Трибромсилан
| |||
| |||
| Имена | |||
|---|---|---|---|
| Название ИЮПАК
Трибромсилан
| |||
| Другие имена
Силикобромформ; Триброммононосилан
| |||
| Идентификаторы | |||
3D model ( JSmol )
|
|||
| ХимическийПаук | |||
| Информационная карта ECHA | 100.029.250 | ||
ПабХим CID
|
|||
| НЕКОТОРЫЙ | |||
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|||
| Характеристики | |||
| Бр 3 Ч Си | |||
| Молярная масса | 268.805 g·mol −1 | ||
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа).
| |||
Трибромсилан – химическое соединение с формулой HBr 3 Si. [1] При высоких температурах он разлагается с образованием кремния и является альтернативой очищенному трихлорсилану сверхчистого кремния в полупроводниковой промышленности.
В процессе осаждения кремния Шумахера для производства поликремния используется газообразный трибромсилан , но он имеет ряд преимуществ по стоимости и безопасности по сравнению с процессом Сименса для производства поликремния. [2]
Его можно получить путем нагревания кристаллического кремния с газообразным бромистым водородом при высокой температуре. [3] Он самопроизвольно воспламеняется при контакте с воздухом. [4]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ ПабХим. «Трибромсилан» . pubchem.ncbi.nlm.nih.gov . Проверено 22 декабря 2022 г.
- ^ Процесс Шумахера
- ^ Шумб В.К., Янг Р.С. (апрель 1930 г.). «Исследование реакции бромистого водорода с кремнием». Журнал Американского химического общества . 52 (4): 1464–1469. дои : 10.1021/ja01367a025 .
- ^ Шумб WC (декабрь 1942 г.). «Галогениды и оксигалогениды кремния». Химические обзоры . 31 (3): 587–595. дои : 10.1021/cr60100a004 .
 | Эта неорганическим соединениям статья, посвященная , незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |