Буль (кристалл)
Буля полученный — монокристаллический слиток, синтетическим путем. [1]
Була кремния является исходным материалом для большинства интегральных схем, используемых сегодня. В полупроводниковой промышленности синтетические були можно изготавливать различными методами, например методом Бриджмена. [2] и процесс Чохральского , в результате которого получается цилиндрический стержень из материала.
В процессе Чохральского затравочный кристалл для создания более крупного кристалла или слитка требуется . Этот затравочный кристалл погружают в чистый расплавленный кремний и медленно извлекают. Расплавленный кремний растет на затравочном кристалле кристаллическим образом. По мере извлечения затравки кремний затвердевает, и в конечном итоге образуется большая цилиндрическая буля. [3]
Полупроводниковую кристаллическую булю обычно разрезают на круглые пластины с внутренним отверстием с помощью алмазной пилы или алмазной канатной пилы , а каждая пластина притирается образовались подложки, подходящие для изготовления полупроводниковых устройств . и полируется, чтобы на ее поверхности [4]
Этот процесс также используется для создания сапфиров , которые используются в качестве подложек при производстве синих и белых светодиодов , оптических окон специального назначения и в качестве защитных чехлов для часов . [5]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Кимото, Цунэнобу; Купер, Джеймс А. (24 ноября 2014 г.). Основы технологии карбида кремния: выращивание, характеристика . Джон Уайли и сыновья. ISBN 9781118313527 . Проверено 1 марта 2017 г.
- ^ Дханарадж, Говиндхан; Бираппа, Куллайя; Прасад, Вишванатх; Дадли, Майкл (2010). Справочник Springer по выращиванию кристаллов . Спрингер. ISBN 9783540747611 . Проверено 25 февраля 2017 г.
- ^ Ри, Сэмюэл Н. (1978). «Непрерывное развитие процесса Чохральского» . Проверено 1 марта 2017 г.
- ^ БОСЕ (2013). Технология изготовления микросхем . McGraw Hill Education (India) Pvt Ltd. с. 53. ИСБН 978-1-259-02958-5 .
- ^ Ж.-П. Колинг (29 февраля 2004 г.). Технология кремний-на-изоляторе: Материалы для СБИС: Материалы для СБИС . Springer Science & Business Media. п. 12. ISBN 978-1-4020-7773-9 .