Зайрон

Zyron мировой электронной промышленности — зарегистрированная торговая марка специальных газов, продаваемых компанией DuPont .

История

Фреон использовался в качестве оригинальной торговой марки для электронных газов, производимых и продаваемых DuPont. С разрушением озонового слоя и последующим отказом от газовых соединений хлорфторуглерода (CFC) компания провела ребрендинг этой линейки продуктов, чтобы отличить ее от газов- хладагентов , которые использовали ту же торговую марку фреона.

Название было разработано в октябре 1991 года сотрудниками DuPont Полом Бехли и доктором Николасом Назаренко, впервые было использовано в торговле 12 июня 1992 года и стало зарегистрированной торговой маркой DuPont в 1993 году. ^{[ 1 ]}

Система именования

Система наименования продуктов Zyron также была разработана Бехли и Назаренко в октябре 1991 года. Система основана на исторической отраслевой системе нумерации фторированных алканов. ^{[ 2 ]} для идентификации химического соединения, за которым следует суффикс (N), указывающий на чистоту продукта. Система именования намеренно не была зарегистрирована как торговая марка, чтобы обеспечить промышленное внедрение.

Например, для Zyron 116 N5: цифра 116 представляет собой соединение гексафторэтан , а N5 представляет собой «5 девяток» или чистоту 99,999%.

Например, для Zyron 23 N3 цифра 23 представляет собой соединение трифторметан , а N3 представляет собой «3 девять» или чистоту 99,99%.

Продукты

Зайрон 116 N5 ( гексафторэтан )

Zyron 318 N4 ( октафторциклобутан )

Зайрон 23 N5 ( трифторметан )

Зайрон 23 N3 ( трифторметан )

Исторические продукты включали: Zyron 14 ( тетрафторметан ), Zyron 32 ( дифторметан ), Zyron 125 ( пентафторэтан ) и Zyron NF3 ( трифторид азота ).

Приложения

Основными применениями этих газов в электронной промышленности являются травление кремниевых пластин и очистка инструментов камер химического осаждения из паровой фазы . ^{[ 3 ]} Все эти изделия относятся к продуктам на основе плазмы, при которых продукт практически разрушается в процессе использования.

Альтернативные продукты линии Zyron для различного применения в электронике включают химические соединения HCl, BCl ₃ , CF ₄ , ClF ₃ , CH ₂ F ₂ , Ge _H 4 , C ₄ F ₆ , NF ₃ , C ₅ F ₈ , PH ₃ , C ₃ H ₆ , SiH ₄ и WF ₆ . ^{[ 4 ]}

В новостях

См. также

Ссылки

Внешние ссылки

[zyron-1] Регистрация товарного знака USPTO № 1772141.

[number-2] Схема нумерации озоноразрушающих веществ и их заменителей.

[app-3] Электронные газы DuPont Zyron для плазменных процессов

[air-4] Список специальных газов Air Products для полупроводниковой промышленности.

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]

[ 4 ]