Питер Трефонас

Внешние видео
Внешние видео
	«Питер Трефонас: химия играет ключевую роль в процессе литографии» , Микро/Нано Литография, SPIE
	«Dow Chemical - Органические нижние антиотражающие покрытия Dow AR Fast Etch» , ACS

Питер Трефонас
Питер Трефонас
Рожденный	1958 (65–66 лет) ; Миннеаполис , Миннесота , США
Национальность	Американский
Альма-матер	Университет Нового Орлеана , Университет Висконсин-Мэдисон
Награды	АСУ Герои химии 2014 , Медаль Перкина 2016
	Научная карьера
Поля	Литография
Учреждения	Дау Кемикал
Докторантура	Роберт Уэст

Питер Трефонас (1958 г.р.) — бывший научный сотрудник DuPont (старший научный сотрудник) компании DuPont , где он работал над разработкой электронных материалов . Он известен инновациями в химии фотолитографии , в частности разработкой антибликовых покрытий и полимерных фоторезистов , которые используются для создания схем компьютерных чипов. Эта работа способствовала созданию рисунка на более мелких элементах во время литографического процесса, увеличивая миниатюризацию и скорость микропроцессора. ^{[ 1 ]}^{[ 2 ]}

Образование

Питер Трефонас - сын Луи Марко Трефонаса, также химика, и Гейл Темз. ^{[ 3 ]} Он был вдохновлен «Звездным путем» и произведениями Айзека Азимова и создал дома собственную химическую лабораторию. ^{[ 1 ]} Трефонас учился в Университете Нового Орлеана , получив степень бакалавра наук по химии в 1980 году. ^{[ 4 ]}

Будучи студентом, Трефонас зарабатывал деньги, создавая видеоигры для первых персональных компьютеров . В их число входили Worm , клон аркадной видеоигры Blockade 1976 года , и клон аркадной игры Hustle (1977), которая сама была основана на Blockcade . Worm была первой из многих игр в жанре видеоигр о змеях для домашних компьютеров. ^{[ 5 ]}^{[ 6 ]} Трефонас также написал игру по мотивам Dungeons & Dragons . ^{[ 7 ]}

Трефонас учился в Университете Висконсин-Мэдисон у Роберта Уэста . ^{[ 4 ]} получение докторской степени. по неорганической химии в конце 1984 г. ^{[ 1 ]} Трефонас заинтересовался электронными материалами после работы с Уэстом и производителями микросхем из IBM над созданием кремнийорганических двухслойных фоторезистов. ^{[ 1 ]} Темой его дипломной работы был «Синтез, свойства и химия органосилановых и германорганических высоких полимеров» (1985). ^{[ 8 ]}

Карьера

Трефонас присоединился к MEMC Electronic Materials в конце 1984 года. В 1986 году он и другие стали соучредителями Aspect Systems Inc., используя технологию фотолитографии, приобретенную у MEMC. ^{[ 1 ]} Трефонас работал в «Аспекте» с 1986 по 1989 год. Затем, в результате череды приобретений компаний, он перешел в Shipley Company (1990–2000), Rohm and Haas (1997–2008), в The Dow Chemical Company (2008–2019) и, наконец, в DuPont (с 2019 по настоящее время). ^{[ 9 ]}^{[ 10 ]}^{[ 11 ]}^{[ 1 ]}

Трефонас опубликовал не менее 132 журнальных статей и технических публикаций. Он получил 107 американских патентов и ожидает рассмотрения более 15 активных патентных заявок. ^{[ 12 ]}^{[ 13 ]}

Исследовать

На протяжении всей своей карьеры Трефонас занимался материаловедением и химией фотолитографии . Понимая химию фоторезистов, используемых в литографии, он смог разработать антибликовые покрытия и полимерные фоторезисты, которые поддерживают точно настроенное травление, используемое при производстве интегральных схем . Эти материалы и методы позволяют разместить больше схем на заданной площади. ^{[ 13 ]}^{[ 2 ]} Со временем литографические технологии были разработаны, чтобы позволить литографии использовать меньшие длины волн света. Компания Trefonas помогла преодолеть ряд очевидных ограничений достижимых размеров, разработав фоторезисты, чувствительные к ультрафиолетовому свету с длиной волны 436 и 365 нм и толщиной всего 193 нм. ^{[ 14 ]}^{[ 15 ]}

