Jump to content

Фильтрующий блок вентилятора

Фильтровальная потолочная решетка чистого помещения микроэлектронного (полупроводникового) производства с установленными фильтро-вентиляторными агрегатами

Вентиляторный фильтрующий агрегат ( ФФУ ) — это тип моторизованного оборудования для фильтрации воздуха . Он используется для подачи очищенного воздуха в чистые помещения , лаборатории , медицинские учреждения или микросреды путем удаления вредных частиц из рециркулирующего воздуха. [1] Устройства устанавливаются внутри потолочной или напольной решетки системы. Большие чистые помещения требуют пропорционально большого количества FFU, которое в некоторых случаях может составлять от нескольких сотен до нескольких тысяч. [1] [2] Установки часто содержат собственный фильтр предварительной очистки, фильтр HEPA и вентилятор с внутренним управлением. [3]

FFU обычно изготавливаются в стальных корпусах размером 4 x 2 дюйма, 3 x 2 дюйма или 2 x 2 дюйма, которые можно размещать в отсеках потолочной решетки аналогичных размеров. [2] Установки часто содержат фильтр предварительной очистки, а также фильтр HEPA (высокоэффективный воздушный фильтр), ULPA (воздух со сверхнизким содержанием твердых частиц) или другой фильтр MERV (минимальное отчетное значение эффективности). Вентилятор с электроприводом используется для протягивания воздуха через фильтры для распределения по помещениям или закрытым рабочим местам, например, вытяжкам. [3] Скорость вентилятора обычно регулируется с помощью ступенчатой ​​регулировки или реостатного двигателя. [2] [3] Желаемый уровень чистоты определяет используемый фильтр: фильтры HEPA удаляют частицы размером 0,3 мкм и более с эффективностью 99,99%, а фильтры ULPA удаляют частицы размером 0,12 мкм и более с эффективностью 99,999%. [3] FFU спроектированы для ламинарного потока воздуха, что требуется в критических условиях. Контролируемый воздух, текущий в одном направлении и с одинаковой скоростью (переносящий микрочастицы), чище, чем турбулентный воздух, который течет в нескольких направлениях или с непостоянными скоростями. Завихрения, создаваемые турбулентным воздухом, заставляют загрязняющие микрочастицы оседать на чистых поверхностях.

Использование

[ редактировать ]

FFU размером 4 x 2 фута или 2 x 2 фута предназначены для размещения в отсеках потолочной решетки аналогичных размеров. [3] Для устройства чистых помещений применяются потолочные решетки с пролетами стандартных размеров, соответствующих размерам ФФУ. В зависимости от требований к чистоте контролируемого помещения к сети можно добавить дополнительные вентиляторные фильтры, чтобы соответствовать стандартам ISO по скорости воздушного потока и воздухообмену в час. [4]

FFU можно использовать вместо более традиционных установок рециркуляции воздуха, таких как канальная или приточная воздушная система. [1] [2] Поскольку для FFU требуется пространство над потолочной решеткой (13 дюймов для модуля FFU плюс еще 1–2 фута «пустого» пространства, заполненного воздухом), статические камеры обычно используются для чистых помещений с ограничениями по высоте; это единственные работающие воздушные системы. в планировках с меньшими внутренними размерами пола. [2] Кроме того, если в помещении установлено менее 20 фильтров, HEPA, FFU с вентилятором обычно считается менее дорогим, чем более традиционная канальная система подачи. [5]

Когда требуется микросреда чистого воздуха, FFU можно использовать для создания закрытых рабочих пространств или шкафов с ламинарным потоком. Применяя тот же принцип, что и более крупную решетку для чистых помещений, FFU можно разместить непосредственно в отдельно стоящей решетке над пространством, требующим чистого воздуха. Фактически, этот подход также используется для травления кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности. [6]

  1. ^ Jump up to: а б с Кохли, Раджив; Миттал, Кашмири Л. (2009). Разработки в области поверхностного загрязнения и очистки – осаждение, контроль и удаление частиц . Уильям Эндрю. п. 164. ИСБН  978-1-4377-7830-4 .
  2. ^ Jump up to: а б с д и «Строительство и окружающая среда: характеристики больших вентиляторно-фильтрующих установок для чистых помещений». Строительство и окружающая среда . 42 . ScienceDirect: 2299–2304. дои : 10.1016/j.buildenv.2006.05.007 .
  3. ^ Jump up to: а б с д и Пеннуэлл (март 2007 г.). Чистые комнаты . Том. 21. С. 16–17. ISSN   1043-8017 . Проверено 26 октября 2011 г.
  4. ^ Шнайдер, Раймонд К. (2001). Проектирование систем HVAC для чистых помещений (PDF) . Журнал ASHRAE. Архивировано из оригинала (PDF) 28 октября 2016 г. Проверено 22 августа 2001 г.
  5. ^ Пеннуэлл (март 2008 г.). Чистые комнаты . Том. 22. с. 36. ISSN   1043-8017 . Проверено 26 октября 2011 г.
  6. ^ Пак, Джэ Ён; и др. (2007). «Однопластинный процесс для улучшенной очистки металлических контактных отверстий» . Хозяин ЭБСКО . Проверено 10 мая 2007 г. [ мертвая ссылка ]
[ редактировать ]
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: 968c980f01be0bab81ccfbade49af7da__1715435400
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/96/da/968c980f01be0bab81ccfbade49af7da.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Fan filter unit - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)