юрат; Я-Чье Лай (23 марта 2020 г.). Снижение риска выхода продукции, связанного с процессом, за счет замены шаблонов в проекте для системных микросхем, изготовленных на передовых технологических узлах . Учеб. SPIE 11328, Совместная оптимизация проектирования, процессов и технологий для обеспечения технологичности XIV, 113280I. Сан-Хосе, Калифорния, США. дои : 10.1117/12.2551970 .
  22. ^ Солца, Богдан (22 октября 2019 г.). «TSMC уже пробует 5-нм процессоры Apple A14 Bionic SoC для iPhone 2020 года» . Проверка ноутбука . Архивировано из оригинала 12 января 2020 года . Проверено 12 января 2020 г.
  23. ^ «Детали TSMC 5 нм» . 21 марта 2020 г.
  24. ^ «Литография для конкретного применения: создание рисунка на 5-нанометровом 5,5-дорожечном металле от DUV» .
  25. ^ Г. Йеп; и др. Технологическая платформа производства 5-нм КМОП с полноценным EUV и высокомобильным каналом FinFET с самыми плотными ячейками SRAM площадью 0,021 мкм2 для мобильных SoC и высокопроизводительных вычислительных приложений . Международная конференция IEEE по электронным устройствам (IEDM) 2019 г. дои : 10.1109/IEDM19573.2019.8993577 .
  26. ^ Катресс, доктор Ян. «Ранние тестовые чипы TSMC, изготовленные по 5-нм техпроцессу, дают 80% производительности, HVM появится в первом полугодии 2020 года» . АнандТех . Архивировано из оригинала 25 мая 2020 года . Проверено 19 декабря 2019 г.
  27. ^ Грушка, Джоэл (25 августа 2020 г.). «TSMC прокладывает агрессивный курс в области 3-нм литографии и не только» . ЭкстримТех . Архивировано из оригинала 22 сентября 2020 года . Проверено 12 сентября 2020 г.
  28. ^ Патель, Дилан (27 октября 2020 г.). «Apple A14 содержит 134 миллиона транзисторов на мм², но плотность не соответствует заявленным TSMC» . Полуанализ . Архивировано из оригинала 12 декабря 2020 года . Проверено 29 октября 2020 г.
  29. ^ «TSMC расширяет лидерство в области передовых технологий с помощью процесса N4P» . TSMC (Пресс-релиз). 26 октября 2021 г.
  30. ^ «TSMC расширяет свое 5-нм семейство новым узлом N4P повышенной производительности» . ВикиЧип . 26 октября 2021 года. Архивировано из оригинала 29 мая 2022 года . Проверено 28 мая 2022 г.
  31. ^ Jump up to: а б «TSMC представляет процесс N4X» (пресс-релиз). ТСМК. 16 декабря 2021 г.
  32. ^ Jump up to: а б «Будущее уже сейчас (сообщение в блоге)» . ТСМС . 16 декабря 2021 года. Архивировано из оригинала 7 мая 2022 года . Проверено 25 мая 2022 г.
  33. ^ Jump up to: а б Шилов, Антон (17 декабря 2021 г.). «TSMC представляет узел N4X» . АнандТех . Архивировано из оригинала 25 мая 2022 года . Проверено 25 мая 2022 г.
  34. ^ Jump up to: а б Смит, Райан. «Подробное описание узла процесса Intel 4: двукратное масштабирование плотности, повышение производительности на 20 %» . АнандТех . Архивировано из оригинала 13 июня 2022 года . Проверено 13 июня 2022 г.
  35. ^ Джонс, Скоттен (13 июня 2022 г.). «Глубокое погружение в Intel 4» . Поливики .
  36. ^ Jump up to: а б Шор, Дэвид (19 июня 2022 г.). «Взгляд на технологию процессов Intel 4» . WikiChip Предохранитель .
  37. ^ «AMD выпускает процессоры для настольных ПК серии Ryzen 7000 с архитектурой Zen 4: самое быстрое ядро ​​в играх» (пресс-релиз). 29 августа 2022 г. Проверено 31 марта 2023 г.
  38. ^ Викенс, Кэти (30 августа 2022 г.). «Лиза Су из AMD подтверждает архитектуру графического процессора RDNA 3 на базе чиплетов» . ПК-геймер . Проверено 20 сентября 2022 г.
  39. ^ «Международная дорожная карта IRDS для устройств и систем, издание 2017 г.» (PDF) . Архивировано из оригинала (PDF) 25 октября 2018 года.
  40. ^ Jump up to: а б с Джонс, Скоттен (29 апреля 2020 г.), «Может ли TSMC сохранить лидерство в области технологических процессов» , SemiWiki , заархивировано из оригинала 13 мая 2022 г. , получено 11 апреля 2022 г.
  41. ^ «Обновление Samsung Foundry 2019» . Поливики . 6 августа 2019 года. Архивировано из оригинала 29 мая 2022 года . Проверено 14 мая 2022 г.
  42. ^ Jump up to: а б «Обновление Samsung 5 нм и 4 нм» . ВикиЧип . 19 октября 2019 г.
