Лам Исследования
 | |
| Тип компании | Общественный |
|---|---|
| |
| Промышленность | Полупроводники |
| Основан | 1980 год |
| Основатель | Дэвид К. Лам |
| Штаб-квартира | Фремонт, Калифорния , США |
Ключевые люди | Тим Арчер ( генеральный директор и президент ) Абхи Талвалкар ( председатель ) |
| Продукты | Полупроводниковая продукция |
| Доход |  долларов США 17,4 млрд (2023 г.) |
 5,17 миллиарда долларов США (2023 г.) | |
| 4,51 миллиарда долларов США (2023 г.) | |
| Всего активов | 18,8 миллиардов долларов США (2023 г.) |
| Общий капитал | 8,21 миллиарда долларов США (2023 г.) |
Количество сотрудников | в. 17 200 (2023) |
| Веб-сайт | lamresearch.com |
| Сноски/ссылки Финансовые показатели по состоянию на 25 июня 2023 г. [update]. [1] | |
Lam Research Corporation — американский поставщик оборудования для производства пластин и сопутствующих услуг для полупроводниковой промышленности. [2] Ее продукция используется в основном при предварительной обработке пластин, которая включает в себя этапы создания активных компонентов полупроводниковых приборов (транзисторов, конденсаторов) и их соединений (межсоединений). Компания также производит оборудование для упаковки на уровне пластин (WLP) и для смежных производственных рынков, таких как микроэлектромеханические системы (MEMS).
Компания Lam Research была основана в 1980 году Дэвидом К. Ламом , ее штаб-квартира находится во Фримонте, штат Калифорния . [3] По состоянию на 2023 год это был третий по величине производитель в районе залива после Tesla и Intuitive Surgical . [4]
История
[ редактировать ]Компания Lam Research была основана в 1980 году Дэвидом К. Ламом, инженером китайского происхождения, ранее работавшим в компаниях Xerox , Hewlett-Packard и Texas Instruments . [5] Когда он работал в Hewlett Packard, он увидел необходимость в более совершенном оборудовании для плазменного травления, чтобы идти в ногу с быстрой миниатюризацией полупроводниковых пластин. [5] Он поблагодарил Боба Нойса , основателя Intel , за помощь в получении финансирования и обеспечение смысла его бизнес-плана. [5]
В 1981 году компания представила свой первый продукт — AutoEtch 480 — автоматизированный плазменный станок для травления поликремния. Название AutoEtch было выбрано, чтобы показать, что травильный станок автоматизирован, а цифра 80 в 480 относится к 1980 году, году основания компании. [6] Первая система была продана в январе 1982 года. [7] В 1982 году генеральным директором был назначен Роджер Эмерик. [8]
В мае 1984 года компания провела первичное публичное размещение акций и была зарегистрирована на Nasdaq под символом LRCX. [9] В 1985 году Дэвид Лам покинул компанию и присоединился к Link Technologies, которую в конечном итоге купила Wyse. [10] и теперь это Dell Wyse . [11] В середине 1980-х годов Lam Research продолжила глобальную экспансию, сосредоточив внимание на Тайване, а также открыв центры поддержки клиентов по всей Европе, США и Японии. [11]
К началу 1990-х годов компания присутствовала в Китае, Корее, Сингапуре и Тайване. [11] В марте 1997 года компания приобрела OnTrak Systems Inc., производителя чипового оборудования, специализирующегося на химико-механической планаризации (CMP), за 225 миллионов долларов. [12] Очистка CMP — это гибридный процесс сглаживания поверхностей с использованием травления и механической полировки. В августе 1997 года компания назначила своим генеральным директором генерального директора OnTrak Джима Бэгли. [11] [13] В 1998 году Бэгли был назначен председателем совета директоров. [13]
В 2005 году генеральным директором был назначен Стив Ньюберри. [14] В 2006 году Lam Research приобрела Bullen Semiconductor, ныне Silfex, Inc. [15] В 2008 году компания Lam Research приобрела SEZ AG. [16] теперь Lam Research AG. [17] В 2011 году Lam Research согласилась купить в Сан-Хосе, штат Калифорния производителя микросхем Novellus Systems , за 3,3 миллиарда долларов. [18] Сделка была завершена в июне 2012 года. [19] В 2012 году генеральным директором был назначен Мартин Анстис. [14] В октябре 2015 года компания Lam Research объявила о планах купить в Милпитасе, штат пластин поставщика оборудования для проверки KLA-Tencor, Калифорния , за 10,6 млрд долларов, что рассматривалось как шаг по консолидации полупроводниковой отрасли. [20] В июне 2016 года было объявлено, что Lam Research вошла в список Fortune 500 . впервые [21] В октябре 2016 года компания объявила о прекращении предложения по KLA-Tencor из-за опасений, что сделка не получит одобрения регулирующих органов Министерства юстиции США. [22] по поводу антимонопольных проблем. [23]
