Пузырьковый цилиндр

Барботерный цилиндр является компонентом установки для химического осаждения металлоорганических соединений из паровой фазы (MOCVD). Это устройства, которые используются для транспортировки металлорганических соединений электронного качества из жидкого или твердого предшественника в пригодный для использования пар .

Аппарат

Контейнер барботеров по конструкции аналогичен баллону для промывки газов и используется для защищенного хранения металлоорганических соединений, исключающего доступ воздуха ( кислорода , влаги ). Барботер имеет подводящую трубку и трубку для отбора проб. Впускная трубка заканчивается непосредственно перед нижней частью трубки. В эту трубку подается инертный газ, который барботируется через жидкий химикат; твердое химическое вещество возвысится . Смесь контролируемого инертного газа и испаренного химиката покидает цилиндр в следующий реакционный сосуд. Температура контролируется термостатом, благодаря чему может быть достигнуто определенное постоянное давление пара. Подача зачастую дорогостоящего и чувствительного химиката контролируется регулируемым потоком инертного газа и температурой барботера, что приводит к заданному давлению паров химиката.

Трубка между барботером и реактором должна иметь более высокую температуру, чем пузырь, иначе прекурсор будет конденсироваться в трубке и, следовательно, неконтролируемые капли будут попадать в реакционный сосуд. Если это произойдет с твердым прекурсором, это может привести к закупориванию линии.

Приложение

Например, при производстве светодиодов или высокой яркости галлий другие элементы III-V группы эпитаксиально осаждаются на подложку монокристаллического кремния . Галлий вводится в камеру реактора МОС-гидридной эпитаксии в виде пара. Этот пар генерируется путем барботирования инертного газа-носителя (например, азота или аргона ) через цилиндр с погружной трубкой через металлорганический предшественник, такой как триметилгаллий . Инертный газ-носитель и пары металлорганических соединений затем вводятся в камеру реактора MOVPE (или MOCVD) при производстве светодиодов высокой яркости.

Внешние ссылки

Эта статья, посвященная электронике, незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее .