✖


Jump to content

3-нм процесс

(Перенаправлено с 3nm )
Полупроводник
устройство
изготовление
Масштабирование МОП-транзисторов
( узлы процесса )
Будущее

В производстве полупроводников является 3-нм процесс следующим этапом усадки кристалла после 5-нм MOSFET (металл-оксид-полупроводниковый полевой транзистор) технологического узла . Южнокорейский производитель микросхем Samsung начал поставки своего 3-нм техпроцесса (GAA) под названием 3GAA в середине 2022 года. [ 1 ] [ 2 ] 29 декабря 2022 года тайваньский производитель микросхем TSMC объявил, что серийное производство с использованием его 3-нм полупроводникового узла (N3) ведется с хорошей производительностью. [ 3 ] Усовершенствованный 3-нм техпроцесс под названием N3E, возможно, начнет производство в 2023 году. [ 4 ] Американский производитель Intel планировал начать производство по 3-нм техпроцессу в 2023 году. [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ]

3-нм техпроцесс Samsung основан на технологии GAAFET (полевой транзистор с полным затвором), типе технологии многозатворных MOSFET , в то время как 3-нм техпроцесс TSMC по-прежнему использует технологию FinFET (полевой транзистор с ребристыми ребрами). [ 8 ] несмотря на то, что TSMC разрабатывает транзисторы GAAFET. [ 9 ] В частности, Samsung планирует использовать свой собственный вариант GAAFET под названием MBCFET (многомостовой полевой транзистор). [ 10 ] В процессе Intel (названном «Intel 3» без суффикса «nm») будет использоваться усовершенствованная, расширенная и оптимизированная версия технологии FinFET по сравнению с предыдущими технологическими узлами с точки зрения производительности на ватт, использования литографии EUV , а также мощности и мощности. благоустройство территории. [ 11 ]

Прогнозируемые свойства узла в соответствии с Международной дорожной картой устройств и систем (2021 г.) [ 12 ]
Имя узла Шаг ворот Металлическая смола Год
5 нм 51 нм 30 нм 2020
3 нм 48 нм 24 нм 2022
2 нм 45 нм 20 нм 2025
1 нм 40 нм 16 нм 2027

Термин «3 нанометра» не имеет прямого отношения к каким-либо реальным физическим характеристикам (таким как длина затвора, шаг металла или шаг затвора) транзисторов. Согласно прогнозам, содержащимся в обновленной версии Международной дорожной карты для устройств и систем на 2021 год , опубликованной Ассоциацией стандартов IEEE Industry Connection, ожидается, что 3-нм узел будет иметь шаг контактного затвора 48 нанометров и самый малый шаг металла 24 нанометра. [ 12 ]

Однако в реальной коммерческой практике 3-нм используется в первую очередь в качестве маркетингового термина отдельными производителями микрочипов (литейными заводами) для обозначения нового, улучшенного поколения кремниевых полупроводниковых чипов с точки зрения увеличенной плотности транзисторов (т.е. более высокой степени миниатюризации). увеличена скорость и снижено энергопотребление. [ 13 ] [ 14 ] Между различными производителями нет общеотраслевого соглашения о том, какие цифры будут определять 3-нм узел. [ 15 ] Обычно производитель чипов для сравнения ссылается на свой предыдущий технологический узел (в данном случае 5-нм узел). Например, TSMC заявила, что ее 3-нм чипы FinFET снизят энергопотребление на 25–30% при той же скорости, увеличат скорость на 10–15% при том же уровне мощности и увеличат плотность транзисторов примерно на 33% по сравнению с предыдущими моделями. Чипы FinFET 5 нм. [ 16 ] [ 17 ] С другой стороны, Samsung заявила, что ее 3-нм техпроцесс снизит энергопотребление на 45%, улучшит производительность на 23% и уменьшит площадь поверхности на 16% по сравнению с предыдущим 5-нм техпроцессом. [ 18 ] EUV-литография сталкивается с новыми проблемами при размере 3 нм, которые приводят к необходимости использования мультипаттернов . [ 19 ]

История

[ редактировать ]

Демонстрации исследований и технологий

[ редактировать ]

В 2003 году исследовательская группа NEC изготовила первые МОП-транзисторы с длиной канала 3 нм, используя процессы PMOS и NMOS . [ 20 ] [ 21 ] В 2006 году команда Корейского передового института науки и технологий (KAIST) и Национального центра нанотехнологий разработала многозатворный МОП-транзистор шириной 3 нм, самое маленькое в мире наноэлектронное устройство, основанное на принципе кругового затвора ( GAAFET ). технология. [ 22 ] [ 23 ]

