Диазонафтохинон
| |
| Имена | |
|---|---|
| Предпочтительное название ИЮПАК
2-Диазонафталин-1(2H ) -он | |
| Другие имена
1,2-Нафтохинон диазид
| |
| Идентификаторы | |
3D model ( JSmol )
|
|
| ХимическийПаук | |
ПабХим CID
|
|
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|
| Характеристики | |
| С 10 Н 6 Н 2 О | |
| Молярная масса | 170.171 g·mol −1 |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа).
| |
Диазонафтохинон (ДНХ) представляет диазопроизводное нафтохинона . собой Под воздействием света ДНХ превращается в производное, подверженное травлению. Таким образом, DNQ стал важным реагентом в технологии фоторезиста в полупроводниковой промышленности. [1]
Эфиры диазонафтохинонсульфоновой кислоты являются компонентами обычных фоторезистивных материалов. Такие фоторезисты используются при производстве полупроводников. [2] [3] [4] В этом случае DNQ смешиваются с новолачной смолой, типом фенольного полимера . DNQ действует как ингибитор растворения. В процессе маскировки/рисунка части пленки фоторезиста подвергаются воздействию света, а другие остаются неэкспонированными. В неэкспонированных участках пленки резиста ДНХ действует как ингибитор растворения, и резист остается нерастворимым в водном проявителе. В открытых областях ДНХ образует кетен, который, в свою очередь, реагирует с окружающей водой с образованием растворимой в основаниях инденкарбоновой кислоты. Экспонированные участки пленки фоторезиста становятся растворимыми в водной основе; тем самым позволяя формировать рельефное изображение во время проявления.
Химические реакции
[ редактировать ]При фотолизе DNQ подвергается перегруппировке Вольфа с образованием кетена. Кетен присоединяет воду с образованием инден -карбоновой кислоты. [5]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Даммел, Ральф (1993). Резисты на основе диазонафтохинона . Межд. Соц. Оптическая инженерия. ISBN 9780819410191 .
- ^ Хинсберг, штат Вашингтон; Вальраф, генеральный директор (2005). «Литографические резисты». Энциклопедия химической технологии Кирка-Отмера . Нью-Йорк: Джон Уайли. дои : 10.1002/0471238961.1209200808091419.a01.pub2 . ISBN 9780471238966 .
- ^ Интегрированные лабораторные системы (январь 2006 г.). Документ обзора химической информации о производных диазонафтохинона, используемых в фоторезистах (PDF) (отчет). Национальная программа токсикологии.
- ^ Хендерсон, Клиффорд Л. «Интегральные схемы: краткая история» . Технологическая школа химической и биомолекулярной инженерии Джорджии.
- ^ Северная Каролина де Лукас; Х. К. Нетто-Феррейра; Дж. Андраос; Дж. К. Скайано (2001). «Нуклеофильность по отношению к кетенам: константы скорости добавления аминов к арилкетенам в растворе ацетонитрила». Дж. Орг. Хим . 66 (5): 5016–5021. дои : 10.1021/jo005752q . ПМИД 11463250 . S2CID 12123114 .