В сентябре 2017 года компания объявила о приобретении компании Coventor, расположенной в Кэри, штат Северная Каролина . Сообщается, что программное обеспечение компании позволит Lam сократить время вывода на рынок своих новых чипов. [24] В ноябре компания запустила Lam Research Capital (Lam Capital), группу венчурного капитала, созданную для инвестирования в компании. [25]
В январе 2018 года компания объявила, что операционный директор Тим Арчер назначен президентом, а генеральный директор Мартин Анстис остался на посту генерального директора. [26]
В декабре 2018 года Мартин Анстис ушел с поста генерального директора из-за обвинений в личном неправомерном поведении, а совет директоров Lam Research назначил Тима Арчера президентом и главным исполнительным директором. [27] Арчер также был назначен в совет директоров Lam Research. До этого назначения Арчер был президентом и главным операционным директором компании. [28]
В августе 2021 года Лам открыл производственное предприятие в Бату-Каване , Малайзия, чтобы удовлетворить растущий спрос на оборудование для производства пластин и более тесно сотрудничать с ключевыми клиентами и партнерами по цепочке поставок . [29]
В ноябре 2022 года было объявлено, что Лам приобрел Semsysco GmbH, поставщика полупроводникового оборудования для влажной обработки со штаб-квартирой в Зальцбурге . [30] В том же месяце Лам также приобрел техасскую компанию по моделированию плазмы Esgee Technologies, Inc. [31]
Продукты
[ редактировать ]Lam Research разрабатывает и производит продукцию для производства полупроводников, включая оборудование для осаждения тонких пленок , плазменного травления , полос фоторезиста и очистки пластин процессов . В производстве полупроводников эти технологии помогают создавать транзисторы, межсоединения, усовершенствованную память и упаковочные структуры. Они также используются для приложений на смежных рынках, таких как микроэлектромеханические системы (MEMS) и светоизлучающие диоды (LED). [1]
Нанесение тонкой пленки
[ редактировать ]Системы нанесения тонких пленок Лама накладывают субмикроскопические слои проводящих (металл) или изолирующих (диэлектрик) материалов, которые составляют интегральную схему. Процессы требуют единообразия на наноуровне . [32]
Компания использует технологии электрохимического осаждения (ECD) и химического осаждения из паровой фазы (CVD) для формирования пленок меди и других металлов для проводящих структур. [33] [34] атомно-слоевое осаждение (ALD). Также используется [35] для металлических вольфрамовых пленок в таких элементах, как контакты и штекеры, которые представляют собой вертикальные соединения между металлическими линиями в конструкциях многоуровневых межсетевых микросхем.
Технологии плазменного (PE) CVD и ALD позволяют создавать диэлектрические пленки для широкого спектра изолирующих деталей. Для процессов заполнения зазоров, которые требуют нанесения диэлектрического материала в узкие пространства, Лам использует технологию CVD с плазмой высокой плотности (HDP). [36] [37] PECVD и ALD также используются для формирования жестких масок — слоев, которые можно удалять для улучшения процессов формирования схем. [38]
Плазменное травление
[ редактировать ]Lam Research использует в своем оборудовании для плазменного травления запатентованную технологию. [39] процесс выборочного удаления материалов с поверхности пластины для создания характеристик и рисунков полупроводникового устройства. Это оборудование помогает производителям микросхем вырезать мелкие детали, например те, которые необходимы для новейших последовательностей множественных рисунков, транзисторов и усовершенствованных структур памяти, которые включают в себя все более сложные стопки пленок и структуры с все более высоким соотношением сторон .