В 1989 году Трефонас и другие сотрудники Aspect Systems Inc. сообщили об обширных исследованиях полифункциональных светочувствительных групп в позитивных фоторезистах. Они изучили диазонафтохинон (ДНХ), химическое соединение, используемое для ингибирования растворения новолачной смолы при создании фотомасок. Они математически смоделировали эффекты, предсказали возможные варианты оптимизации и экспериментально подтвердили свои предсказания. Они обнаружили, что химическое соединение трех молекул DNQ для создания новой молекулы, содержащей три ингибитора растворения в одной молекуле, привело к лучшему контрасту характеристик, лучшему разрешению и миниатюризации. ^{[ 16 ]} Эти модифицированные DNQ стали известны как «полифункциональные фотоактивные компоненты» (PAC). Этот подход, который они назвали полифотолизом, ^{[ 17 ]}^{[ 18 ]} ^{[ 19 ]} также называют «эффектом Трефонаса». ^{[ 14 ]}^{[ 20 ]} Технология трифункциональных диазонафтохиноновых PAC стала отраслевым стандартом в производстве позитивных фоторезистов. ^{[ 20 ]} Их механизм был выяснен и связан с совместным поведением каждой из трех единиц DNQ в новой молекуле трехфункционального ингибитора растворения. Фенольные струны из акцепторных групп PAC, оторванные от своих якорей, могут вновь соединиться с живыми струнами, заменяя две более короткие поляризованные струны одной более длинной поляризованной струной. ^{[ 21 ]}

Компания Trefonas также является лидером в разработке органического нижнего антибликового покрытия быстрого травления (BARC). ^{[ 22 ]} Технология BARC минимизирует отражение света от подложки при визуализации фоторезиста. Свет, который используется для формирования скрытого изображения на пленке фоторезиста, может отражаться от подложки и ухудшать контрастность элементов и форму профиля. Контроль помех от отраженного света приводит к формированию более четкого рисунка с меньшей изменчивостью и большим окном процесса. ^{[ 23 ]}

В 2014 году Трефонас и другие сотрудники Dow были названы Героями химии Американским химическим обществом за разработку органических нижних антиотражающих покрытий Fast Etch (BARC). ^{[ 22 ]} SCI В 2016 году Трефонас был награжден медалью Перкина за выдающийся вклад в промышленную химию. В 2018 году Трефонас был удостоен звания члена SPIE за «достижения в области промышленного дизайна и компактного моделирования». Питер Трефонас был избран членом Национальной инженерной академии в 2018 году за «изобретение фоторезистивных материалов и методов микролитографии, лежащих в основе нескольких поколений микроэлектроники». Компания DuPont в 2019 году наградила Trefonas высшим признанием, медалью Лавуазье , за «коммерциализацию электронных химикатов, которые позволили клиентам производить интегральные схемы с более высокой плотностью и более высокими скоростями».

Награды и почести

2021, Премия ACS Carothers
2019, Медаль Лавуазье компании DuPont.
2018 г. избран членом Национальной инженерной академии. ^{[ 24 ]}
2018 г. — звание члена SPIE . ^{[ 25 ]}
2016, Медаль Перкина от Общества химической промышленности. ^{[ 13 ]}^{[ 4 ]}
2014 г., ACS Heroes of Chemistry от Американского химического общества (один из тринадцати ученых из Dow Chemical Company, которому приписывают разработку органических нижних антиотражающих покрытий Dow AR Fast Etch) ^{[ 22 ]}
2013, Премия SPIE C. Гранта Уилсона за лучшую работу в области материалов и процессов для создания узоров ^{[ 12 ]} совместно с исследователями из Доу и Техасского университета A&M, ^{[ 26 ]} от SPIE за статью «Литография с высоким разрешением и высокой пропускной способностью снизу вверх / сверху вниз с использованием вертикально собранных полимерных блоков-кистей». ^{[ 27 ]}

Ссылки

^ Jump up to: ^а ^б ^с ^д ^и ^ж Райш, Марк С. (12 сентября 2016 г.). «C&EN беседует с Питером Трефонасом, новатором в области фотолитографии» . Новости химии и техники . 94 (36): 27–28. Примечание. Исправление, опубликованное в октябре: «Сентябрь. 12, стр. 27: Очерк, рассказывающий о том, как Питер Трефонас из Dow Chemical неправильно определил, когда Dow приобрела компанию Rohm and Haas. Приобретение произошло в 2009, а не в 2001 году».
^ Jump up to: ^а ^б «Медаль Перкина» . СКИ . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ «Доктор Луи Марко Трефонас» . Орландо Сентинел . Проверено 20 апреля 2017 г.
^ Jump up to: ^а ^б ^с «Медаль Перкина SCI» . Институт истории науки . 31 мая 2016 г. Проверено 24 марта 2018 г.
^ Джерард Гоггин (2010), Global Mobile Media , Тейлор и Фрэнсис , стр. 101, ISBN 978-0-415-46917-3 , получено 7 апреля 2011 г.
^ «Ретро-уголок: 'Змея' » . Цифровой шпион . 09.04.2011 . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ «Журнал КЛОАД» (PDF) . Гаметроник . Май 1980 года.
^ Трефонас, Питер (1985). Синтез, свойства и химия органосилановых и германорганических высокомолекулярных полимеров . [издатель не указан] . Проверено 11 апреля 2017 г.
^ «Выпускники: Питер Трефонас» . Университет Нового Орлеана . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ Роча, Юан; Дейли, Мэтт (10 июля 2008 г.). «Dow Chemical купит Rohm and Haas за $15,3 млрд» . Рейтер . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ Кампой, Ана (2 апреля 2009 г.). «Dow Chemical закрывает сделку с Rohm & Haas» . Уолл Стрит Джорнал . Проверено 20 апреля 2017 г.
^ Jump up to: ^а ^б SPIE (22 августа 2016 г.). «Питер Трефонас: Химия играет ключевую роль в процессе литографии» . Отдел новостей SPIE . дои : 10.1117/2.201608.02 .
^ Jump up to: ^а ^б ^с «SCI вручает медаль Перкина Питеру Трефонасу из Dow сотрудникам химического производства» . Химическая обработка . 10 мая 2016 г. Проверено 12 апреля 2017 г.
^ Jump up to: ^а ^б «Питер Трефонас, обладатель медали Перкина 2016 г., заслуги в области химии за вклад в информационную эпоху» . Электронные материалы DOW . Проверено 26 сентября 2016 г.
^ Трефонас III, Петр; Кузнец, Роберт Ф.; Шманда, Чарльз Р.; Кавана, Роберт Дж.; Адамс, Тимоти Г. (11 июня 1999 г.). «Органические просветляющие покрытия для литографии 193 нм». Учеб. SPIE 3678, Достижения в области технологии и обработки резистов . Достижения в области технологии и обработки резистов XVI. XVI (702): 702. Бибкод : 1999SPIE.3678..702T . дои : 10.1117/12.350257 . S2CID 138376696 .
^ US 5128230 A , Майкл К. Темплтон; Энтони Зампини и Питер Трефонас III и др., «Хинондиазидсодержащая фоторезистивная композиция с использованием смешанного растворителя из этиллактата, анизола и амилацетата», опубликовано 7 июля 1992 г., передано Shipley Company Inc.
^ Леви, РА (1989). Микроэлектронные материалы и процессы: [Труды Института перспективных исследований НАТО по микроэлектронным материалам и процессам, Иль Чокко, Кастельвеккьо Пасколи, Италия, 30 июня-11 июля 1986 г.] . Дордрехт: Клювер Академик. стр. 333–334. ISBN 9780792301479 . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ Сузуки, Кадзуаки; Смит, Брюс В. (2007). Микролитография наука и техника (2-е изд.). Бока-Ратон: CRC Press. п. 130. ИСБН 9780824790240 . Проверено 13 апреля 2017 г. .
^ Трефонас III, П.; Дэниелс, Б.К. (25 августа 1987 г.). «Новый принцип улучшения изображения в однослойных позитивных фоторезистах» . SPIE Прогресс в технологии и обработке резистов . IV (771): 194–210. Бибкод : 1987SPIE..771..194T . дои : 10.1117/12.940326 . S2CID 96668019 .
^ Jump up to: ^а ^б Хан, Ю-Кай; Ян, Чжэнлинь; Райзер, Арност (декабрь 1999 г.). «Механизм эффекта трефона (полифотолиза) в резистах новолака-диазонафтохинона». Макромолекулы . 32 (25): 8421–8426. Бибкод : 1999МаМол..32.8421H . дои : 10.1021/ma990686j .
^ Хан, Ю-Кай; Райзер, Арност (11 июня 1999 г.). «Механизм эффекта Трефонаса (Полифотолиза) в резистах ингибирования растворения» . В Конли, Уилл (ред.). Достижения в области технологии и обработки резистов XVI . Том. 3678. с. 360. Бибкод : 1999SPIE.3678..360H . дои : 10.1117/12.350219 . S2CID 95748950 . Проверено 30 мая 2017 г. {{cite book}}: |journal= игнорируется ( помогите )
^ Jump up to: ^а ^б ^с «Герои химии 2014» . ACS Химия для жизни . Проверено 12 апреля 2017 г.
^ Кэмерон, Джим (18 ноября 2015 г.). «Университет Лито: Технология DBARC 101» . Электронные материалы Dow . Проверено 30 мая 2017 г.
^ «Национальная инженерная академия избирает 83 члена и 16 иностранных членов» . Сайт НАЭ . Проверено 17 февраля 2018 г.
^ «Стипендиаты SPIE 2017» . сайт шпиона . Проверено 17 февраля 2018 г.
^ «Компания Dow Electronic Materials и Техасский университет A&M выиграли премию Уилсона SPIE в 2013 году за лучшую техническую статью» . Новости электронных материалов Dow . Проверено 20 марта 2014 г.
^ Трефонас, Питер; Теккерей, Джеймс В.; Сунь, Гуорун; Чо, Санго; Кларк, Корри; Верхотуров Станислав Васильевич; Эллер, Майкл Дж.; Ли, Анг; Павиа-Сандерс, Адриана; Швейкерт, Эмиль А.; Вули, Карен Л. (16 декабря 2013 г.). «Литография снизу вверх/сверху вниз с высоким разрешением и высокой пропускной способностью с использованием вертикально собранных полимерных кистей для бутылочных блоков» . Журнал микро/нанолитографии, MEMS и MOEMS . 12 (4): 043006. Бибкод : 2013JMM&M..12d3006T . дои : 10.1117/1.JMM.12.4.043006 . S2CID 123535313 . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Reisch-1] Jump up to: ^а ^б ^с ^д ^и ^ж Райш, Марк С. (12 сентября 2016 г.). «C&EN беседует с Питером Трефонасом, новатором в области фотолитографии» . Новости химии и техники . 94 (36): 27–28. Примечание. Исправление, опубликованное в октябре: «Сентябрь. 12, стр. 27: Очерк, рассказывающий о том, как Питер Трефонас из Dow Chemical неправильно определил, когда Dow приобрела компанию Rohm and Haas. Приобретение произошло в 2009, а не в 2001 году».

[SCI-2] Jump up to: ^а ^б «Медаль Перкина» . СКИ . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Sentinel-3] «Доктор Луи Марко Трефонас» . Орландо Сентинел . Проверено 20 апреля 2017 г.

[Perkin-4] Jump up to: ^а ^б ^с «Медаль Перкина SCI» . Институт истории науки . 31 мая 2016 г. Проверено 24 марта 2018 г.

[Goggin-5] Джерард Гоггин (2010), Global Mobile Media , Тейлор и Фрэнсис , стр. 101, ISBN 978-0-415-46917-3 , получено 7 апреля 2011 г.

[6] «Ретро-уголок: 'Змея' » . Цифровой шпион . 09.04.2011 . Проверено 12 апреля 2017 г.

[7] «Журнал КЛОАД» (PDF) . Гаметроник . Май 1980 года.

[Madison-8] Трефонас, Питер (1985). Синтез, свойства и химия органосилановых и германорганических высокомолекулярных полимеров . [издатель не указан] . Проверено 11 апреля 2017 г.

[Alumni-9] «Выпускники: Питер Трефонас» . Университет Нового Орлеана . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Rocha-10] Роча, Юан; Дейли, Мэтт (10 июля 2008 г.). «Dow Chemical купит Rohm and Haas за $15,3 млрд» . Рейтер . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Campoy-11] Кампой, Ана (2 апреля 2009 г.). «Dow Chemical закрывает сделку с Rohm & Haas» . Уолл Стрит Джорнал . Проверено 20 апреля 2017 г.

[SPIE-12] Jump up to: ^а ^б SPIE (22 августа 2016 г.). «Питер Трефонас: Химия играет ключевую роль в процессе литографии» . Отдел новостей SPIE . дои : 10.1117/2.201608.02 .

[CP-13] Jump up to: ^а ^б ^с «SCI вручает медаль Перкина Питеру Трефонасу из Dow сотрудникам химического производства» . Химическая обработка . 10 мая 2016 г. Проверено 12 апреля 2017 г.

[Effect-14] Jump up to: ^а ^б «Питер Трефонас, обладатель медали Перкина 2016 г., заслуги в области химии за вклад в информационную эпоху» . Электронные материалы DOW . Проверено 26 сентября 2016 г.

[Blacksmith-15] Трефонас III, Петр; Кузнец, Роберт Ф.; Шманда, Чарльз Р.; Кавана, Роберт Дж.; Адамс, Тимоти Г. (11 июня 1999 г.). «Органические просветляющие покрытия для литографии 193 нм». Учеб. SPIE 3678, Достижения в области технологии и обработки резистов . Достижения в области технологии и обработки резистов XVI. XVI (702): 702. Бибкод : 1999SPIE.3678..702T . дои : 10.1117/12.350257 . S2CID 138376696 .