История коммерциализации

[ редактировать ]

В конце 2016 года TSMC с техпроцессом 5–3 нм объявила о планах построить завод по производству полупроводников с совместными инвестициями в размере около 15,7 миллиардов долларов США. [ 24 ]

В 2017 году TSMC объявила о начале строительства завода по производству 3-нм полупроводников в Тайнаньском научном парке на Тайване. [ 25 ] TSMC планирует начать серийное производство 3-нм техпроцесса в 2023 году. [ 26 ] [ 27 ] [ 28 ] [ 29 ] [ 30 ]

В начале 2018 года IMEC (Межуниверситетский центр микроэлектроники) и Cadence заявили, что они записали 3-нм тестовые чипы, используя литографию в крайнем ультрафиолетовом диапазоне (EUV) и иммерсионную литографию 193 нм . [ 31 ]

В начале 2019 года Samsung представила планы по производству 3-нм полевых транзисторов GAAFET ( с полным затвором полевые транзисторы ) на 3-нм узле в 2021 году, используя собственную транзисторную структуру MBCFET, в которой используются нанолисты; обеспечивая увеличение производительности на 35%, снижение энергопотребления на 50% и уменьшение площади на 45% по сравнению с 7 нм. [ 32 ] [ 33 ] [ 34 ] Дорожная карта полупроводников Samsung также включала продукты на узлах 8, 7, 6, 5 и 4 нм. [ 35 ] [ 36 ]

В декабре 2019 года Intel объявила о планах по производству 3-нм процессоров в 2025 году. [ 37 ]

В январе 2020 года Samsung объявила о производстве первого в мире прототипа 3-нм процесса GAAFET и заявила, что планирует массовое производство в 2021 году. [ 38 ]

В августе 2020 года TSMC объявила подробности своего процесса «N3», который является новым, а не усовершенствованным по сравнению с процессом N5. [ 39 ] По сравнению с процессом N5, процесс N3 должен обеспечить увеличение производительности на 10–15 % (1,10–1,15 ×) или снижение энергопотребления на 25–35 % (1,25–1,35 ×) при увеличении логики в 1,7 ×. плотность (коэффициент масштабирования 0,58), увеличение на 20 % (коэффициент масштабирования 0,8) плотности ячеек SRAM и увеличение на 10 % плотность аналоговой схемы. Поскольку многие конструкции включают значительно больше SRAM, чем логики (обычное соотношение составляет 70% SRAM к 30% логики), ожидается, что усадка кристалла составит всего около 26%. TSMC планировала начать массовое производство во второй половине 2022 года. [ 40 ] [ нужно обновить ]

В июле 2021 года Intel представила совершенно новую дорожную карту технологических процессов, согласно которой теперь запланирован запуск процесса Intel 3 (ранее называвшегося Intel 7 нм), второго узла компании, использующего EUV, и последнего узла, использующего FinFET перед переходом на транзисторную архитектуру Intel RibbonFET. вступит в фазу производства продукции во втором полугодии 2023 года. [ 5 ] [ нужно обновить ]

В октябре 2021 года Samsung скорректировала прежние планы и объявила, что компания планирует начать производство первых 3-нм чипов для своих клиентов в первой половине 2022 года, а второе поколение 3-нм чипов ожидается в 2023 году. [ 41 ] [ нужно обновить ]

В июне 2022 года на технологическом симпозиуме TSMC компания поделилась подробностями своего процесса N3E, массовое производство которого запланировано на второе полугодие 2023 года: в 1,6 раза выше плотность логических транзисторов, в 1,3 раза выше плотность чиповых транзисторов, на 10–15 % выше производительность при изо-мощности или На 30-35% меньше энергопотребления при производительности ISO по сравнению с техпроцессом TSMC N5 v1.0, технология FinFLEX, позволяющая смешивать библиотеки с разной высотой дорожек внутри блока и т. д. TSMC также представила новых членов семейства 3-нм техпроцесса: вариант N3S с высокой плотностью, высокопроизводительные варианты N3P и N3X, а также N3RF для радиочастотных приложений. [ 42 ] [ 43 ] [ 44 ]

В июне 2022 года Samsung начала «первоначальное» производство высокопроизводительного чипа с низким энергопотреблением по 3-нм техпроцессу с архитектурой GAA. [ 1 ] [ 45 ] По данным отраслевых источников, Qualcomm зарезервировала у Samsung часть 3-нм производственных мощностей. [ 46 ]

25 июля 2022 года компания Samsung отпраздновала первую поставку 3-нм чипов Gate-All-Around китайской компании PanSemi, занимающейся майнингом криптовалют. [ 47 ] [ 48 ] [ 49 ] [ 50 ] Выяснилось, что недавно представленная техпроцесс 3 нм MBCFET обеспечивает на 16% более высокую плотность транзисторов. [ 51 ] Производительность на 23% выше или энергопотребление на 45% ниже по сравнению с неуказанным техпроцессом 5 нм. [ 52 ] Цели 3-нм техпроцесса второго поколения включают увеличение плотности транзисторов до 35%, [ 51 ] дальнейшее снижение энергопотребления до 50% или повышение производительности на 30%. [ 52 ] [ 53 ] [ 51 ]

29 декабря 2022 года TSMC объявила, что серийное производство с использованием 3-нм техпроцесса N3 ведется с хорошей производительностью. [ 3 ] Компания планирует начать серийное производство с использованием усовершенствованной 3-нм техпроцесса под названием N3E во второй половине 2023 года. [ 54 ]

В декабре 2022 года на конференции IEDM 2022 компания TSMC раскрыла некоторые подробности о своих 3-нм техпроцессе: шаг контактного затвора N3 составляет 45 нм, минимальный шаг металла N3E составляет 23 нм, а площадь ячейки SRAM составляет 0,0199 мкм² для N3 и 0,021 мкм². для N3E (то же, что и в N5). Для процесса N3E, в зависимости от количества ребер в ячейках, используемых при проектировании, масштабирование площади по сравнению с ребристыми ячейками N5 2-2 составляет от 0,64x до 0,85x, прирост производительности варьируется от 11% до 32%, а экономия энергии - от 12%. до 30% (цифры относятся к ядру Cortex-A72). Технология FinFlex от TSMC позволяет смешивать ячейки с разным количеством ребер в одном чипе. [ 55 ] [ 56 ] [ 57 ] [ 58 ]

В репортаже с IEDM 2022 эксперт по полупроводниковой отрасли Дик Джеймс заявил, что 3-нм техпроцесс TSMC предлагает лишь дополнительные улучшения, поскольку достигнуты ограничения на высоту ребра, длину затвора и количество ребер на транзистор (одно ребро). После реализации таких функций, как одиночный диффузионный разрыв, контакт через активный затвор и FinFlex, больше не останется места для совершенствования технологических процессов на основе FinFET. [ 59 ]

В апреле 2023 года на своем технологическом симпозиуме TSMC раскрыла некоторые подробности о своих процессах N3P и N3X, которые компания представила ранее: N3P будет предлагать на 5% более высокую скорость или на 5–10% меньшую мощность и в 1,04 раза большую «плотность кристаллов» по ​​сравнению с N3E, а N3X обеспечит прирост скорости на 5% за счет примерно 3,5-кратного увеличения утечки и той же плотности по сравнению с N3P. Массовое производство N3P планируется начать во второй половине 2024 года, а N3X — в 2025 году. [ 60 ]

В июле 2023 года исследовательская фирма TechInsights, занимающаяся исследованием полупроводниковой отрасли, заявила, что обнаружила, что 3-нм техпроцесс Samsung GAA (gate-all-around) был включен в ASIC криптомайнера (Whatsminer M56S++) от китайского производителя MicroBT. [ 61 ]

7 сентября 2023 года MediaTek и TSMC объявили, что MediaTek разработала свой первый 3-нм чип, массовое производство которого ожидается в 2024 году. [ 62 ]

12 сентября 2023 года Apple объявила, что iPhone 15 Pro и iPhone 15 Pro Max будут оснащены 3-нм чипом A17 Pro . [ 63 ] Месяц спустя, 30 октября 2023 года, 3-нм техпроцесс был использован в семействе чипов M3 (M3, M3 Pro и M3 Max), которые используются в MacBook Pro и iMac. [ 64 ]

3-нм технологические узлы

[ редактировать ]
Samsung [ 41 ] [ 65 ] [ 66 ] [ 67 ] ТСМК [ 68 ] Интел [ 5 ]
Имя процесса 3ГАЭ
SF3E 		3GAP
SF3 		N3 N3E Н3П N3X 3
Тип транзистора MBCFET ФинФЕТ
Плотность транзисторов (МТР/мм 2 ) 150 [ 66 ] 189.8 [ 69 ] 197 [ 44 ] 215.6 [ 70 ] 224.2 [ 71 ] Un­known
Размер битовой ячейки SRAM (мкм 2 ) Un­known Un­known 0.0199 [ 57 ] 0.021 [ 57 ] Un­known Un­known Un­known
Шаг затвора транзистора (нм) 40 Un­known 45 [ 57 ] 48 [ 70 ] Un­known Un­known 50
Шаг межсоединения (нм) 32 Un­known Un­known 23 [ 57 ] Un­known Un­known 30
Статус выпуска 2022 рисковое производство [ 41 ]
производство 2022 г. [ 1 ]
доставка 2022 г. [ 2 ] 		Рисковое производство в 1 квартале 2024 г. [ 72 ]
Производство во втором полугодии 2024 г. [ 69 ] 		2021 рисковое производство
Объем производства во втором полугодии 2022 г. [ 68 ] [ 3 ]
Выручка от поставок в первом полугодии 2023 г. [ 73 ] 		Производство во втором полугодии 2023 г. [ 68 ] Производство во втором полугодии 2024 г. [ 60 ] производство 2025 г. [ 60 ] Производство продукции в первом полугодии 2024 г. [ 74 ]
Выручка от поставок во втором полугодии 2024 г. [ 75 ]