Компания использует реактивное ионное травление (RIE) и атомно-слоевое травление (ALE) для формирования различных проводящих и диэлектрических свойств. [39] компании Глубокие технологии RIE помогают создавать структуры для таких приложений, как MEMS и сквозные кремниевые переходы (TSV).
Фоторезистная полоска
[ редактировать ]В системах сухой резки Lam используется плазменная технология для выборочного удаления фоторезистивной маски после ряда процессов предварительной обработки пластин и передовых упаковочных процессов. [40]
Очистка пластин
[ редактировать ]Продукты Lam Research для влажной центрифужной очистки и очистки фасок на основе плазмы удаляют частицы, остатки и пленки с поверхности пластины до или после смежных процессов. [41]
Между этапами обработки стружки используется технология центрифугирования и влажной очистки для удаления остатков и дефектов, ограничивающих производительность. Clean от Lam Технология Bevel направляет плазму на самый край пластины для очистки нежелательных частиц, остатков и пленок. Если их не удалить, эти материалы могут повлиять на производительность, если они отслаиваются и повторно откладываются на поверхности устройства на последующих этапах производства.
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Перейти обратно: а б «Годовой отчет Lam Research Corporation за 2023 финансовый год (форма 10-K)» . Комиссия по ценным бумагам и биржам США . 15 августа 2023 г.
- ^ «LAM RESEARCH CORP (LRCX:NASDAQ GS): Описание компании» . Блумберг ЛП . Проверено 19 мая 2016 г.
- ^ «Исследование Лама в списке крупнейших публичных компаний Америки по версии Forbes» . Форбс . Проверено 10 мая 2018 г.
- ^ «Крупнейшие производители в районе Большого залива» . Сан-Франциско Бизнес Таймс . 13 октября 2023 г. Проверено 30 марта 2024 г.
- ^ Перейти обратно: а б с «Устная история: Дэвид К. Лам» (PDF) . Музей истории компьютеров. 21 января 2004 года . Проверено 9 августа 2023 г.
- ^ «Интервью SEMI по устной истории» . Стэнфорд.edu. 24 июля 2007 г. Архивировано из оригинала 11 ноября 2013 г. Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ «Лэм Исследовательская Корпорация – 10-К» . lamresearch.com. 18 сентября 1996 года . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ «Профиль руководителя - Роджер Д. Эмерик» . Блумберг ЛП . Проверено 2 июня 2016 г.
- ^ «Первоначальное публичное размещение акций малых компаний: май 1984 г.» . Inc., август 1984 г. Проверено 10 марта 2022 г.
- ^ «ПК вызывают новую реакцию» . Компьютерный мир . 11 января 1988 года . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ Перейти обратно: а б с д «История исследовательской корпорации Лам» . www.funduniverse.com . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ «Lam Research соглашается приобрести OnTrak» . Лос-Анджелес Таймс . 25 марта 1997 года . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ Перейти обратно: а б "lam Research Corp (LRCX:NASDAQ GS)" . Блумберг ЛП . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ Перейти обратно: а б «Lam's Newberry уйдет в отставку с поста генерального директора» . eetimes.com. 8 сентября 2011 года . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «Обзор компании Silfex, Inc» . Блумберг ЛП . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «Лам покупает ОЭЗ за 568 миллионов долларов» . eetimes.com. 11 декабря 2007 года . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «ЛАМ Рисерч АГ» . ecsel-austria.net . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «Lam Research соглашается купить Novellus Systems за 3,3 миллиарда долларов» . Bloomberg LP, 15 декабря 2011 г. Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ «Lam Research (LRCX) завершает приобретение Novellus Systems (NVLS)» . streetinsider.com . 4 июня 2012 года . Проверено 12 мая 2016 г.
- ^ «Lam покупает KLA-Tencor по мере увеличения количества сделок в секторе микросхем» . Уолл Стрит Джорнал . 21 октября 2015 года . Проверено 13 мая 2016 г.
- ^ «Вот 15 новых компаний, входящих в список Fortune 500» . Удача . 6 июня 2016 года . Проверено 7 июня 2016 г.