[US5128230A-16] US 5128230 A , Майкл К. Темплтон; Энтони Зампини и Питер Трефонас III и др., «Хинондиазидсодержащая фоторезистивная композиция с использованием смешанного растворителя из этиллактата, анизола и амилацетата», опубликовано 7 июля 1992 г., передано Shipley Company Inc.

[Levy-17] Леви, РА (1989). Микроэлектронные материалы и процессы: [Труды Института перспективных исследований НАТО по микроэлектронным материалам и процессам, Иль Чокко, Кастельвеккьо Пасколи, Италия, 30 июня-11 июля 1986 г.] . Дордрехт: Клювер Академик. стр. 333–334. ISBN 9780792301479 . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Suzuki-18] Сузуки, Кадзуаки; Смит, Брюс В. (2007). Микролитография наука и техника (2-е изд.). Бока-Ратон: CRC Press. п. 130. ИСБН 9780824790240 . Проверено 13 апреля 2017 г. .

[Daniels-19] Трефонас III, П.; Дэниелс, Б.К. (25 августа 1987 г.). «Новый принцип улучшения изображения в однослойных позитивных фоторезистах» . SPIE Прогресс в технологии и обработке резистов . IV (771): 194–210. Бибкод : 1987SPIE..771..194T . дои : 10.1117/12.940326 . S2CID 96668019 .

[Han-20] Jump up to: ^а ^б Хан, Ю-Кай; Ян, Чжэнлинь; Райзер, Арност (декабрь 1999 г.). «Механизм эффекта трефона (полифотолиза) в резистах новолака-диазонафтохинона». Макромолекулы . 32 (25): 8421–8426. Бибкод : 1999МаМол..32.8421H . дои : 10.1021/ma990686j .

[Reiser-21] Хан, Ю-Кай; Райзер, Арност (11 июня 1999 г.). «Механизм эффекта Трефонаса (Полифотолиза) в резистах ингибирования растворения» . В Конли, Уилл (ред.). Достижения в области технологии и обработки резистов XVI . Том. 3678. с. 360. Бибкод : 1999SPIE.3678..360H . дои : 10.1117/12.350219 . S2CID 95748950 . Проверено 30 мая 2017 г. {{cite book}}: |journal= игнорируется ( помогите )

[Heroes-22] Jump up to: ^а ^б ^с «Герои химии 2014» . ACS Химия для жизни . Проверено 12 апреля 2017 г.

[Cameron-23] Кэмерон, Джим (18 ноября 2015 г.). «Университет Лито: Технология DBARC 101» . Электронные материалы Dow . Проверено 30 мая 2017 г.

[24] «Национальная инженерная академия избирает 83 члена и 16 иностранных членов» . Сайт НАЭ . Проверено 17 февраля 2018 г.

[25] «Стипендиаты SPIE 2017» . сайт шпиона . Проверено 17 февраля 2018 г.

[Joint-26] «Компания Dow Electronic Materials и Техасский университет A&M выиграли премию Уилсона SPIE в 2013 году за лучшую техническую статью» . Новости электронных материалов Dow . Проверено 20 марта 2014 г.

[Bottom-27] Трефонас, Питер; Теккерей, Джеймс В.; Сунь, Гуорун; Чо, Санго; Кларк, Корри; Верхотуров Станислав Васильевич; Эллер, Майкл Дж.; Ли, Анг; Павиа-Сандерс, Адриана; Швейкерт, Эмиль А.; Вули, Карен Л. (16 декабря 2013 г.). «Литография снизу вверх/сверху вниз с высоким разрешением и высокой пропускной способностью с использованием вертикально собранных полимерных кистей для бутылочных блоков» . Журнал микро/нанолитографии, MEMS и MOEMS . 12 (4): 043006. Бибкод : 2013JMM&M..12d3006T . дои : 10.1117/1.JMM.12.4.043006 . S2CID 123535313 . Проверено 12 апреля 2017 г.

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]

[ 4 ]

[ 5 ]

[ 6 ]

[ 7 ]

[ 8 ]

[ 9 ]

[ 10 ]

[ 11 ]

[ 12 ]

[ 13 ]

[ 14 ]

[ 15 ]

[ 16 ]

[ 17 ]

[ 18 ]

[ 19 ]

[ 20 ]

[ 21 ]

[ 22 ]

[ 23 ]

[ 24 ]

[ 25 ]

[ 26 ]

[ 27 ]