Журнал вакуумной науки и технологий

*Журнал вакуумной науки и технологий*
Дисциплина	Физика
Язык	Английский
редакцией Под	Слово Айдиля
Подробности публикации
История	1964 – настоящее время
Издатель	Американский институт физики от имени Американского вакуумного общества (США)
Частота	Раз в два месяца
Импакт-фактор	2.427 (Часть А ) ; 1.416 (Часть Б ) (2020)
Стандартные сокращения ;
ИСО 4	Дж. Вак. наук. Технол.
Индексирование ;
	Журнал вакуумной науки и технологий
ISSN	0022-5355 ;
	Журнал вакуумной науки и техники A
КОДЫ	JVTAD6
ISSN	0734-2101 (печать) ; 1520-8559 (Интернет) ;
LCCN	83643441
OCLC нет.	08697396
	Журнал вакуумной науки и техники B
КОДЫ	JVTBD9
ISSN	0734-211X ;
LCCN	83642371
OCLC нет.	08697479
Ссылки
	Домашняя страница журнала ; Часть А ; Часть Б ;

Journal of Vacuum Science and Technology — рецензируемый научный журнал, публикуемый в двух частях, A и B , Американским институтом физики от имени Американского вакуумного общества . Он был основан в 1964 году, главным редактором является Эрай Айдил ( Университет Миннесоты ).

История

1964–1982 Журнал вакуумной науки и технологий.
1983 – настоящее время Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки.
1983–1990 Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектронная обработка и явления.
1991 – настоящее время Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометровые структуры.

Часть А

Часть A охватывает прикладную науку о поверхности , электронные материалы и обработку, термоядерную технологию, плазменную технологию, науку о поверхности , тонкие пленки , вакуумную металлургию и вакуумную технологию. По данным Journal Citation Reports журнала в 2015 году , импакт-фактор составил 1,724. ^[1]

Часть Б

Часть B охватывает вакуумную и плазменную обработку различных материалов, их структурные характеристики, микролитографию , а также физику и химию субмикрометровых и нанометровых структур и устройств. По данным Journal Citation Reports журнала в 2014 году , импакт-фактор составил 1,398. ^[2]