  43. ^ Jump up to: а б «Процесс литографии 5 нм» . ВикиЧип . Архивировано из оригинала 6 ноября 2020 года . Проверено 30 апреля 2017 г.
  44. ^ Jump up to: а б с д «Samsung 3-нм GAAFET приступает к рисковому производству; обсуждает улучшения следующего поколения» . 5 июля 2022 г.
  45. ^ «NVIDIA совершает квантовый скачок в производительности и открывает новую эру нейронного рендеринга с серией GeForce RTX 40» . Отдел новостей NVIDIA . Проверено 20 сентября 2022 г.
  46. ^ «ПРАВДА о TSMC 5 нм» .
  47. ^ «N3E заменяет N3; поставляется во многих вариантах» . 4 сентября 2022 г.
  48. ^ Jump up to: а б МЕЖДУНАРОДНАЯ ДОРОЖНАЯ КАРТА ДЛЯ УСТРОЙСТВ И СИСТЕМ, ИЗДАНИЕ 2017 ГОДА – БОЛЬШЕ МУРА (PDF) , ITRS, 2017, раздел 4.5. Записи в таблице MM-10 (стр. 12): «Область битовых ячеек SRAM (um2)»; «Плотность ячеек SRAM 111 бит - Мбит/мм2», заархивировано из оригинала (PDF) 25 октября 2018 г. , получено 24 октября 2018 г.
  49. ^ Jump up to: а б с д «Мы только что стали свидетелями смерти SRAM?» . 4 декабря 2022 г.
  50. ^ Джей Си Лю; и др. Повышенная надежность 5-нм CMOS-технологии с FinFET 5-го поколения с полностью развитым EUV и каналом высокой мобильности для мобильных SoC и высокопроизводительных вычислительных приложений . Международная конференция IEEE по электронным устройствам (IEDM) 2020 г. дои : 10.1109/IEDM13553.2020.9372009 .
  51. ^ «Samsung Foundry обещает превзойти TSMC в течение пяти лет» .
  52. ^ Jump up to: а б Катресс, доктор Ян. «Дорожная карта Intel до 2025 года: с 4 нм, 3 нм, 20 А и 18 А?!» . АнандТех . Архивировано из оригинала 3 ноября 2021 года . Проверено 27 июля 2021 г.
  53. ^ Шилов, Антон (25 апреля 2024 г.). «TSMC готовит более дешевый 4-нм процесс N4C к 2025 году, стремясь снизить затраты на 8,5%» . АнандТех .
  54. ^ Ранее назывался Intel 7 нм.
  55. ^ Боншор, Гэвин (20 октября 2022 г.). «Обзор Intel Core i9-13900K и i5-13600K: Raptor Lake приносит больше удовольствия» . АнандТех . Проверено 28 сентября 2023 г.
  56. ^ «TSMC N3 и предстоящие задачи» . 27 мая 2023 г.
  57. ^ Гартенберг, Хаим (29 июля 2021 г.). «Лето Intel отстало» . Грань . Архивировано из оригинала 22 декабря 2021 года . Проверено 22 декабря 2021 г.
  58. ^ «Intel представляет архитектуру Meteor Lake: Intel 4 предвещает дезагрегированное будущее мобильных процессоров» .
  59. ^ «Международная технологическая дорожная карта для полупроводников 2.0, исполнительный отчет, издание 2015 г.» (PDF) . Semiconductors.org . Архивировано из оригинала (PDF) 2 октября 2016 года . Проверено 7 декабря 2017 г.
  60. ^ «Процесс литографии 5 нм» . ВикиЧип . Архивировано из оригинала 6 ноября 2020 года . Проверено 7 декабря 2017 г.
  61. ^ «Узел Samsung GAAFET 3 нм отложен до 2024 года» . 30 июня 2021 года. Архивировано из оригинала 17 декабря 2021 года . Проверено 8 июля 2021 г.
  62. ^ Шилов, Антон. «Samsung: развертывание 3-нм узла GAE запланировано на 2022 год» . АнандТех . Архивировано из оригинала 27 июля 2021 года . Проверено 27 июля 2021 г.
  63. ^ Шилов, Антон. «Обновление TSMC: 2 нм в разработке, 3 и 4 нм на подходе к 2022 году» . АнандТех . Архивировано из оригинала 27 июля 2021 года . Проверено 27 июля 2021 г.
  64. ^ «15 взглядов с кремниевого саммита: макро- и нано-перспективы развития чипов» . ЭЭ Таймс . 16 января 2017 года. Архивировано из оригинала 28 июня 2018 года . Проверено 4 июня 2018 г.
[ редактировать ]
Предшественник
«7 нм» ( FinFET ) 		MOSFET изготовления полупроводниковых устройств Процесс Преемник
«3 нм» ( FinFET / GAAFET )
Retrieved from "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=5_nm_process&oldid=1237906125"
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: b028b30d18efa5c9c22d4e8af07ecb27__1722469560
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/b0/27/b028b30d18efa5c9c22d4e8af07ecb27.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
5 nm process - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)