Jump to content

Изготовление пластин

Упрощенная иллюстрация процесса изготовления КМОП-инвертора на подложке p-типа в полупроводниковом микропроизводстве. Каждый шаг травления подробно описан на следующем изображении. Примечание. Контакты затвора, истока и стока в реальных устройствах обычно не находятся в одной плоскости, и схема не в масштабе.

Изготовление пластин — это процедура, состоящая из множества повторяющихся последовательных процессов для создания полных электрических или фотонных схем на полупроводниковых пластинах в процессе изготовления полупроводниковых устройств . Примеры включают производство усилителей радиочастоты ( РЧ ), светодиодов , оптических компьютерных компонентов и микропроцессоров для компьютеров . Изготовление пластин используется для создания компонентов с необходимыми электрическими структурами.

Производственные заводы

Основной процесс начинается с того, что инженеры-электрики проектируют схему и определяют ее функции, а также определяют необходимые сигналы, входы/выходы и напряжения . Эти спецификации электрических схем вводятся в программное обеспечение для проектирования электрических схем, такое как SPICE , а затем импортируются в программы компоновки схем, которые аналогичны тем, которые используются для автоматизированного проектирования . Это необходимо для определения слоев при изготовлении фотошаблона . Разрешение схем быстро увеличивается с каждым шагом проектирования, поскольку масштаб схем в начале процесса проектирования уже измеряется долями микрометра. Таким образом, каждый шаг увеличивает плотность цепей для данной области.

Кремниевые пластины изначально пусты и чисты. Схемы строятся послойно в чистых помещениях . Сначала фоторезиста на поверхность пластин с микрометрическими деталями фотомаскируются рисунки . Затем пластины подвергаются воздействию коротковолнового ультрафиолетового света, при этом необлученные участки вытравливаются и очищаются . Горячие химические пары осаждаются . в нужных зонах и нагреваются при высокой температуре , благодаря чему пары проникают в нужные зоны В некоторых случаях ионы, например O 2 + или О + , имплантируются по точным шаблонам и на определенную глубину с помощью радиочастотных источников ионов.

Эти шаги часто повторяются многие сотни раз, в зависимости от сложности желаемой схемы и ее соединений.

Каждый год появляются новые процессы для выполнения каждого из этих этапов с лучшим разрешением и улучшенными способами, что является результатом постоянно меняющихся технологий в отрасли производства пластин. Новые технологии приводят к более плотной упаковке мельчайших поверхностных элементов, таких как транзисторы и микроэлектромеханические системы (МЭМС). Эта повышенная плотность продолжает тенденцию, которую часто называют законом Мура .

Фаб – это общий термин, обозначающий место, где осуществляются эти процессы. Часто фабрика принадлежит компании, продающей чипы, например Intel , Texas Instruments или Freescale . Литейный завод — это завод, на котором полупроводниковые чипы или пластины изготавливаются по заказу сторонних компаний, продающих чипы, например заводов, принадлежащих Тайваньской компании по производству полупроводников (TSMC), United Microelectronics Corporation (UMC), GlobalFoundries и Semiconductor Manufacturing International Corporation. (СМИК).

В 2013 году стоимость строительства завода по производству пластин следующего поколения составила более 10 миллиардов долларов. [1]

Называется соответственно оборудованием для производства пластин. [2] или передняя часть пластины [3] Рынок (оборудования), оба используют аббревиатуру WFE, это рынок производителей машин, которые, в свою очередь, производят полупроводники. Ссылка apexresearch в 2020 году определила Applied Materials , ASML , KLA-Tencor , Lam Research , TEL и Dainippon Screen Manufacturing в качестве участников рынка. [2] за 2019 год в то время как в отчете Electronicsweekly.com со ссылкой на президента The Information Network Роберта Кастеллано основное внимание уделяется соответствующим долям рынка, которыми управляют два лидера: Applied Materials и ASML. [3]

  1. ^ Должна ли индийская фабрика использовать более старый процесс? Бизнес-стандарт, 2013 г.
  2. ^ Jump up to: а б apexresearch, «Аналитика мирового рынка оборудования для производства вафель (WFE) на 2019–2025 годы» njmmanews.com , 30 января 2020 г. Образец отчета apexresearch (PDF). «Предупреждение: впереди потенциальный риск безопасности» на сайте njmmanews.com, ссылка на цитату «Хесус Мартинес заменяет На-Шона Баррелла на Bellator 108» в статье На-Шона Баррелла в Википедии; никаких предупреждений о других ссылках на сайт njmmanews.com здесь, в статье Википедии «Изготовление пластин». Проверено 29 мая 2020 г.
  3. ^ Jump up to: а б Мэннерс, Дэвид, «Применен, чтобы потерять корону передового оборудования в пользу ASML» , Electronicsweekly.com , 26 ноября 2019 г. Проверено 29 мая 2020 г.
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: f5401f25e753b11efc58f3cbea5af6ee__1713671100
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/f5/ee/f5401f25e753b11efc58f3cbea5af6ee.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Wafer fabrication - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)