- ^ «Производитель чипового оборудования Lam Research расторгает сделку KLA-Tencor» . Рейтер . 5 октября 2016 г. Проверено 6 октября 2016 г.
- ^ Маттиоли, Дана; Бенуа, Дэвид (19 января 2017 г.). «Инвестор-активист настаивает на слиянии компаний Rudolph Technologies и Nanometrics» . Уолл Стрит Джорнал . Нью-Йорк . Проверено 23 января 2017 г.
- ^ «Лэм покупает фирму по разработке программного обеспечения для моделирования Coventor» . eetimes.com . 1 сентября 2017 года . Проверено 8 июня 2018 г.
- ^ «Обзор недели: Производство» . Semiengineering.com . 17 ноября 2017 года . Проверено 8 июня 2018 г.
- ^ «КОРОТКО-Lam Research продвигает Тима Арчера на пост президента» . Рейтер . 24 января 2018 года . Проверено 8 июня 2018 г.
- ^ «Lam Research Corporation объявляет об уходе Мартина Анстиса с поста главного исполнительного директора; Тим Арчер назначен президентом и главным исполнительным директором | Lam Research Corporation» .
- ^ «Генеральный директор Lam Research Мартин Анстис уходит в отставку» . Бизнес-инсайдер . 12 мая 2018 года . Проверено 6 декабря 2018 г.
- ^ PRNewswire, штатный обозреватель (4 августа 2021 г.). «Lam Research укрепляет глобальную производственную сеть, открывая крупнейшее производственное предприятие в Малайзии». Яху Финанс . PRNewswire.
- ^ «Evertiq-Lam Research приобретает SEMSYSCO» . Evertiq.com . Проверено 16 ноября 2022 г.
- ^ «Reynolds Advisory Partners выступает в качестве эксклюзивного финансового консультанта компании Esgee Technologies при ее продаже компании Lam Research» . www.businesswire.com . 23 января 2023 г. Проверено 18 февраля 2023 г.
- ^ «Обзор недели: Производство» . Semiengineering.com . 11 апреля 2014 года . Проверено 19 мая 2016 г.
- ^ «Заказ на инструмент: Novellus отправляет 300-ю систему SABRE ECD» . fabtech.com. 23 сентября 2008 года . Проверено 13 мая 2016 г.
- ^ «Работа с атомами» . Semiengineering.com . 13 июля 2015 года . Проверено 19 мая 2016 г.
- ^ «Технология ALD заполняет большую память» . eetimes.com. 20 ноября 2020 г. Проверено 11 июня 2024 г.
- ^ «Метод CVD-заполнения зазоров плазмой высокой плотности» . freepatentsonline.com . Проверено 11 июня 2024 г.
- ^ «Применение плазменного зарядного зонда для производства инструмента HDP CVD» . ieeexplore.org. 14 мая 1996 года . Проверено 11 июня 2024 г.
- ^ «Методы снижения содержания углерода и водорода в аморфных углеродных твердомасочных пленках» . патенты.justia.com. 3 февраля 2015 года . Проверено 11 июня 2024 г.
- ^ Перейти обратно: а б «Атомное травление слоев теперь в Fab Evaluations» . semimd.com . 4 августа 2014 года. Архивировано из оригинала 15 июля 2017 года . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «Метод фоторезистной ленты для low-k диэлектриков US 8058178 B1» . 15 ноября 2011 года . Проверено 3 июня 2016 г.
- ^ «Протравка + очистка: Lam Research расширяет сферу деятельности за счет покупки ОЭЗ» . электроiq.com. 11 декабря 2007 года . Проверено 3 июня 2016 г.
Внешние ссылки
[ редактировать ]- Официальный сайт
- Коммерческие данные Lam Research:
- Компании в Nasdaq-100
- Компании, котирующиеся на Nasdaq
- Компании, базирующиеся во Фримонте, Калифорния.
- Компании по производству электроники, основанные в 1980 году.
- 1980 заведения в Калифорнии
- Оборудование полупроводниковых компаний
- Технологические компании, базирующиеся в районе залива Сан-Франциско.
- Первичные публичные размещения акций 1980-х годов
- Венчурные фирмы США