Jump to content

Этек Системы

Координаты : 45 ° 32'51 ″ с.ш. 122 ° 53'53 ″ з.д.  /  45,5474 ° с.ш. 122,898 ° з.д.  / 45,5474; -122,898
Этек Системы
Основан 1970
Несуществующий 2005
Судьба Куплены прикладными материалами
Продукты сканирующие электронные микроскопы
инструменты для лазерной литографии

Etec Systems была американским производителем сканирующих электронных микроскопов , инструментов для электронно-лучевой литографии и инструментов для лазерной литографии с 1970 по 2005 год. Она располагалась в Хейворде, Калифорния , и Хиллсборо, Орегон .

История компании

[ редактировать ]
Бывшее здание Etec в Хиллсборо, Орегон.

Корпорация Etec из Хейворда, Калифорния, была основана в 1970 году как производитель сканирующих электронных микроскопов (SEM), но позже стала производителем инструментов для электронно-лучевой литографии , и производство SEM было прекращено.

Позже Etec объединилась с ATEQ из Бивертона, штат Орегон (район Портленда), которая производила для лазерной литографии инструменты . Объединенная компания получила название «Etec Systems» и предложила линейку литографии, основанной как на электронных, так и на лазерных лучах. Эти продукты предназначены для фотошаблонов и прицелов, используемых в производстве интегральных схем. В 1999 году часть компании в Бивертоне, штат Орегон, была переведена в Хиллсборо, штат Орегон.

Etec была приобретена компанией Applied Materials в 2000 году и организована в рамках корпорации Applied Materials как автономная бизнес-группа. В 2000 году в компании Etec в Хейворде работало 600 человек. [ 1 ]

В 2002 году компания Applied Materials объявила, что рассматривает план закрытия Etec. [ 2 ] Etec Systems была поглощена материнской компанией Applied Materials в октябре 2005 года. [ 3 ]

Продукты

[ редактировать ]

Сканирующие электронные микроскопы

[ редактировать ]

Компания Etec, основанная в 1970 году, производила сканирующие электронные микроскопы очень высокого качества; многие инструменты все еще работают хорошо 30 лет спустя. [ нужна ссылка ] Разработанный Нельсоном Ю, Autoscan дает превосходные изображения, превосходя современные инструменты, подверженные цифровому шуму и другим проблемам.

Поскольку MEBES стал основным продуктом, компания была куплена Perkin Elmer, и производство SEM было прекращено.

Инструменты для электронно-лучевой литографии

[ редактировать ]

Через некоторое время после 2002 года линия продуктов, составлявшая первоначальное предложение Etec (MEBES – Производственная система электронно-лучевого воздействия), была прекращена. Большинство инструментов MEBES III были выведены из эксплуатации в пользу инструментов лазерной литографии Etec CORE и ALTA, которые имеют более высокую производительность и используют более экологически чистый резист типа IP3500, который не требует процесса разработки на основе растворителей. Однако в настоящее время во всем мире по-прежнему используется ряд MEBES III и IV.

Инструменты для лазерной литографии

[ редактировать ]

С приобретением Etec в 2005 году линия инструментов для лазерной литографии Etec продолжает разрабатываться и производиться компанией Applied Materials. Шведская фирма Micronic AB и немецкая фирма Heidelberg Instruments являются конкурентами в области лазерных решений для изготовления масок. Однако спрос на инструмент для лазерной литографии Applied Material позволил ему по-прежнему оставаться наиболее широко доступным и используемым инструментом в индустрии фотомасок.

  1. ^ «Архивная копия» (PDF) . Архивировано из оригинала (PDF) 1 октября 2011 г. Проверено 13 ноября 2011 г. {{cite web}}: CS1 maint: архивная копия в заголовке ( ссылка )
  2. ^ ЛаПедус, Марк (11 марта 2002 г.). «Применен «проверочный» план по прекращению работы электронно-лучевого инструмента, сообщают источники» .
  3. ^ «Applied Materials выходит из бизнеса по производству фотомасок» . www.laserfocusworld.com . Архивировано из оригинала 07 апреля 2018 г. Проверено 6 апреля 2018 г.
[ редактировать ]

45 ° 32'51 ″ с.ш. 122 ° 53'53 ″ з.д.  /  45,5474 ° с.ш. 122,898 ° з.д.  / 45,5474; -122,898

Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: 9c192d7aba578e911929202faaea7530__1642273440
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/9c/30/9c192d7aba578e911929202faaea7530.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Etec Systems - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)