Ссылки

[ редактировать ]
  1. ^ Перейти обратно: а б с «Samsung начинает производство чипов с использованием 3-нм техпроцесса с архитектурой GAA» (пресс-релиз). Samsung. Архивировано из оригинала 30 июня 2022 года . Проверено 30 июня 2022 г.
  2. ^ Перейти обратно: а б «История сотворена! Samsung побеждает TSMC и начинает поставки 3-нм чипсетов GAA» . 25 июля 2022 года. Архивировано из оригинала 23 августа 2022 года . Проверено 23 августа 2022 г.
  3. ^ Перейти обратно: а б с «TSMC запускает 3-нм производство: длинный узел для питания ведущих чипов» . Аппаратное обеспечение Тома . 29 декабря 2022 г.
  4. ^ Рамиш Зафар (4 марта 2022 г.). «TSMC превосходит ожидания по объему выпуска продукции на 3-нм техпроцессе, и производство может начаться раньше, чем планировалось» . wccftech.com . Архивировано из оригинала 16 марта 2022 года . Проверено 19 марта 2022 г.
  5. ^ Перейти обратно: а б с Катресс, доктор Ян. «Дорожная карта Intel до 2025 года: с 4 нм, 3 нм, 20 А и 18 А?!» . АнандТех . Архивировано из оригинала 3 ноября 2021 года . Проверено 27 июля 2021 г.
  6. ^ Гартенберг, Хаим (26 июля 2021 г.). «У Intel есть новая дорожная карта архитектуры и план вернуть себе корону в производстве чипов в 2025 году» . Грань . Архивировано из оригинала 20 декабря 2021 года . Проверено 22 декабря 2021 г.
  7. ^ «Дорожные карты и основные этапы развития технологий Intel» . Интел . Архивировано из оригинала 16 июля 2022 года . Проверено 17 февраля 2022 г.
  8. ^ Катресс, доктор Ян. «Где мои GAA-FET? TSMC останется с FinFET на 3-нм техпроцессе» . АнандТех . Архивировано из оригинала 2 сентября 2020 года . Проверено 12 сентября 2020 г.
  9. ^ «TSMC прокладывает агрессивный курс на 3-нм литографию и не только – ExtremeTech» . Extremetech.com . Архивировано из оригинала 22 сентября 2020 года . Проверено 12 сентября 2020 г.
  10. ^ «Samsung на литейном мероприятии рассказывает о 3-нм разработках MBCFET» . Techxplore.com . Архивировано из оригинала 22 ноября 2021 года . Проверено 22 ноября 2021 г.
  11. ^ Патрик Мурхед (26 июля 2021 г.). «Intel обновляет стратегию IDM 2.0, добавляя новые технологии именования узлов, транзисторов и корпусов» . Форбс . Архивировано из оригинала 18 октября 2021 года . Проверено 18 октября 2021 г.
  12. ^ Перейти обратно: а б МЕЖДУНАРОДНАЯ ДОРОЖНАЯ КАРТА ДЛЯ УСТРОЙСТВ И СИСТЕМ: Мор Мур , IEEE, 2021, стр. 7, заархивировано из оригинала 7 августа 2022 года , получено 7 августа 2022 года.
  13. ^ «7-нм, 5-нм и 3-нм TSMC — это просто цифры… неважно, какое это число» « . Pcgamesn.co . 10 сентября 2019 года. Архивировано из оригинала 17 июня 2020 года . Проверено 20 апреля 2020 г.
  14. ^ Сэмюэл К. Мур (21 июля 2020 г.). «Лучший способ измерения прогресса в области полупроводников: пришло время выбросить старую метрику закона Мура» . IEEE-спектр . IEEE. Архивировано из оригинала 2 декабря 2020 года . Проверено 20 апреля 2021 г.
  15. ^ МЕЖДУНАРОДНАЯ ДОРОЖНАЯ КАРТА ДЛЯ УСТРОЙСТВ И СИСТЕМ: Мор Мур , IEEE, 2021, стр. 6, заархивировано из оригинала 7 августа 2022 года , получено 7 августа 2022 года , согласно которому «еще не существует консенсус по поводу именования узлов среди различных литейных предприятий и производителей интегрированных устройств (IDM)».
  16. ^ Джейсон Кросс (25 августа 2020 г.). «TSMC подробно описывает свои будущие 5-нм и 3-нм производственные процессы — вот что это значит для кремния Apple» . Макмир. Архивировано из оригинала 20 апреля 2021 года . Проверено 20 апреля 2021 г.
  17. ^ Антон Шилов (31 августа 2020 г.). «Будущее передовых чипов по версии TSMC: 5 нм, 4 нм, 3 нм и далее» . Techradar.com . Архивировано из оригинала 20 апреля 2021 года . Проверено 20 апреля 2021 г.
  18. ^ «Samsung начинает производство чипов по 3-нм техпроцессу с архитектурой GAA» . 30 июня 2022 года. Архивировано из оригинала 8 июля 2022 года . Проверено 8 июля 2022 г.
  19. ^ Чен, Фредерик (17 июля 2022 г.). «Ограничения заполнения и сопротивления зрачка EUV при длине волны 3 нм» . ЛинкедИн . Архивировано из оригинала 29 июля 2022 года.
  20. ^ Шверц, Франк; Вонг, эй; Лиу, Джун Дж. (2010). КМОП нанометр . Пан Стэнфорд Паблишинг. п. 17. ISBN  9789814241083 . Архивировано из оригинала 24 мая 2020 года . Проверено 11 октября 2019 г.
  21. ^ , К.; Очиаи, К.; Ямамото, Т.; Вакабаяши, Хитоши; Икезава, Нобуюки; Нарихиро -10-нм планарно-объемные КМОП-устройства с управлением боковым переходом . Международная конференция IEEE по электронным устройствам. 2003. стр. 20.7.1–20.7.3. doi : IEDM.2003.1269446 . 10.1109 /  0-7803-7872-5 . S2CID   2100267 .
  22. ^ «Тихая комната внизу (нанометровый транзистор, разработанный Ян-кю Чой из Корейского передового института науки и технологий)» , Nanoparticle News , 1 апреля 2006 г., заархивировано из оригинала 6 ноября 2012 г.
  23. ^ Ли, Хёнджин; Чой, Ян-Кю; Ю, Ли Ын; Рю, Сон-Ван; Хан, Джин Ву; Чон, К.; Джанг, Д.Ю.; Ким, Кук-Хван; Ли, Джу Хён; и др. (июнь 2006 г.). «Универсальный FinFET-транзистор суб-5 нм для максимального масштабирования». Симпозиум 2006 г. по технологии СБИС, 2006 г. Сборник технических статей . стр. 58–59. дои : 10.1109/VLSIT.2006.1705215 . hdl : 10203/698 . ISBN  978-1-4244-0005-8 . S2CID   26482358 .
  24. ^ Паттерсон, Алан (12 декабря 2016 г.), «TSMC планирует новую фабрику для 3-нм техпроцесса» , EE Times , дата обращения 22 июля 2023 г.
  25. ^ Паттерсон, Алан (2 октября 2017 г.), «TSMC стремится создать первую в мире 3-нм фабрику» , EE Times , дата обращения 22 июля 2023 г.
  26. ^ Зафар, Рамиш (15 мая 2019 г.). «TSMC начнет 2-нм исследования в Синьчжу, Тайвань, отчет о претензиях» . Wccftech.com . Архивировано из оригинала 7 ноября 2020 года . Проверено 6 декабря 2019 г.
  27. ^ «TSMC начнет производство на 5-нм техпроцессе во второй половине 2020 года, на 3-нанометровом техпроцессе — в 2022 году» . Techspot.com . 8 декабря 2019 года. Архивировано из оригинала 19 декабря 2019 года . Проверено 12 января 2020 г.
  28. ^ Армасу 2019-12-06T20:26:59Z, Люциан (6 декабря 2019 г.). «Отчет: TSMC начнет массовое производство по 3-нм техпроцессу в 2022 году» . Аппаратное обеспечение Тома . Архивировано из оригинала 15 сентября 2022 года . Проверено 19 декабря 2019 г. {{cite web}}: CS1 maint: числовые имена: список авторов ( ссылка )
  29. ^ «Завод TSMC по 3-нм техпроцессу начнет строительство — серийное производство начнется в 2023 году» . Gizchina.com . 25 октября 2019 года. Архивировано из оригинала 12 января 2020 года . Проверено 12 января 2020 г.
  30. ^ Фридман, Алан (27 октября 2019 г.). «TSMC начнет строительство мощностей по выпуску 3-нм чипов к 2023 году» . Телефонная арена . Архивировано из оригинала 12 января 2020 года . Проверено 12 января 2020 г.
  31. ^ «Imec и Cadence записали на пленку первый в отрасли 3-нм тестовый чип» . Каденс (Пресс-релиз). 28 февраля 2018 года . Проверено 18 апреля 2019 г.
  32. ^ «Samsung представляет 3-нм универсальные инструменты проектирования Gate — ExtremeTech» . ЭкстримТех . Проверено 22 июля 2023 г.
  33. ^ Армасу, Люсьен (11 января 2019 г.), «Samsung планирует массовое производство 3-нм чипов GAAFET в 2021 году» , Tom's Hardware , заархивировано из оригинала 6 декабря 2019 г. , получено 6 декабря 2019 г.
  34. ^ Samsung: 3-нм техпроцесс на год опережает TSMC по GAA и на три года опережает Intel , 6 августа 2019 г., заархивировано из оригинала 15 сентября 2022 г. , получено 18 апреля 2019 г.
  35. ^ Армасу, Люсьен (25 мая 2017 г.), «Samsung раскрывает 4-нм техпроцесс, полную дорожную карту литейного производства» , Tom's Hardware , заархивировано из оригинала 15 сентября 2022 г. , получено 18 апреля 2019 г.
  36. ^ Катресс, Ян. «Samsung анонсирует 3-нм GAA MBCFET PDK, версию 0.1» . АнандТех . Архивировано из оригинала 14 октября 2019 года . Проверено 19 декабря 2019 г.
  37. ^ Катресс, доктор Ян. «Производственная карта Intel на 2019–2029 годы: обратное портирование, 7, 5, 3, 2 и 1,4 нм» . АнандТех . Архивировано из оригинала 12 января 2021 года . Проверено 11 декабря 2019 г.
  38. ^ Броехуйсен 2020-01-03T16:28:57Z, Нильс (3 января 2020 г.). «Samsung создает первый в мире 3-нм полупроводник GAAFET» . Аппаратное обеспечение Тома . Архивировано из оригинала 15 сентября 2022 года . Проверено 10 февраля 2020 г. {{cite web}}: CS1 maint: числовые имена: список авторов ( ссылка )
  39. ^ Шилов, Антон. «TSMC: прогресс в разработке 3-нм EUV идет успешно, первые клиенты вовлечены» . АнандТех . Архивировано из оригинала 3 сентября 2020 года . Проверено 12 сентября 2020 г.
  40. ^ «Обновление дорожной карты TSMC: N3E в 2024 году, N2 в 2026 году, грядут серьезные изменения» . АнандТех . 22 апреля 2022 года. Архивировано из оригинала 9 мая 2022 года . Проверено 12 мая 2022 г.
  41. ^ Перейти обратно: а б с «Инновации Samsung Foundry создают будущее больших данных, искусственного интеллекта и машинного обучения и интеллектуальных подключенных устройств» (пресс-релиз). Samsung. 7 октября 2021 года. Архивировано из оригинала 8 апреля 2022 года . Проверено 23 марта 2022 г.
  42. ^ «Обзор технологического симпозиума TSMC» . Поливики . 22 июня 2022 г.
  43. ^ «TSMC готовит пять 3-нм техпроцесса и добавляет FinFlex для гибкости конструкции» . АнандТех . 16 июня 2022 г.
  44. ^ Перейти обратно: а б «N3E заменяет N3; поставляется во многих вариантах» . WikiChip Предохранитель . 4 сентября 2022 г.
  45. ^ «Samsung начинает 3-нм производство: начинается эра универсальных технологий (GAAFET)» . АнандТех . 30 июня 2022 года. Архивировано из оригинала 7 июля 2022 года . Проверено 7 июля 2022 г.
  46. ^ «Samsung Electronics начинает «пробное производство» литейного производства 3-нано... Первый заказчик — китайская компания ASIC» . Элек . 28 июня 2022 года. Архивировано из оригинала 28 июля 2022 года . Проверено 28 июля 2022 г.
  47. ^ «На этой неделе Samsung запустит пробное производство по 3-нм техпроцессу для производства чипов для майнинга биткойнов» . СамМобайл . 28 июня 2022 года. Архивировано из оригинала 27 июля 2022 года . Проверено 27 июля 2022 г.
  48. ^ «Samsung выпускает свой первый набор 3-нм чипов, что знаменует собой важную веху» . СамМобайл . 25 июля 2022 года. Архивировано из оригинала 27 июля 2022 года . Проверено 27 июля 2022 г.
  49. ^ «Samsung празднует первую партию 3-нм чипов Gate-All-Around» . www.gsmarena.com . 25 июля 2022 года. Архивировано из оригинала 26 июля 2022 года . Проверено 26 июля 2022 г.
  50. ^ «Samsung Electronics провела церемонию отгрузки трех серийного производства Nano Foundry» (пресс-релиз). Samsung. 25 июля 2022 г.
  51. ^ Перейти обратно: а б с «Samsung проводит церемонию, посвященную первой поставке самых передовых 3-нм чипов» . Информационное агентство Йонхап . 25 июля 2022 года. Архивировано из оригинала 28 июля 2022 года . Проверено 28 июля 2022 г.
  52. ^ Перейти обратно: а б «Samsung начинает производство чипов по 3-нм техпроцессу с архитектурой GAA» . БизнесВайр . 29 июня 2022 года. Архивировано из оригинала 28 июля 2022 года . Проверено 28 июля 2022 г.
  53. ^ «Samsung начинает поставки первых в мире 3-нм чипов» . Корейский вестник . 25 июля 2022 года. Архивировано из оригинала 27 июля 2022 года . Проверено 27 июля 2022 г.
  54. ^ «3-нм путь TSMC: медленный рост, огромные инвестиции, большое будущее» . АнандТех . 17 января 2023 г.
  55. ^ Патель, Дилан (21 декабря 2022 г.). «3-нм загадка TSMC, имеет ли она вообще смысл? – Подробное описание технологии и стоимости N3 и N3E» . Полуанализ .
  56. ^ Патель, Дилан (2 февраля 2023 г.). «Обзор IEDM 2022» . Полуанализ .
  57. ^ Перейти обратно: а б с д и Джонс, Скоттен (1 февраля 2023 г.). «IEDM 2022 – TSMC 3 нм» . Поливики .
  58. ^ Шор, Дэвид (14 декабря 2022 г.). «IEDM 2022: мы только что стали свидетелями смерти SRAM?» . WikiChip Предохранитель .
  59. ^ Джеймс, Дик. «TSMC раскрывает подробности 3-нм процесса» . ТехИнсайтс . Проверено 16 февраля 2023 г.
  60. ^ Перейти обратно: а б с «TSMC подробно описывает 3-нм эволюцию: N3E по расписанию, N3P и N3X обеспечат прирост производительности на 5%» . АнандТех . 26 апреля 2023 г.
  61. ^ «TechInsights: 3-нм процесс GAA от Samsung обнаружен в ASIC для майнинга криптовалют, разработанном китайским стартапом MicroBT» . ЦИФРЫ . 18 июля 2023 г. Проверено 21 июля 2023 г.
  62. ^ Неовин ·, Омер Дурсун (7 сентября 2023 г.). «MediaTek разрабатывает свой первый 3-нм чип с использованием процесса TSMC, который появится в 2024 году» . Неовин . Проверено 7 сентября 2023 г.
  63. ^ «Айфон 15 Про и iPhone 15 Про Макс» . Яблоко . Проверено 12 сентября 2023 г.
  64. ^ «Apple представляет M3, M3 Pro и M3 Max, самые совершенные чипы для персонального компьютера» . Отдел новостей Apple . Проверено 14 ноября 2023 г.
  65. ^ «Сможет ли TSMC сохранить лидерство в области технологических процессов» . Поливики . 29 апреля 2020 года. Архивировано из оригинала 13 мая 2022 года . Проверено 14 мая 2022 г.
  66. ^ Перейти обратно: а б «Samsung 3-нм GAAFET приступает к рисковому производству; обсуждает улучшения следующего поколения» . WikiChip Предохранитель . 5 июля 2022 г.
  67. ^ «Samsung Foundry обещает превзойти TSMC в течение пяти лет» . АнандТех .
  68. ^ Перейти обратно: а б с «ТСМС 3нм» . www.tsmc.com . 15 апреля 2022 года. Архивировано из оригинала 20 апреля 2022 года . Проверено 15 апреля 2022 г.
  69. ^ Перейти обратно: а б «Процессор Samsung Exynos W1000: погружение в 3-нм универсальный процесс» . 18 июля 2024 г.
  70. ^ Перейти обратно: а б «TSMC N3 и предстоящие задачи» . 27 мая 2023 г.
  71. ^ «TSMC подробно описывает 3-нм эволюцию: N3E по расписанию, N3P и N3X обеспечат прирост производительности на 5%» . 26 апреля 2023 г.
  72. ^ «3-нм техпроцесс Samsung 2-го поколения, SF3, запущен в пробное производство» . 21 января 2024 г.
  73. ^ «Объявление о прибылях TSMC за 2 квартал 2022 года» (PDF) . ТСМС . 14 июля 2022 года. Архивировано (PDF) из оригинала 15 июля 2022 года . Проверено 22 июля 2022 г.
  74. ^ «IFS возрождается как Intel Foundry: расширенный литейный бизнес добавляет процесс 14A в дорожную карту» .
  75. ^ Катресс, доктор Ян (17 февраля 2022 г.). «Intel раскрывает план действий по масштабированию Xeon нескольких поколений: новые Xeon только с E-Core в 2024 году» . АнандТех . Архивировано из оригинала 15 марта 2022 года . Проверено 23 марта 2022 г.

Дальнейшее чтение

[ редактировать ]
  • Лапедус, Марк (21 июня 2018 г.), «Большая проблема на 3 нм» , semiengineering.com
  • Пэ, Кымджон; Бэ, Д.-И.; Канг, М.; Хван, С.М.; Ким, СС; Со, Б.; Квон, Тайвань; Ли, Ти Джей; Мун, К.; Чой, Ю.М.; Оикава, К.; Масуока, С.; Чун, Кентукки; Парк, Ш.; Шин, HJ; Ким, Джей Си; Бхувалка, КК; Ким, Д.Х.; Ким, WJ; Йо, Дж.; Чон, HY; Ян, М.С.; Чунг, С.-Дж.; Ким, Д.; Хэм, Британская Колумбия; Парк, Кей Джей; Ким, WD; Парк, Ш.; Песня, Г.; и др. (декабрь 2018 г.). 3-нм технология GAA с многоканальным полевым транзистором для маломощных и высокопроизводительных приложений . Международная конференция IEEE по электронным устройствам (IEDM) 2018 г. стр. 28.7.1–28.7.4. дои : 10.1109/IEDM.2018.8614629 . ISBN  978-1-7281-1987-8 . S2CID   58673284 .
[ редактировать ]
Предшественник
5 нм ( FinFET ) 		MOSFET изготовления полупроводниковых устройств Процесс Преемник
2 нм ( КОРОТКИЙ )
Retrieved from "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=3_nm_process&oldid=1242578065"
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: 00608777cc1fe2c6c8fe3df5168fc3f9__1724761260
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/00/f9/00608777cc1fe2c6c8fe3df5168fc3f9.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
3 nm process - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)